專利名稱：：由工件切分晶圓的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種由エ件切分晶圓的方法，其中，在鋸切操作過程中，鋸切線的以平行方式布置的線段被相對于エ件弓I導，因此形成晶圓。現(xiàn)有技術(shù)這種類型的方法使用線狀鋸進行。例如，在US2002/0174861Al或US2010/0089377中描述了線狀鋸的基本結(jié)構(gòu)和功能。適當?shù)木€狀鋸包括至少兩個導線輥，鋸切線圍繞其多重纏繞。這產(chǎn)生了張緊在兩個導線輥之間并且以平行的形式設(shè)置的線段，并且這些線段形成線網(wǎng)，在鋸切操作過程中エ件被移動穿過線網(wǎng)。還已知了其中線網(wǎng)被移動穿過エ件的線鋸切方法。合適的エ件包括必須被分離成晶圓的材料，尤其是由半導體材料構(gòu)成的塊，半導體晶圓被從其切分而成。導線輥具有涂層，涂層具有特定的厚度并且具有引導線段的溝槽。隨著鋸切操作施加負載的持續(xù)時間的增長，涂層的表面區(qū)域會磨損。只要涂層仍具有足夠的厚度，涂層的被磨損的表面區(qū)域就可以通過磨掉而去除，并且如此再生成的更薄的涂層可以繼續(xù)被使用。在鋸切操作中，鋸切線被從供給線軸纏繞到接收器線軸上。在這種情況下，鋸切線的行進方向通常被圓柱形改變，從而實現(xiàn)了鋸切線的更綜合的利用。切分晶圓需要在切割操作模式中從エ件上去除材料的研磨顆粒。研磨顆粒可以被固定地粘合到鋸切線上。更通常地，使用散布有研磨顆粒并且被供給至線網(wǎng)的鋸切懸浮液。以這種方式制造的半導體晶圓應(yīng)該具有扁平且盡可能平行的側(cè)表面。為了可以生成具有這種幾何特征的晶圓，在鋸切操作過程中，應(yīng)該避免エ件和線段之間的軸向相對運動，也就是平行于エ件中央軸線的相對運動。如果發(fā)生了這種相對運動，就會生成具有彎曲橫截面的晶圓。晶圓的彎曲度通常用被稱作翹曲的特征值表示。作為發(fā)生上述相對運動的原因，在US2010/0089377Al中提及了エ件和導線輥的長度變化，所述變化被歸因于溫度變化和相關(guān)的熱膨脹或熱收縮。實際上，在鋸切線圍繞導線輥運動的過程中并且在鋸切線接合エ件時尤其會產(chǎn)生磨擦熱，具體地，由于熱傳遞的原因，エ件以及導線輥和導線輥的軸承的溫度被改變。US2002/0174861建議了ー種方法，用于在鋸切操作過程中調(diào)整エ件的溫度。US2010/0089377Al建議了ー種方法，其中，エ件在軸向方向上的位移被測量，并且導線輥的軸向位移被調(diào)整以使其對應(yīng)于所測量的值。根據(jù)ー個示例，通過冷卻被傳導通過導線輥的軸的水并且通過適應(yīng)冷卻水的溫度和/或流速，實現(xiàn)導線輥的軸向位移的調(diào)整。另外，建議記錄表示與切割深度有關(guān)的エ件的位移的曲線并且在根據(jù)此曲線調(diào)整導線輥的位移
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的發(fā)明人已經(jīng)認識到，對于現(xiàn)有技術(shù)提供的解決方案，需要進行改進以減小或防止由溫度變化引起的線段和エ件的軸向相對運動。本發(fā)明涉及一種由エ件切分晶圓的方法，包括在鋸切操作過程中，相對于エ件移動鋸切線的以平行方式設(shè)置的線段，從而生成晶圓，其中，線段被張緊在兩個導線輥之間，每個導線輥具有特有厚度的帶溝槽的涂層；以及冷卻導線輥并且冷卻導線輥的固定軸承，其中，所述導線輥和所述固定軸承被以獨立于彼此的方式冷卻。所述導線輥和所述固定軸承被從內(nèi)部并且以獨立于彼此的方式冷卻，以減少或完全防止エ件和線段在鋸切操作過程中的軸向相對運動。