技術總結
本發明公開了一種GSG軌道型射頻電極、硅基行波電極光調制器及制備方法，涉及高速電光芯片領域。該GSG軌道型射頻電極包括GSG型平面電極，GSG型平面電極的單側或雙側周期性地添加用于延遲電場的軌道電極，軌道電極連接到GSG型平面電極的地電極上。硅基行波電極光調制器包括GSG軌道型射頻電極和傳統的硅基行波電極光調制器，GSG軌道型射頻電極通過電極層間的通孔與硅基行波電極光調制器的有源區連接導通。本發明能夠提高電極的參數設計自由度，實現有效的信號參數匹配。

技術研發人員：李淼峰;肖希;王磊;陳代高;楊奇;余少華
受保護的技術使用者：武漢郵電科學研究院
文檔號碼：201611195833
技術研發日：2016.12.21
技術公布日：2017.05.10