本實用新型涉及一種過濾裝置，具體涉及一種無塵室循環過濾裝置、無塵室及手套箱。

背景技術：

在電子行業、顯示行業以及醫學行業的科學研究與生產過程中,為了提高產品性能，通常都需要在無塵室或無塵設備中加工制造或進行相關科學實驗。無塵設備的好壞直接關系到產品的好壞，這已經成為影響和制約我國電子行業、顯示行業的瓶頸，能夠達到ISO1級的高潔凈無塵室更是幾乎沒有。

目前所使用的一些過濾設備，雖然可以滿足一些無塵室的過濾要求，但是對于一些小型的設備，例如手套箱等，其內部空間較小，傳統的過濾設備在體積上與其存在矛盾，并且傳統的過濾設備普遍結構都較為復雜，在使用成本和維護成本上也無法適應手套箱等的要求。

技術實現要素：

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種結構簡單、成本低且可以適應手套箱等設備使用要求的無塵室循環過濾裝置、無塵室及手套箱。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

無塵室循環過濾裝置，其包括：

過濾單元，其設置于無塵室內，該過濾單元與無塵室的頂部之間形成第一腔室；

板體，其上開設有多個通孔，該板體設置于無塵室內并位于過濾單元的下方，該板體與過濾單元之間形成第二腔室，該板體與無塵室的底部之間形成第三腔室；

回風通道，其兩端分別連通第一腔室和第三腔室。

本實用新型的無塵室循環過濾裝置主要在無塵室內設置了過濾單元、板體和回風通道，把無塵室分別隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，過濾單元通過驅動單元的運轉將氣體通過其過濾后垂直向下吹出，帶走設備內的顆粒物，氣體再依次經過第二腔體、板體、第三腔體和回風通道后重新回到第一腔體并被過濾單元吸入，如此循環過濾形成高潔凈的無塵環境。

因此，本實用新型與現有技術相比，在簡化結構和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無塵環境，使得潔凈度同樣可以達到ISO1級。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以作如下改進：

作為優選的方案，上述的第一腔室和第三腔室還分別連接氣體凈化單元。

采用上述優選的方案，氣體凈化單元可以抽取部分氣體除水除氧后，重新回到過濾單元的上部，經過濾單元過濾后成為無水無氧的氣氛環境，從而進一步地提高無塵室的潔凈度。

作為優選的方案，上述的第一腔室和氣體凈化單元之間連接的管道上設置有過濾器。

采用上述優選的方案，可以對重新回到過濾單元的氣體進行過濾，從而進一步地提高無塵室的潔凈度。

作為優選的方案，上述的過濾單元為FFU過濾器。

采用上述優選的方案，可以實現較佳的過濾效果。

作為優選的方案，上述的過濾單元通過支架安裝于無塵室內，過濾單元與支架之間設置有密封圈。

采用上述優選的方案，可以保證過濾單元安裝的穩固性和密封性。

作為優選的方案，上述的密封圈內設有周向的至少一腔室，腔室連通進出氣單元，進出氣單元上設置有至少一檢測單元，檢測單元電連接處理器，用于檢測進出氣單元內的氣體壓力值和/或氣體濃度值， 然后將氣體壓力值和/或氣體濃度值發送至處理器。

采用上述優選的方案，在設備運行過程中可以在兩密封圈之間防止過濾單元與支架之間發生側漏現象，即生產過程中或使用過程中檢測過濾單元與支架之間有無側漏，防止有氣體沒經過過濾單元而從側方跑了。

作為優選的方案，上述的進出氣單元上設置進氣控制部和/或出氣控制部，其分別電連接處理器，處理器在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器內預設的值進行對比，然后處理器根據對比結果控制進氣控制部和出氣控制部通過進出氣單元對腔室進行加氣和/或減氣。

采用上述優選的方案，在設備運行過程中可以在兩密封圈之間保持負壓環境。

作為優選的方案，上述的進出氣單元為管路。

采用上述優選的方案，可以便于氣體的通過。

無塵室，包括殼體，該殼體內設置有上述無塵室循環過濾裝置。

本實用新型的無塵室采用了上述的無塵室循環過濾裝置，因此具有與其相同的技術效果。

手套箱，包括殼體，該殼體內具有作為無塵室的腔體，該腔體內設置有上述無塵室循環過濾裝置。

本實用新型的手套箱采用了上述的無塵室循環過濾裝置，因此具有與其相同的技術效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的無塵室循環過濾裝置及無塵室(手套箱)的結構示意圖。

圖2為本實用新型的無塵室循環過濾裝置中的密封檢測部分的結構示意圖。

圖3為本實用新型的無塵室循環過濾裝置中的密封檢測部分的系統架構圖。

其中，1.無塵室 11.殼體 12.腔體 2.過濾單元 21.第一腔室 22.支架 23.密封圈 24.腔室 25.進出氣單元 251.進氣控制部 252.出氣控制部 26.檢測單元 27.處理器 28.報警單元 3.板體 31.通孔 32.第二腔室 33.第三腔室 4.回風通道 5.氣體凈化單元 51.管道 52.過濾器。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的優選實施方式。

