技術(shù)總結(jié)
提供一種脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法及其分割方法，其能夠高可靠性地在脆性材料基板上形成垂直裂紋。在脆性材料基板上形成垂直裂紋的方法，具備：槽線形成工序，在一主面上形成作為線狀槽部的槽線；以及輔助線形成工序，通過(guò)使劃線輪壓接滾動(dòng)來(lái)形成與槽線相交的輔助線，所述劃線輪的外周具備等間隔設(shè)置有多個(gè)槽的刀尖，在槽線形成工序中，以在正下方維持無(wú)裂紋狀態(tài)的方式形成槽線，在輔助線形成工序中，使用多個(gè)槽相對(duì)于所述外周非對(duì)稱(chēng)的形狀形成的劃線輪，形成輔助線，并以兩條線的交點(diǎn)作為起點(diǎn)，使垂直裂紋從槽線起伸展。

技術(shù)研發(fā)人員：巖坪佑磨;曾山浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星鉆石工業(yè)股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610543060
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.11
技術(shù)公布日：2017.02.15