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脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法及其分割方法與流程

文檔序號:11120192閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,在厚度方向上分割脆性材料基板時在分割位置上形成垂直裂紋,其特征在于,

所述脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法具備:

槽線形成工序,在所述脆性材料基板的一主面上形成作為線狀槽部的槽線;以及

輔助線形成工序,通過使劃線輪在所述一主面上壓接滾動來形成作為與所述槽線相交的加工痕跡的輔助線,所述劃線輪的外周具備等間隔設置有多個槽的刀尖,

在所述槽線形成工序中,以在所述槽線的正下方維持無裂紋狀態的方式形成所述槽線,

在所述輔助線形成工序中,使用所述多個槽相對于所述外周非對稱的形狀形成的所述劃線輪,形成所述輔助線,

使垂直裂紋以所述槽線與所述輔助線的交點作為起點從所述槽線沿所述脆性材料基板的厚度方向伸展。

2.根據權利要求1所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,其特征在于,

在所述輔助線形成工序中,使內部裂紋區域伴隨所述輔助線的形成而產生,所述內部裂紋區域為所述脆性材料基板的內部并且在所述輔助線的側方存在多個輔助裂紋,

確定所述槽線與所述輔助線的形成位置,以使所述內部裂紋區域在所述槽線上的垂直裂紋的計劃伸展方向一側形成。

3.根據權利要求2所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,其特征在于,

所述輔助線以在與所述槽線上的垂直裂紋的計劃伸展方向相反一側附近與所述槽線相交的方式形成。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,其特征在于,

在形成所述槽線之后,形成所述輔助線。

5.一種脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,在厚度方向上分割脆性材料基板時在分割位置上形成垂直裂紋,其特征在于,

所述脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法具備:

槽線形成工序,在所述脆性材料基板的一主面上形成作為線狀槽部的槽線;以及

輔助線形成工序,通過使劃線輪在所述一主面上壓接滾動來形成作為與所述槽線相交的加工痕跡的輔助線,所述劃線輪的外周具備等間隔設置有多個槽的刀尖,

在所述槽線形成工序中,以在所述槽線的正下方維持無裂紋狀態的方式形成所述槽線,

在所述輔助線形成工序中,使用所述多個槽在所述外周的左右側具有不同深度的方式形成的所述劃線輪,形成所述輔助線,

使垂直裂紋以所述槽線與所述輔助線的交點作為起點從所述槽線沿所述脆性材料基板的厚度方向伸展。

6.一種脆性材料基板的分割方法,對脆性材料基板在厚度方向上進行分割,其特征在于,

所述脆性材料基板的分割方法具備:

垂直裂紋形成工序,通過權利要求1至5中任一項所述的垂直裂紋形成方法,在所述脆性材料基板上形成垂直裂紋;以及

斷開工序,沿著所述垂直裂紋而斷開所述脆性材料基板。

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