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一種壓電驅動夾持器的制作方法

文檔序號:11963923閱讀:來源:國知局
技術總結
一種壓電驅動夾持器,其包括基座,所述壓電驅動夾持器包括自基座一側向外延伸的夾持臂、與夾持臂連接的壓電陶瓷塊、與夾持臂連接的PCB板以及位于夾持臂末端的末端執行器,所述壓電陶瓷塊的變形能帶動夾持臂朝夾緊末端執行器的方向運動并實現掃描電鏡真空中自動進行末端夾持器的裝夾,所述夾持臂包括上夾持臂和下夾持臂。本實用新型通過夾持臂的杠桿結構將壓電陶瓷塊的變形量放大使得下夾持臂向上移動從而實現自動夾緊末端執行器的操作。

技術研發人員:陳濤;王雅瓊;楊湛;劉會聰;王蓬勃;金國慶;張略;孫立寧
受保護的技術使用者:蘇州大學
文檔號碼:201620477545
技術研發日:2016.05.24
技術公布日:2016.12.07

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