本發明涉及自動化領域，尤其涉及一種掩膜板自動清洗系統及方法。

背景技術：

在現有的彩膜基板制程工藝中，通常通過曝光機實現彩膜的圖案化，而使用最多的是接近式曝光機。此種曝光機的掩膜板與被曝光基板之間的距離在100-400μm之間，如此微小的距離造成掩膜板極易被曝光基板上的附著異物污染，或者由于長時間曝光被光阻膠曝光時的揮發物污染，而一旦掩膜板被污染，將造成共通缺陷，嚴重影響產品質量，甚至造成產品NG。

針對上述問題，現今業內普遍采取的措施是在掩膜板被使用前使用掩膜板清洗機提前清洗，以及當掩膜板每被使用曝光3000張左右基板時，也要使用掩膜板清洗機清洗掩膜板，以防止掩膜板被污染而造成品質不良。

然而，現在業內普遍采用人工管理的方式控制對掩膜板的清洗，即在每次掩膜板被使用前由作業員調出需要使用的掩膜板進行清洗；以及由作業員定時點檢曝光機使用中的每塊掩膜板曝光的次數，當使用次數達到3000次左右時，由相應人員將掩膜板從曝光機內取出拉到掩膜板清洗機處清洗。顯然，此種由人工管理的方法不僅會耗費了大量人力，還很容易由于人員管理的疏忽而造成掩膜板被漏洗的情況發生，一旦發生掩膜板被漏洗的情況，很容易造成共通缺陷或共同Mura，然而此種情況將會引起工廠比較大的產品與產能損耗。同時，由于掩膜板每次被使用前需要由人為調出需要使用的掩膜板并選擇相應的設置進行清洗，這種情況下一旦人員未及時清洗掩膜板，也會造成產線生產不能及時開始，嚴重浪費產能。

技術實現要素：

本發明實施例提供一種掩膜板自動清洗系統及方法，其可提前清洗待使用的掩膜板，以及根據掩膜板的使用情況發起清洗提醒，以及時對掩膜板進行清洗作業，不僅節省了人力，相較于人工管理的方式更為智能，并且可及時清潔可能影響曝光效果的掩膜板，提升產品良率，進而提升產能。

第一方面，本發明實施例提供了一種掩膜板自動清洗系統，包括：曝光機控制端，與對應的曝光器相連接，用于控制所述曝光機的曝光制程、以及監控曝光機內每一掩膜板的使用次數；清洗裝置，用以清洗所述掩膜板；主控裝置，連接至所述曝光機控制端與所述清洗裝置，并根據每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗各曝光機即將使用的掩膜板，并在監測到所述曝光機中的掩膜板的使用次數達到一預設次數時，自動發出掩膜板清洗提醒，以提醒現場操作人員及時進行清洗作業。

其中，所述曝光機控制端還用于將與該曝光機控制端連接的曝光機中即將使用的掩膜板信息發送至所述主控裝置，所述主控裝置還用于根據所述曝光機控制端發送的掩膜板信息控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。

其中，所述掩膜板自動清洗系統還包括中轉器，所述曝光機控制端通過所述中轉器與所述主控裝置連接，用以建立所述主控裝置與所述曝光機控制端之間的通信連接。

其中，所述中轉器為一集線器。

其中，所述掩膜板自動清洗系統還包括存儲柜和連接至所述主控裝置的計時器；所述存儲柜，用于存儲掩膜板；所述計時器設置于所述存儲柜中，用以統計所述存儲柜中每一掩膜板的存放時長。

其中，所述存儲柜為所述清洗裝置附帶的存儲柜，或者所述存儲柜與所述清洗裝置分別單獨設置。

其中，所述清洗裝置包括一分別連接至所述主控裝置以及所述計時器的清洗控制端，所述主控裝置還用于根據所述計時器的計時值，判斷存儲柜中是否有掩膜板需要清洗，并在所述存儲柜中有掩膜板需要清洗時，通過所述清洗控制端向清洗裝置發送清洗指令，所述清洗指令包括待清洗掩膜板的掩膜板信息；所述清洗裝置，還用于根據所述指令對相應的掩膜板進行清洗作業。

另一方面，本發明還提供一種應用于上述掩膜板自動清洗系統的掩膜板自動清洗方法，該掩膜板自動清洗方法包括以下步驟：曝光機控制端實時監控曝光機中掩膜板的使用次數；當曝光機中的掩膜板的使用次數達到預設次數時，主控裝置自動發出掩膜板清洗提醒，以提醒現場操作人員及時進行清洗作業；所述主控裝置還根據接收到的每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。