為此目的，在每種情況下設(shè)置專門的冷卻回路，在每種情況下冷卻劑被傳導通過冷卻回路，冷卻回路的特性分別與導線輥及其固定軸承的冷卻相配合。與已知的方法相比，本發(fā)明考慮了所述軸向相對運動大部分歸因于エ件、相應(yīng)固定軸承以及相應(yīng)導線輥涂層的溫度變化。具體地，考慮了由溫度變化不同引起的涂層及相應(yīng)導線輥的固定軸承的長度變化，并且從這一點上得出的結(jié)論是，如果相應(yīng)導線輥的溫度，尤其是其涂層的溫度，以及相應(yīng)導線輥的固定軸承的溫度被以獨立于彼此的方式進行控制將是更有利地。在鋸切操作過程中，エ件的長度變化取決于鋸切操作前エ件的長度，并且取決于在鋸切操作過程中產(chǎn)生的熱量。在鋸切操作過程中產(chǎn)生的熱量取決于所選擇的過程條件，所述過程條件由不同過程參數(shù)的整體描述。具體地，這些過程參數(shù)包括鋸切線的速度，供給到線網(wǎng)的鋸切懸浮液的量和溫度，エ件被移動穿過線網(wǎng)的前進速度，研磨顆粒的類型以及保持エ件的鋸切懸浮液的液相類型。如果所選擇的過程條件在多個鋸切操作過程中保持不變，那么在一個鋸切操作過程中的エ件的長度變化只取決于鋸切操作前エ件的長度。因此，對于在相同過程條件下進行的鋸切操作，在所選擇的過程條件下將エ件分離成晶圓并且在鋸切操作過程中測量エ件的溫度，進行一次足以。之后，對于此鋸切操作以及對于意于在所選擇的過程條件下進行并且意于切割相同類型的材料的所有其它鋸切操作，可以建立預(yù)測エ件長度變化的曲線，作為切割深度或鋸切操作持續(xù)時間的函數(shù)。此長度變化可以借助于エ件材料的線性膨脹系數(shù)，所測量的溫度分布以及相應(yīng)鋸切操作前エ件的長度而進行計算。優(yōu)選地，冷卻相應(yīng)導線輥及相應(yīng)固定軸承的過程被實現(xiàn)為使得，在鋸切操作過程中的姆個時間點上，差ΔLw(X)-(ΔLf+ΔLb(X))小于20μηι,其中，ALw(X)是由于エ件溫度變化引起的エ件的長度變化導致的エ件上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移，ALf是由于固定軸承的溫度變化而引起的相應(yīng)固定軸承所經(jīng)歷的長度變化，以及ALb(X)是由于涂層的溫度變化所引起的涂層的長度變化導致的導線輥的涂層上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移。軸向位置X是エ件中央軸線上的位置或等效位置。差越大，線段距離保證直線切穿エ件的預(yù)期位置越遠。但是，如果沒有抵抗措施，差會一直變大，軸向位置X和導線輥中心之間的距離越大。當多個エ件并排布置以同時進行鋸切時這尤其應(yīng)該考慮。エ件被進行這樣的布置以使得有效線網(wǎng)可以盡可能完整地得到利用。根據(jù)第一實施例，根據(jù)本發(fā)明的方法用于控制涂層的溫度以及相應(yīng)導線輥的固定軸承的溫度，使得在鋸切操作過程中對エ件的長度變化的反應(yīng)包括在各方向上相等的涂層以及固定軸承的長度變化。因此，對軸向位移ALw(X)的反應(yīng)包括冷卻相應(yīng)的導線輥和相應(yīng)固定軸承，優(yōu)選使差ΔLw(X)-(ΔLf+ΔLb(X))小于20Um。此控制可以通過下述實現(xiàn)提供第一預(yù)定義曲線，所述第一預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過程中冷卻相應(yīng)導線輥的冷卻劑的溫度或速度，第二預(yù)定義曲線，所述第二預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過程中冷卻相應(yīng)固定軸承的冷卻劑的溫度或速度；以及根據(jù)第一和第ニ預(yù)定義曲線冷卻相應(yīng)導線輥和相應(yīng)固定軸承。