為了達到本實用新型的目的，如圖1所示，在本實用新型的無塵室循環過濾裝置的其中一些實施方式中，其包括：過濾單元2，其設置于無塵室1內，也就是殼體11內，該過濾單元2與無塵室1的頂部之間形成第一腔室21；板體3，其上開設有多個通孔31，該板體3設置于無塵室1內并位于過濾單元2的下方，該板體3與過濾單元2之間形成第二腔室32，該板體3與無塵室1的底部之間形成第三腔室33；回風通道4，其兩端分別連通第一腔室21和第三腔室33。其中，過濾單元2具體可以為FFU過濾器，其自帶作為驅動單元的風機，可以實現較佳的過濾效果。

本實施例的無塵室循環過濾裝置主要在無塵室內設置了過濾單元、板體和回風通道，把無塵室分別隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，過濾單元通過驅動單元的運轉將氣體通過其過濾后垂直向下吹出，帶走設備內的顆粒物，氣體再依次經過第二腔體、板體、第三腔體和回風通道后重新回到第一腔體并被過濾單元吸入，如此循環過濾形成高潔凈的無塵環境。因此，本實施例與現有技術相比，在簡化結構和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無塵環境，使得潔凈度同樣可以達到ISO1級。

為了進一步地優化本實用新型的實施效果，如圖1所示，在本實用新型的無塵室循環過濾裝置的另一些實施方式中，在上述內容的基礎上，上述的第一腔室21和第三腔室33還分別連接氣體凈化單元5，該氣體凈化單元5用于除水除氧，具體可采用常用的純化裝置，除此之外，也可以采用其他已知的氣體凈化裝置。采用該實施方式的方案， 氣體凈化單元可以抽取部分氣體除水除氧后，重新回到過濾單元的上部，經過濾單元過濾后成為無水無氧的氣氛環境，從而進一步地提高無塵室的潔凈度。

為了進一步地優化本實用新型的實施效果，如圖1所示，在本實用新型的無塵室循環過濾裝置的另一些實施方式中，在上述內容的基礎上，上述的第一腔室21和氣體凈化單元5之間連接的管道51上設置有過濾器52。采用該實施方式的方案，可以對重新回到過濾單元的氣體進行過濾，從而進一步地提高無塵室的潔凈度。

為了進一步地優化本實用新型的實施效果，如圖1所示，在本實用新型的無塵室循環過濾裝置的另一些實施方式中，在上述內容的基礎上，上述的過濾單元2通過支架22安裝于無塵室1內，過濾單元2與支架22之間設置有密封圈23。采用該實施方式的方案，可以保證過濾單元安裝的穩固性和密封性。

為了進一步地優化本實用新型的實施效果，如圖1-3所示，在本實用新型的無塵室循環過濾裝置的另一些實施方式中，在上述內容的基礎上，上述的密封圈23內設有周向的一腔室24，也可以設置為多個，腔室24連通進出氣單元25，該進出氣單元25具體可以為管路，進出氣單元25上設置有一檢測單元26，也可以設置為多個，檢測單元26電連接處理器27，用于檢測進出氣單元25內的氣體壓力值或氣體濃度值，然后將氣體壓力值或氣體濃度值發送至處理器27。在另一些實施方式中，檢測單元26還可以同時檢測進出氣單元25內的氣體壓力值和氣體濃度值。其中，檢測單元26具體可以為壓力傳感器以及濃度傳感器。采用該實施方式的方案，在設備運行過程中可以在兩密封圈之間防止過濾單元與支架之間發生側漏現象，即生產過程中或使用過程中檢測過濾單元與支架之間有無側漏，防止有氣體沒經過過濾單元而從側方跑了。而為了形成對周圍的提醒，還可以加裝報警單元28。

為了進一步地優化本實用新型的實施效果，如圖1-3所示，在本實用新型的無塵室循環過濾裝置的另一些實施方式中，在上述內容的 基礎上，上述的進出氣單元25上設置進氣控制部251和出氣控制部252，其分別電連接處理器27，處理器27在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器27內預設的值進行對比，然后處理器27根據對比結果控制進氣控制部251和出氣控制部252通過進出氣單元25對腔室24進行加氣和減氣。其中，在另一些實施方式中，上述的進出氣單元上也可以設置進氣控制部31或者出氣控制部32，其分別電連接處理器5，該處理器5在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器5內預設的值進行對比，然后處理器5根據對比結果控制進氣控制部31或者出氣控制部32通過進出氣單元3對腔室21進行加氣或者減氣。采用該實施方式的方案，在設備運行過程中可以在兩密封圈之間保持負壓環境。

為了達到本實用新型的目的，如圖1所示，在本實用新型的無塵室的其中一些實施方式中，包括殼體11，該殼體11內設置有上述無塵室循環過濾裝置。本實施例的無塵室采用了上述的無塵室循環過濾裝置，因此具有與其相同的技術效果。

為了達到本實用新型的目的，如圖1所示，在本實用新型的手套箱的其中一些實施方式中，包括殼體11，該殼體11內具有作為無塵室的腔體12，該腔體12內設置有上述無塵室循環過濾裝置。本實施例的手套箱采用了上述的無塵室循環過濾裝置，因此具有與其相同的技術效果。

以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。