其中，所述掩膜板自動清洗方法還包括以下步驟：計時器監控存儲柜中各掩膜板的存儲時長；當存儲時長超過預設時長時，清洗控制端控制所述清洗裝置及時清洗所述存儲超時的掩膜板。

其中，所述主控裝置還根據接收到的每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板這一步驟之前還包括以下步驟：

所述曝光機控制端將與所述曝光機控制端連接的曝光機中即將使用的掩膜板信息發送至所述主控裝置。

本發明實施例提供的掩膜板自動清洗系統及方法具有如下優點：

本發明實施例中提供的本提案的掩膜板自動清洗系統及方法，其可提前清洗待使用的掩膜板，以及根據掩膜板的使用情況發起清洗提醒，并且可以及時對掩膜板進行清洗，并且在掩膜板存放超時時，能自動清洗該超時的掩膜板。如此不僅節省了人力，并且相較于人工管理的方式更為智能，而且還可以及時清潔可能影響曝光效果的掩膜板，提升產能。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明掩膜板自動清洗系統的結構框圖。

圖2是本發明掩膜板自動清洗方法的流程圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施方式中的附圖，對本發明實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施方式是本發明的一部分實施方式，而不是全部實施方式?；诒景l明中的實施方式，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施方式，都應屬于本發明保護的范圍。

在本發明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸地連接，或者一體地連接；可以是機械連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。

此外，在本發明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。若本說明書中出現“工序”的用語，其不僅是指獨立的工序，在與其它工序無法明確區別時，只要能實現所述工序所預期的作用則也包括在本用語中。另外，本說明書中用“-”表示的數值范圍是指將“-”前后記載的數值分別作為最小值及最大值包括在內的范圍。在附圖中，結構相似或相同的單元用相同的標號表示。

本發明實施例提供了一種掩膜板自動清洗系統，其可提前清洗待使用的掩膜板，以及根據掩膜板的使用情況發起清洗提醒，以及時對掩膜板進行清洗作業，不僅節省了人力，并且相較于人工管理的方式更為智能，確保投入到曝光機使用中的掩膜板不被污染，提升了產品品質，最終提升產能。以下分別進行詳細說明。

請參閱圖1，圖1為本實施例的掩膜板自動清洗系統的結構示意圖。該掩膜板自動清洗系統包括曝光機控制端10、清洗裝置50以及主控裝置70，所述曝光機控制端10與對應的曝光機相連接。其中，曝光機控制端10用以控制曝光機的曝光制程以及監控曝光機內每一掩膜板的使用情況，例如使用次數，即經過提前清洗的掩膜板投入到該曝光機使用后的曝光次數，也即掩膜板在當前曝光機內的使用次數。所述主控裝置70連接至所述曝光機控制端10與清洗裝置50，用以控制所述清洗裝置50提前清洗各曝光機即將使用的掩膜板，以及用于在監測到曝光機中的掩膜板的使用次數達到預設次數時，自動發出掩膜板清洗提醒，以提醒現場操作人員及時進行清洗作業，現場操作人員即可及時發起對該掩膜板的清洗作業。該預設次數可以根據需要修改，可選的，該預設次數為3000次。

具體的，所述曝光機控制端10可以為一電腦或者手機等智能終端。所述曝光機控制端10可以為一臺，其可同時連接至多臺曝光機，從而同時控制多臺曝光機的曝光制程、并監控多臺曝光機中掩膜板的使用次數。可以理解，該曝光機控制端10也可以為多臺。在本實施方式中，該曝光機控制端10為多臺，并且每臺曝光機控制端10連接至一臺對應的曝光機(圖未示)，進而控制對應連接的曝光機的曝光制程，并同時監控該曝光機中掩膜板的使用情況。

在本實施方式中，該曝光機控制端10內設有一計數器(圖未示)，用以統計曝光機中每一掩膜板的使用次數，并將統計到的使用次數實時或者定時發送給主控裝置70，并且在曝光機中的掩膜板的使用次數超過預設值時通過主控裝置70自動發出清洗提醒。具體的，該曝光機控制端每10分鐘向所述主控裝置70上報曝光機內各掩膜板的使用次數，當某個曝光機內某塊掩膜板的使用次數等于3000次時，則該主控裝置70發出掩膜板清洗提醒?？梢岳斫獾氖?，此掩膜板清洗提醒除了可由主控裝置70發出以外，也可將所述主控裝置70連接至生產管理系統并同時在生產管理系統端發出，工作人員一旦看到或聽到掩膜板清洗提醒后即可及時發起對所述曝光機內需要清洗的掩膜板的清洗作業?？梢岳斫獾氖?，上述掩膜板清洗提醒可以采用發聲、發光或者兩者相結合的方式實現。