提供與相應(yīng)導線輥的涂層厚度成函數(shù)關(guān)系的第一預(yù)定義曲線是特別優(yōu)選地。所述控制還通過下述實現(xiàn)在鋸切操作過程中測量相應(yīng)導線輥的涂層的長度的軸向變化；根據(jù)測量結(jié)果生成第一和第二調(diào)整信號；以及根據(jù)第一調(diào)整信號調(diào)整相應(yīng)導線輥的冷卻，以及根據(jù)第二調(diào)整信號調(diào)整相應(yīng)固定軸承的冷卻。根據(jù)第二實施例，根據(jù)本發(fā)明的方法提供了下述方面冷卻エ件，使得在鋸切操作過程中ALff(X)小于5μπι;以及冷卻相應(yīng)導線輥和相應(yīng)固定軸承，使得在鋸切操作過程中和(ΔLf+ΔLb(X))小于25μm,優(yōu)選地小于10μm。第二實施例的目的是盡可能地避免エ件和涂層以及相應(yīng)導線輥的固定軸承的線性膨脹。因此，在鋸切操作過程中，完全抑制エ件和固定軸承以及相應(yīng)導線輥的涂層的溫度變化以及相關(guān)的長度變化是特別有利地。如果多個エ件并排布置以同時進行鋸切，避免エ件和涂層以及相應(yīng)導線輥的固定軸承的線性膨脹將是特別有利地。エ件的長度以及它們相對于導線輥中心的布置對是否生成具有預(yù)期幾何形狀的晶圓沒有影響。根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選用于生產(chǎn)具有盡可能平行的側(cè)表面的晶圓。然而，這并不排除修改本發(fā)明的目的并且生成具有特殊彎曲的晶圓。在這種情況下，エ件的長度變化通過固定軸承以及相應(yīng)導線輥的涂層的長度變化補償，這僅在一定程度上是實現(xiàn)預(yù)期的彎曲所必須的。典型地，在鋸切操作過程中エ件被保持以使其在溫度變化時在兩端可以軸向膨脹或收縮。例如，其由多晶體或單晶體半導體材料構(gòu)成，具體地，由硅構(gòu)成。典型地，其具有圓柱形的桿的部分的形式，直徑足以能夠制造直徑在200至450mm范圍內(nèi)的晶圓。被分離用于形成直徑300mm的半導體晶圓的由硅制成的單一晶體在鋸切操作過程中經(jīng)歷的最大溫度變化典型地約為30°C，所述最大溫度變化對應(yīng)于典型地約25μm的最大長度變化。此特殊量值是其中所述單一晶體沒有被冷卻的方法所特有的。在鋸切操作過程中，由于涂層的溫度變化引起的導線輥的涂層的長度變化，具體地，取決于涂層材料的線性膨脹系數(shù)，取決于涂層的厚度并且取決于在鋸切操作過程中產(chǎn)生的熱量。在鋸切操作過程中產(chǎn)生的熱量由過程條件和鋸切操作前的エ件長度決定性地影響。對于在相同過程條件下并且用相同類型的涂層材料進行的鋸切操作來說，涂層的長度變化只取決于エ件的長度和涂層的厚度。典型地，涂層被固定在導線輥的芯上，以使其以不受阻礙的方式在溫度變化時在兩端可以軸向膨脹或收縮。但是，通過將涂層夾緊到下面的導線輥的芯上，例如，通過設(shè)置在涂層兩端的夾緊環(huán)，涂層的長度變化可以被限制在某一限度內(nèi)。夾緊環(huán)將涂層固定在導線輥的芯上并且限制由于溫度變化引起的涂層的長度變化。當根據(jù)本發(fā)明的第二實施例進行時，將涂層夾緊到導線輥的芯上是特別合適的。在鋸切操作過程中測量涂層經(jīng)歷的長度變化不是簡單的。由于存在鋸切懸浮液所以不適合在涂層上進行光學測量。