專利名稱：內連接pecvd腔體的制作方法
技術領域：
本發明涉及太陽能電池的生產設備，特別涉及一種內連接PECVD腔體。
背景技術：
PECVD(等離子體增強化學氣相沉積法)的不同腔體承擔了不同的功能用途。從功能區分上主要分為進片室、工藝室(鍍膜室)和出片室。其中工藝室的主要功能為鍍膜， 可根據要求設計成各種不同的功能區域。現有技術PECVD腔體間的連接方式為采用外連接方式連接，即在各腔體的端部安裝法蘭，兩個腔體連接時，在法蘭口外側使用螺絲固定，在法蘭之間使用密封圈密封。這種連接方式外形不美觀，要占用較大空間，并且設備的成本較尚ο

發明內容
本發明的目的，就是為了解決現有技術存在的上述問題，提供一種內連接PECVD 腔體。為了達到上述目的，本發明采用了以下技術方案一種內連接PECVD腔體，包括順序相連的多個腔體，所述的順序相連的多個腔體之間采用內連接方式連接，所述的內連接方式是，在腔體的連接端設置一個向內翻邊的內連接環，兩個腔體的內側通過兩個內連接環用螺栓連接，兩個腔體的連接面之間用密封圈密封。本發明的內連接PECVD腔體具有以下的優點和特點1、簡化了設計，無需額外的法蘭連接，使得腔體間的連接更為簡單，美觀。2、節約了成本，在簡化設計的同時也降低了設備的成本，與外連接相比，內連接在材料的消耗與加工的難度方面有所下降，減少了成本方面的支出。


圖1是本發明內連接PECVD腔體的連接方式結構示意圖。
具體實施例方式圖1為本發明的一個最佳實施例，本發明不限于本實施例。參見圖1，本發明的內連接PECVD腔體，包括順序相連的多個腔體，多個腔體之間采用內連接方式連接。內連接方式如圖1所示，在腔體1和2的連接端設置一個向內翻邊的內連接環11、21，兩個腔體的內側通過兩個內連接環用螺栓3連接，兩個腔體的連接面之間用密封圈4密封。
權利要求
1. 一種內連接PECVD腔體，包括順序相連的多個腔體，其特征在于所述的順序相連的多個腔體之間采用內連接方式連接，所述的內連接方式是，在腔體的連接端設置一個向內翻邊的內連接環，兩個腔體的內側通過兩個內連接環用螺栓連接，兩個腔體的連接面之間用密封圈密封。
全文摘要
本發明提供了一種內連接PECVD腔體，它包括順序相連的多個腔體，腔體之間采用內連接方式連接。內連接方式是，在腔體的連接端設置一個向內翻邊的內連接環，兩個腔體的內側通過兩個內連接環用螺栓連接，兩個腔體的連接面之間用密封圈密封。本發明的內連接PECVD腔體簡化了設計，節約了成本。
文檔編號C23C16/44GK102418081SQ20101029400
公開日2012年4月18日 申請日期2010年9月27日 優先權日2010年9月27日
發明者唐健敏, 夏世偉 申請人:上海太陽能科技有限公司, 上海欣邦電氣有限公司