在本發明實施方式中，該曝光控制端10可在工作人員的設定下存儲有不同批次曝光制程所要使用掩膜板的掩膜板信息，然后所述曝光控制端10獲取下一批次曝光制程所需要掩膜板的掩膜板信息，并發送至所述主控裝置70，該主控裝置70根據所需要掩膜板的掩膜板信息控制所述清洗裝置50提前清洗下一批曝光制程所需要的掩膜板，從而有效保證每次使用的掩膜板的清潔度。

在本發明實施例中，該掩膜板自動清洗系統還包括存儲柜30，用于存儲閑置狀態(未應用于曝光制程中)的掩膜板。具體的，所述存儲柜30與所述清洗裝置50可以相互獨立設置，也可以一體設置。在本實施方式中，所述存儲柜30為清洗裝置50附帶的存儲柜，當需要清洗該存儲柜30中存放時長超時的掩膜板時，該清洗裝置50可方便地從所述存儲柜30調取出待清洗的掩膜板，清洗完成后，再存放回該存儲柜30中，待下一批次曝光制程時直接取出即可投入使用。

可以理解的是，該清洗裝置50與所述存儲柜30中可共同設置一自動傳送機構(圖未示)，掩膜板放置于該自動傳送機構中，該清洗裝置50通過自動傳送機構將待清洗的掩膜板從存儲柜30中傳送至清洗裝置50中進行清洗，清洗完成后再傳送回所述存儲柜30中。也可以在所述清洗裝置50中增設一機器手，通過該機器手在該存儲柜30與清洗裝置50之間搬運要清洗的掩膜板。

由于掩膜板在存儲柜30內存儲時長一旦超過三個月，即使不被使用也會被污染，在此種情況下，一旦檢測到存儲柜30內掩膜板的存儲時間達到三個月，即需要對該存儲超時的掩膜板及時進行清洗，以免粉塵等雜質長時間粘附而難以清洗。在本發明實施例中，該掩膜板自動清洗系統還包括計時器80，該計時器80設置于所述存儲柜30中，通過該計時器80可監控或統計存儲柜中各掩膜板的存儲時長。該計時器80連接至所述主控裝置70，用于統計所述存儲柜30中每一掩膜板的存放時長，并將統計到的各掩膜板的存放時長發送至所述主控裝置70。該主控裝置70監測到掩膜板的存放時長超出預設時長時，將超時的掩膜板信息發送至清洗裝置50，以控制所述清洗裝置50及時清洗所述超時的掩膜板。

進一步的，所述清洗裝置50包含一連接至所述主控裝置70以及所述計時器80的清洗控制端53，所述主控裝置70還用于根據所述計時器70的計時值，判斷存儲柜30中是否有掩膜板需要清洗(當計時器70統計到的計時值超過預設時長時，判斷該超時的掩膜板需要清洗)，并在所述存儲柜30中有掩膜板需要清洗時，通過所述清洗控制端53向清洗裝置50發送清洗指令，所述清洗指令包括待清洗掩膜板的掩膜板信息；所述清洗控制端53控制所述清洗裝置50根據所述清洗指令進行清洗作業，例如控制清洗裝置50對存儲超時的掩膜板進行清洗，以及控制清洗裝置50清洗所述主控裝置70發送的即將使用的掩膜板。

于本實施方式中，該清洗裝置50通過毛刷使用清洗劑和純水實現對掩膜板的清洗作業，該具體的清洗過程與現有的清洗原理相同，在此不再詳述。

進一步的，本實施例的掩膜板自動清洗系統還包括中轉器90，該中轉器90與所述曝光機控制端10和所述主控裝置70連接，用以建立所述主控裝置70與所述曝光機控制端10之間的通信連接，以將該曝光機控制端10獲取的掩膜板使用情況及時傳遞至所述主控裝置70，從而確保在掩膜板的使用次數超標時能通過該主控裝置70及時發起清洗提醒。在本實施例中，所述中轉器90為一集線器。