根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選借助于渦流傳感器進行測量。為此，有利地是將環(huán)精確地固定到涂層的端部，并且測量相應(yīng)環(huán)和相應(yīng)傳感器之間的距離變化。環(huán)優(yōu)選由導電材料例如金屬或石墨制成。通常，測量其中ー個導線輥的涂層的長度變化就足夠了，并且假設(shè)另ー個導線輥的涂層的長度變化相同。然而，同樣可以對應(yīng)地測量線網(wǎng)的兩個導線輥上的涂層的長度變化。假設(shè)涂層的典型厚度是6_，在從上述的由硅構(gòu)成的單一晶體切分晶圓的過程期間，不考慮冷卻措施并且不考慮將涂層夾緊在導線輥的芯上，由聚亞安酯構(gòu)成的涂層經(jīng)歷的最大溫度變化典型地約為20°C并且最大線性膨脹典型地約為80μπι。因此，涂層承受了比單一晶體大得多的長度變化。在每種情況下，夾緊線網(wǎng)的導線輥典型地借助于固定軸承和活動軸承上的軸安裝。溫度變化時，固定軸承的兩端不能軸向膨脹或收縮，只有活動軸承對面的端部可以。固定軸承的長度變化使導線輥的涂層以及因此每個線段移動一致的幅值。在固定軸承的典型配置中，在從上述的由硅構(gòu)成的單一晶體切分晶圓的過程期間，不考慮冷卻措施，固定軸承經(jīng)歷的最大溫度變化典型地約為I.5°C并且最大線形膨脹典型地約為6μm。在鋸切過程中，由于溫度變化引起的固定軸承的長度變化影響線段的位置，其影響的方式與由于溫度變化引起的涂層的長度變化的影響方式本質(zhì)上不同。前者將每個線段移動一致的幅值，而后者移動的幅值取決于線段和導線輥中心之間的距離。距離越大，位移更大。通過冷卻固定軸承或?qū)Ь€輥來控制固定軸承的溫度以及相應(yīng)導線輥的涂層的溫度忽略了此根本不同并且因此是不利的。如果不同時影響導線輥的涂層的溫度就不能改變固定軸承的溫度。這種控制不能實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的方法所能實現(xiàn)的結(jié)果，也就是以獨立于彼此的方式控制固定軸承的溫度以及相應(yīng)導線輥的涂層的溫度。根據(jù)本方法的第一實施例，在鋸切操作過程中在特殊的過程條件下對エ件的長度變化的反應(yīng)包括對獨立的冷卻回路供應(yīng)冷卻剤，與導致的固定軸承和導線輥的涂層的長度變化相配合，它們的和盡可能對應(yīng)于エ件的長度變化。例如，通過確定系列實驗中的合適冷卻參數(shù)，所述配合根據(jù)經(jīng)驗進行。這包括確定在鋸切操作過程中冷卻劑的溫度和/或速度的那些時間分布(temporalprofile)是實現(xiàn)固定軸承和相應(yīng)導線輥的涂層的所要求的長度變化所必須的。然后，所確定的冷卻參數(shù)的時間分布被以預(yù)定義曲線的形式存儲在控制冷卻回路的計算機的數(shù)據(jù)存儲器中。如果具有相同長度的エ件在相同的過程條件下被切分成晶圓，則冷卻回路被關(guān)于根據(jù)所存儲的預(yù)定義曲線的冷卻劑溫度和/或冷卻劑流速進行控制。因為由于溫度變化引起的涂層的長度變化關(guān)鍵地取決于導線輥的涂層厚度并且取決于鋸切操作前的エ件長度，所以對于在特有過程條件下進行的鋸切操作來說，建議存儲具有下述冷卻參數(shù)的數(shù)據(jù)設(shè)置所述冷卻參數(shù)考慮了所采用的導線輥涂層厚度和將被分割的エ件長度。此配合還可以通過設(shè)置控制環(huán)來實現(xiàn)，控制環(huán)對相應(yīng)固定軸承和相應(yīng)導線輥中的冷卻回路供應(yīng)冷卻剤。