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一種聚合物光波導芯片的制作方法與流程

文檔序號:11229315閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發明屬于光波導技術領域,公開了一種聚合物光波導芯片的制作方法,包括:制作凹模具;將聚合物芯層材料涂覆于所述凹模具的表面;控制壓板的位移,使所述壓板對所述聚合物芯層材料進行施壓,使得所述聚合物芯層材料填充所述凹模具的凹槽,并使得所述壓板與所述凹模具表面的距離為第一距離;加熱固化所述聚合物芯層材料;將所述聚合物芯層材料與所述凹模具、所述壓板剝離,得到聚合物光波導陣列;對所述聚合物光波導陣列進行切割分塊,得到聚合物光波導芯片。本發明提供的制作方法可以簡化光波導芯片的制作流程、提高制作效率、降低制作成本、減少產品次品率。

技術研發人員:陶青;王玨;劉頓;陳列;婁德元;楊奇彪;彼得·貝內特;翟中生;鄭重
受保護的技術使用者:湖北工業大學
技術研發日:2017.06.28
技術公布日:2017.09.08
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