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晶圓片的激光加工方法與裝置與流程

文檔序號:11073583閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種晶圓片的激光加工方法,其特征在于,包括以下步驟:

在一個直線的切割道的切割過程,使工作臺朝設定方向直線移動,攜帶晶圓片移出切割處理區域,進入對位處理區域;

使視覺機構捕獲晶圓片上切割道的圖像,并將切割道的圖像送計算機構;計算機構進行切割道的位置糾偏計算,需要糾偏的話,則控制工作臺縱向移動設定的糾偏量;以及

使工作臺反向地直線移動,攜帶晶圓片移出對位處理區域,再次進入切割處理區域,接續進行下一個切割道的直線切割過程。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于:使工作臺攜帶晶圓片進入對位處理區域一設定的移動距離,以確保視覺機構能夠采集到部分的晶圓片的切割道的圖像。

3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于:使視覺系統包括CCD相機。

4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于:使視覺系統還包括與該CCD相機相配合的遠心鏡頭。

5.根據權利要求1至4任一項所述的方法,其特征在于:當工作臺攜帶晶圓片位于切割處理區域時,使計算機構控制工作臺勻速移動;當工作臺攜帶晶圓片位于對位處理區域時,使計算機構控制工作臺變速移動。

6.一種晶圓片的激光加工裝置,包括激光切割機構、工作臺、視覺機構和計算機構;其特征在于:該工作臺受控于該計算機構,能夠攜帶晶圓片對應于一個直線的切割道的行程中,部分處于切割處理區域,部分處于對位處理區域;在該工作臺攜帶晶圓片進入對位處理區域后,該計算機構通過該視覺機構捕獲切割道的圖像,進行切割道的位置糾偏計算,需要糾偏的話,則控制工作臺縱向移動設定的糾偏量。

7.根據權利要求6所述的裝置,其特征在于:該計算機構控制該工作臺攜帶晶圓片進入對位處理區域一設定的移動距離,以確保視覺機構能夠采集到部分的晶圓片的切割道的圖像。

8.根據權利要求6所述的裝置,其特征在于:該視覺系統包括CCD相機。

9.根據權利要求8所述的裝置,其特征在于:該視覺系統還包括與該CCD相機相配合的遠心鏡頭。

10.根據權利要求6至9任一項所述的裝置,其特征在于:當工作臺攜帶晶圓片位于切割處理區域時,該計算機構控制該工作臺勻速移動;當工作臺攜帶晶圓片位于對位處理區域時,該計算機構控制該工作臺變速移動。

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