控制環(huán)包括傳感器，用于在鋸切操作過程中檢查是否存在線段位置與預(yù)期位置的偏離。當存在偏離時，改變冷卻回路的冷卻參數(shù)例如冷卻劑的溫度和/或速度直到不再存在偏差。下面參考附圖更詳細地解釋本發(fā)明。圖I示意性示出了對于可能發(fā)生的エ件和線段之間的軸向相對運動起決定性作用的長度變化；圖2示出了適于在根據(jù)本發(fā)明的方法中使用的導線輥的橫截面，以及與所述導線輥相關(guān)聯(lián)的固定軸承；圖3示出了具有兩個導線輥的線狀鋸和設(shè)置于線狀鋸上方的エ件的透視圖；圖4示出了用于在根據(jù)第一實施例的方法中冷卻導線輥及其固定軸承的預(yù)定義曲線；圖5示出了用于在根據(jù)第二實施例的方法中冷卻導線輥及其固定軸承的預(yù)定義曲線；圖6和7示出了膨脹測量的結(jié)果。具體實施例方式圖I是通過エ件12,導線棍I和固定軸承2的示意性剖視圖。示意圖示出了對于可能發(fā)生的エ件和線段之間的軸向相對運動起決定性作用的長度變化。這些包括エ件的長度變化ΛLw，導線輥的涂層的長度變化ALb以及固定軸承的長度變化ALf。為簡單起見，長度變化ALb和ALw被示意為假定固定軸承和導線輥彼此不連接的情況。因此，由于エ件的熱膨脹，エ件端部的軸向位置點被移動了量值A(chǔ)Lw，并且由于涂層的熱膨脹導線輥的涂層端部的軸向位置點被移動了量值alb。根據(jù)圖2的示意圖示出了導線輥I及其相關(guān)的固定軸承2，它們分別具有通道3和4，通道3和4被獨立于彼此地連接至被供給冷卻劑的冷卻回路。導線輥I的冷卻回路被具體化為使諸如水的冷卻劑被通過回轉(zhuǎn)引入口傳導至在鋸切操作過程中轉(zhuǎn)動的導線輥I。冷卻回路分別包括熱交換器(未示出)和控制單元5和6，控制單元5和6可以具體化為用于根據(jù)所存儲的預(yù)定義曲線控制冷卻導線輥和固定軸承的冷卻參數(shù)。然而，冷卻回路還可以在兩個控制環(huán)中引入傳感器7，這兩個控制環(huán)獨立于彼此操作，用于冷卻導線輥和固定軸承。這樣，傳感器供給測量信號，在控制單元5和6中，作為冷卻相應(yīng)導線輥和相應(yīng)固定軸承的操作變量的冷卻參數(shù)被從測量信號中產(chǎn)生。優(yōu)選地，傳感器7測量分別距設(shè)置于導線輥I的涂層8端部的指定環(huán)9的距離。因為導線輥I的涂層8的膨脹或收縮在相當程度上是由于導線輥的溫度變化引起的，所以有利地是將金屬環(huán)9固定到涂層8本身上。在金屬環(huán)被固定到導線輥的芯10的情況下，在測量過程中將忽略涂層8的長度變化。如果需要考慮導線輥的芯的長度變化，可以提供另ー傳感器11，測量其距導線輥的芯10的距離。導線輥I的芯10通常由因瓦合金(Invar)制成，以使其對線段軸向位置的變化的影響相應(yīng)較小。圖3示出了具有兩個導線輥I的線狀鋸和エ件12的透視圖，其中エ件被固定在鋸條狀部16上并且設(shè)置于線狀鋸上方。線狀鋸被構(gòu)造成能夠?qū)嵤└鶕?jù)本發(fā)明的第二實施例的方法。導線輥I以及分別指定給它們的固定軸承2被按照圖2中所示意地具體化。為簡單起見，冷卻第二導線輥及其固定軸承的冷卻回路沒有示意。冷卻導線輥的冷卻回路可以被配合形成ー個冷卻回路，或獨立于彼此地實現(xiàn)。示意圖還示出了用于冷卻エ件12的另ー冷卻回路。此冷卻回路包括熱交換器(未示意)以及控制単元13，控制單元13可以用于根據(jù)所存儲的預(yù)定義曲線控制冷卻エ件的冷卻參數(shù)。冷卻エ件的冷卻劑被借助于噴ロ帶15分配并且從エ件12滴到槽14內(nèi)。然而，冷卻回路也可以將另一傳感器引入控制エ件的控制環(huán)中。