在本實施例中，該掩膜板自動清洗系統內部通過以太網進行通訊。

本發明實施例的掩膜板自動清洗系統的工作原理如下：設置于存儲柜30中的計時器80統計存儲柜30中所存放的每一塊掩膜板的存放時長，并且當檢測到其中有掩膜板的存放時長超過預設時長時，將由主控裝置70將該存放超時的掩膜板信息發送給清洗裝置50，由清洗裝置50及時清洗該等存放超時的掩膜板，防止掩膜板上存在臟污時間過長而導致難以清洗。并且當任一臺曝光機控制端10需要進行曝光作業時，將下一批需要使用的掩膜板信息提前發送至主控裝置70，由主控裝置70控制所述清洗裝置50提前清洗下一批曝光使用的掩膜板，以確保每次投入到曝光機使用的掩膜板的清潔度。并且曝光過程中，曝光機控制端10內的計數器統計曝光機中每一掩膜板的使用次數，并當任一塊掩膜板的使用次數超過預設值時，將通過主控裝置70自動發出清洗提醒，操作人員發現該清洗提醒后，即可及時啟動清洗作業，以及時清洗使用次數超標的掩膜板。

本發明的掩膜板自動清洗系統，其可提前清洗待使用的掩膜板，以及根據掩膜板的使用情況發起清洗提醒，并且可以及時對掩膜板進行清洗，不僅節省了人力，并且相較于人工管理的方式更為智能，而且還可以及時清潔可能影響曝光效果的掩膜板，提升產能。

請一并參閱圖2，本發明還提供一種使用上述掩膜板自動清洗系統的掩膜板自動清洗方法，其至少包括以下步驟：

S201：曝光機控制端實時監控曝光機中掩膜板的使用次數。

其中，該曝光機控制端10的工作原理與上述掩膜板自動清洗系統中的相同，在此處將不再重復詳述。

S202：當曝光機中的掩膜板的使用次數達到預設次數時，主控裝置自動發出掩膜板清洗提醒，以提醒現場操作人員及時進行清洗作業。

具體的，該曝光機控制端10監控到掩膜板的使用次數后，發送給主控裝置70，由主控裝置70在掩膜板的使用次數超標時，發起清洗提醒。例如，該曝光機控制端10每分鐘向所述主控裝置70上報曝光機內各掩膜板的使用次數，當某個曝光機內某塊掩膜板的使用次數等于3000次時，則該主控裝置70發出掩膜板需要清洗的提醒(引發掩膜板清洗提醒所預設的使用次數可以根據需要修改)。

S203：所述主控裝置還根據接收到的每一所述曝光機中即將使用的掩膜板信息，控制所述清洗裝置提前清洗所述即將使用的掩膜板。

進一步的，所述步驟S203之前還包括以下步驟：

S213：曝光機控制端將與所述曝光機控制端連接的曝光機中即將使用的掩膜板信息發送至所述主控裝置。

具體的，在該步驟中，所述曝光機控制端10內設定有各批次曝光制程所需掩膜板信息，并將下一批次曝光所需掩膜板信息發送給所述主控裝置70，該主控裝置70再將該待使用的掩膜板信息發送給清洗裝置50，控制該清洗裝置50提前清洗該待使用的掩膜板。通過提前對掩膜板的清洗，確保下一批次的曝光制程中使用的掩膜板的清潔度，并且消除了下一批次曝光制程開始之前才清洗掩膜板的等待時間。

顯然，本提案的掩膜板自動清洗方法，其可提前清洗待使用的掩膜板，以及根據掩膜板的使用情況發起清洗提醒，并且可以及時對掩膜板進行清洗，不僅節省了人力，并且相較于人工管理的方式更為智能，而且還可以及時清潔可能影響曝光效果的掩膜板，提升產能。

進一步的，本發明的掩膜板自動清洗方法還包括以下步驟：

S204：計時器監控存儲柜中各掩膜板的存儲時長。

S205：當存儲時長超過預設時長時，清洗控制端控制所述清洗裝置及時清洗存儲超時的掩膜板。具體的，該步驟中通過計時器80統計存儲柜中各掩膜板的存放時長，并將監測到的存放時長發送至清洗控制終端53，并由該清洗控制終端53將監測到的存放時長發送至所述主控裝置70，并在該主控裝置70發現某一掩膜板的存放時長超期時(即當主控裝置70檢測發現某一掩膜板的存放時長超過一預設時長時)，將發出清洗存放超時的掩膜板的指令至所述清洗控制終端53，并由該清洗控制終端53來控制該清洗裝置對存放超時的掩膜板進行清洗作業。

上述本提案的掩膜板自動清洗系統及方法，其可提前清洗待使用的掩膜板，以及根據掩膜板的使用情況發起清洗提醒，并且可以及時對掩膜板進行清洗，并且在掩膜板存放超時時，能自動清洗該超時的掩膜板。如此不僅節省了人力，并且相較于人工管理的方式更為智能，而且還可以及時清潔可能影響曝光效果的掩膜板，提升產能。

在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。

以上對本發明實施例所提供的掩膜板自動清洗系統及方法進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發明的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據本發明的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明的限制。