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一種基于超短脈沖激光的光纖切割裝置及切割方法與流程

文檔序號(hào):11096227閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:包括設(shè)置在三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)上的角度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(9),角度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(9)上固定光纖(8);所述光纖(8)的上方設(shè)有顯微物鏡(6),激光器(1)發(fā)射出的激光(2)經(jīng)過(guò)二向色鏡(5)反射至顯微物鏡(6),顯微物鏡(6)對(duì)激光(2)進(jìn)行聚焦后切割光纖(8)的表面;二向色鏡(5)上方設(shè)有用于觀測(cè)顯微物鏡(6)聚焦位置的成像透鏡(12)以及CCD探測(cè)器(13);激光器(1)上安裝光學(xué)快門(3),光學(xué)快門(3)與三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)分別經(jīng)過(guò)控制器(11)連接計(jì)算機(jī)(14),計(jì)算機(jī)(14)的輸入端接收CCD探測(cè)器(13)觀測(cè)到的聚焦位置數(shù)據(jù)并輸出顯示在其屏幕上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:所述的三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)和角度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(9)具有帶通光孔的載物臺(tái),且載物臺(tái)的下方設(shè)置有用于在光纖成像觀測(cè)時(shí)進(jìn)行照明的照明光源(18)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:所述的角度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(9)上安裝有用于固定光纖(8)的V型槽光纖磁力夾具(7),且在光纖(8)表面的待切割位置兩側(cè)分別安裝有一個(gè)V型槽光纖磁力夾具(7)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:激光器(1)發(fā)射出的激光(2)為1000Hz重復(fù)頻率的飛秒激光,三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)的掃描速率<2000μm/s。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:顯微物鏡(6)的放大倍數(shù)為5~100,進(jìn)行聚焦的激光(2)具有1mW~8mW的功率。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:顯微物鏡(6)的放大倍數(shù)為20。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:激光器(1)發(fā)射出的激光(2)經(jīng)過(guò)可變衰減器(4)投至二向色鏡(5)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置,其特征在于:所述三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)的定位精度優(yōu)于1μm。

9.一種使用權(quán)利要求1所述基于超短脈沖激光的光纖切割裝置的切割方法,其特征在于,包括:首先利用聚焦的激光(2)通過(guò)定點(diǎn)輻照或沿設(shè)定角度掃描在光纖(8)上形成微槽(15),然后從微槽(15)的相對(duì)面垂直于光纖軸施加應(yīng)力使光纖(8)沿微槽裂開(kāi),完成切割。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的切割方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟一、在三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)上安裝角度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(9),并將光纖(8)固定在角度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(9)上;步驟二、通過(guò)成像透鏡(12)和CCD探測(cè)器(13)觀測(cè)顯微物鏡(6)的聚焦位置,將光纖(8)的待切位置移動(dòng)至焦點(diǎn);步驟三、打開(kāi)激光器(1)使激光(2)發(fā)射,利用顯微物鏡(6)將激光(2)聚焦至光纖(8)上,沿設(shè)定角度掃描激光(2)或移動(dòng)三維電動(dòng)平移臺(tái)(10)使激光(2)在光纖(8)上切割出微槽(15);步驟四、將帶有凹槽的壓斷梁(16)移動(dòng)至微槽(15)的相對(duì)側(cè),使微槽(15)對(duì)準(zhǔn)壓斷梁(16)上凹槽的中心且與微槽(15)的方向平行,利用壓斷梁(16)垂直于光纖軸頂進(jìn)行下壓,使光纖折斷,完成切割。

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