這樣，傳感器供給測量信號，在控制單元中，作為冷卻エ件的操作變量的冷卻參數(shù)被從測量信號產(chǎn)生。例如，傳感器測量距エ件端側(cè)的距離。還可以用于切分晶圓的相同的鋸切懸浮液可以用于冷卻エ件。然而，優(yōu)選使用例如只具有冷卻功能的諸如水的冷卻劑來冷卻エ件，并且優(yōu)選防止此冷卻劑與鋸切懸浮液混合。為此目的，在所述冷卻劑到達線網(wǎng)和鋸切懸浮液之前，可用應(yīng)用于エ件上的擦拭器(未示出)中途攔截冷卻剤。實施例借助于包括四個導線輥的線狀鋸，直徑為300_的由硅制成的單晶塊體被分離成晶圓。夾緊線網(wǎng)的導線輥以及它們相關(guān)的固定軸承具有圖2和3所示的結(jié)構(gòu)并且根據(jù)本發(fā)明進行冷卻。所述導線輥以及它們的固定軸承的冷卻被以相互獨立的方式借助于作為冷卻劑的水進行，按照所存儲的預(yù)定義曲線在鋸切操作過程中改變冷卻劑的溫度。圖4示出了用于冷卻夾緊線網(wǎng)的導線輥以及所述導線輥的固定軸承的預(yù)定義曲線，以根據(jù)本方法的第一實施例將單晶塊分割成晶圓。因此，所述預(yù)定義曲線被設(shè)計成在鋸切操作過程中對エ件長度變化的反應(yīng)包括在各方向上相等的涂層的長度變化以及導線輥的固定軸承的長度變化。所示意的預(yù)定義曲線示出了與進給表(feedtable)的位置POS成函數(shù)關(guān)系的冷卻劑的理想溫度T，所述位置POS等效于鋸切操作的時間延續(xù)(temporalprogression)。方形數(shù)據(jù)點表示冷卻導線棍的冷卻劑的理想溫度,并且圓形的數(shù)據(jù)點表示冷卻導線輥的固定軸承的冷卻劑的理想溫度。圖5示出了用于冷卻夾緊線網(wǎng)的導線輥以及所述導線輥的固定軸承的預(yù)定義曲線，以根據(jù)本方法的第二實施例將單晶塊分割成晶圓。因此，所述預(yù)定義曲線被設(shè)計用于在鋸切操作過程中實現(xiàn)涂層以及相應(yīng)導線輥的固定軸承的盡可能不變的長度。方形數(shù)據(jù)點再次表示冷卻導線輥的冷卻劑的理想溫度，并且圓形的數(shù)據(jù)點表示冷卻導線輥的固定軸承的冷卻劑的理想溫度。當考慮進行涂層和導線輥的芯的膨脹測量時，以獨立于彼此的方式實現(xiàn)導線輥的冷卻以及導線輥的固定軸承的冷卻變得很顯然。圖6示意了與進給表的位置POS成函數(shù)關(guān)系的位于固定軸承側(cè)(實線)上的導線輥的涂層的膨脹△I、位于活動軸承側(cè)(點劃線)上的導線輥的涂層的膨脹以及位于活動軸承側(cè)(虛線)上的導線輥的芯的膨脹。圖6示出了該實驗的測量結(jié)果，其中，導線輥以及導線輥的固定軸承的冷卻已經(jīng)以獨立于彼此的方式進行。公共冷卻回路已經(jīng)被設(shè)置用于冷卻導線輥及其固定軸承。圖7示意了與進給表的位置POS成函數(shù)關(guān)系的位于固定軸承側(cè)(實線)上的導線輥的涂層的膨脹△I、位于活動軸承側(cè)(點劃線)上的導線輥的涂層的膨脹以及位于活動軸承側(cè)(虛線)上的導線輥的芯的膨脹。圖7示出了該實驗的測量結(jié)果，其中，導線輥以及導線輥的固定軸承的冷卻被根據(jù)本發(fā)明以獨立于彼此的方式實現(xiàn)了。橢圓形限定的區(qū)域僅僅表示測量過程中的干擾，這對于本發(fā)明是不重要的。權(quán)利要求1.一種由エ件切分晶圓的方法，包括在鋸切操作過程中，相對于エ件移動鋸切線的以平行方式設(shè)置的線段，從而生成晶圓，其中，線段被張緊在兩個導線輥之間，每個導線輥具有特有厚度的帶溝槽的涂層；以及冷卻導線輥并且冷卻導線輥的固定軸承，其中，所述導線輥和所述固定軸承被以獨立于彼此的方式冷卻。