技術特征:
技術總結
本發明提供一種光電裝置、光電單元以及電子設備,能夠抑制設有反射鏡的芯片的溫度上升。光電裝置(100)具有形成有反射鏡(50)以及驅動反射鏡(50)的驅動元件的芯片(2)、俯視觀察時覆蓋反射鏡(50)的透光性的罩體(71)、以及在罩體(71)與芯片(2)之間與芯片(2)的一表面(2s)接觸的隔離件(61)。芯片(2)的一表面(2s)的與隔離件(61)接觸的整個部分由具有第一導熱率的硅氧化膜等的第一物質構成,隔離件(61)由具有比第一導熱率高的第二導熱率的水晶等的第二物質構成。罩體(71)由具有比第二導熱率高的第三導熱率的藍寶石等的第三物質構成。
技術研發人員:內山杰;高橋廣介
受保護的技術使用者:精工愛普生株式會社
技術研發日:2017.03.23
技術公布日:2017.10.10