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一種單片集成收發一體光電芯片及集成芯片陣列的制作方法

文檔序號:12457787閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明提供一種單片集成收發一體光電芯片及集成芯片陣列,所述光電芯片包括襯底、光吸收單元和光發射單元;所述光發射單元的光激射波長為光電芯片的發射光譜區,所述光吸收單元吸收波長為光電芯片的吸收光譜區,所述吸收光譜區和所述發射光譜區不重疊;所述光吸收單元包括依次層疊于襯底上的第一半導體材料層、第二半導體材料層和第三半導體材料層,所述第三半導體材料上設有絕緣層,所述光吸收單元和光發射單元通過絕緣層電隔離;光發射單元包括第一反射鏡、光學腔和第二反射鏡,所述光學腔位于第一反射鏡上,所述第二反射鏡位于光學腔上。只應用一個光學腔,同時起到光發射上的諧振增強與光吸收上的高透濾波功能,實現光信號的發射與接收。

技術研發人員:劉凱;任曉敏;黃永清;王琦;段曉峰
受保護的技術使用者:北京郵電大學
文檔號碼:201611184920
技術研發日:2016.12.20
技術公布日:2017.05.31

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