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，包括冷卻導線輥和固定軸承使得，在鋸切操作過程中的每個時間點上，差ΛΙ^(χ)-(ΛΙ^+ΛΒ(Χ))小于20μπι，其中，ALw(X)是由于エ件溫度變化引起的エ件的長度變化導致的エ件上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移，ALf是由于固定軸承的溫度變化而引起的固定軸承所經(jīng)歷的長度變化，以及ALb(X)是由于涂層的溫度變化所引起的涂層的長度變化導致的導線輥的涂層上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，包括通過冷卻導線輥和固定軸承而對大于Oμm的軸向位移ALw(X)作出反應(yīng)，使差ΛLw(x)-(ALf+ΛLb(X))小于20μm。4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一所述的方法，包括提供第一預(yù)定義曲線，所述第一預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過程中冷卻導線輥的冷卻劑的溫度或速度，和第二預(yù)定義曲線，所述第二預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過程中冷卻導線輥的固定軸承的冷卻劑的溫度或速度；以及根據(jù)第一和第二預(yù)定義曲線冷卻導線輥和固定軸承。5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，包括提供與導線輥的涂層厚度成函數(shù)關(guān)系的第一預(yù)定義曲線。6.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一所述的方法，包括在鋸切操作過程中測量其中一個導線輥的涂層的長度的軸向變化；根據(jù)測量結(jié)果生成第一和第二調(diào)整信號；以及依靠第一調(diào)整信號調(diào)整導線輥的冷卻，以及依靠第二調(diào)整信號調(diào)整導線輥的固定軸承的冷卻。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，包括冷卻エ件，使得在鋸切操作過程中ALff(X)小于5μπι;以及冷卻導線輥和固定軸承，使得在鋸切操作過程中和(ALf+ALb(x))小于25μπι。8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中任一所述的方法，包括將涂層夾緊在下面的導線輥的芯上。9.根據(jù)權(quán)利要求I至8中任一所述的方法，包括在存在鋸切懸浮液的情況下相對于エ件移動線段。全文摘要一種由工件切分晶圓的方法，包括在鋸切操作過程中，相對于工件移動鋸切線的以平行方式設(shè)置的線段，從而生成晶圓，其中，線段被張緊在兩個導線輥之間，每個導線輥具有特有厚度的帶溝槽的涂層；以及，借助于在涂層的端部專用地固定到涂層上的環(huán)，通過測量傳感器和環(huán)之間的距離，測量其中一個導線輥的涂層的長度變化，所述變化由溫度變化導致；以及根據(jù)所測量的距離冷卻導線輥。文檔編號B28D7/00GK102689368SQ20121007455公開日2012年9月26日申請日期2012年3月20日優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日發(fā)明者A·休伯,P·威斯納,R·克魯澤德,W·格馬什申請人:硅電子股份公司