專利名稱：一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉陰極驅動裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種鍍膜濺射裝置，尤其涉及到驅動齒輪為錐齒輪，所述從動齒輪為 錐形齒輪，驅動齒輪與從動齒輪通過錐齒輪傳動方式進行傳動的真空磁控濺射鍍膜用旋轉 陰極驅動裝置
背景技術：
真空磁控濺射鍍膜是當今鍍膜工藝中鍍膜質量最好，應用范圍最廣的鍍膜工藝， 在該鍍膜工藝中，對鍍膜設備的選擇比較重要，而在鍍膜設備中，磁控濺射陰極尤為重要， 目前普遍采用的是平面濺射陰極，由于平面濺射陰極只濺射固定的靶材區域，一定時間后 會形成跑道狀濺射區域，會影響后期鍍膜的均勻性和穩定性，而比較先進的濺射靶材能旋 轉的濺射陰極由于現有技術不是太成熟，容易產生漏氣、漏水和陰極短路等現象，嚴重影響 鍍膜的質量和設備的維護周期，降低了靶材的利用率，公告號為CN1865485A和CN2923740Y 的中國專利介紹了一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統，在上述兩個專利中，其傳動裝置采 用傳動鏈輪，鏈輪設置在設備內，其維修不方便，同時，傳動效率不高，影響鍍膜的質量。另 外，由于在上述專利形成的設備中，沒有考慮到設備的密封性，從而造成漏氣、漏水和陰極 短路等現象，加快了設備損耗，影響鍍膜的效果和生產效率。
發明內容本發明所要解決的技術問題是提供一種濺射陰極可以旋轉、密封性好的真空磁控 濺射鍍膜用旋轉陰極驅動裝置。為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是提供一種真空磁控濺射鍍膜用 旋轉陰極驅動系統，其包括聚甲醛基座、驅動頭殼體、驅動軸、驅動齒輪、從動齒輪、軸套、輸 入軸頭、磁芯軸、冷卻水管接口、電刷接線柱、靶材、前端蓋、后端蓋、油杯，其中，所述驅動齒 輪設置在驅動軸下端，所述驅動齒輪為錐齒輪，從動齒輪為錐形齒輪，驅動齒輪與從動齒輪 通過錐齒輪傳動方式進行傳動。本發明的另一種優先方案是，所述軸套的前后兩端均設有滾動軸承，其中，所述滾 動軸承同時位于軸套上的雙道動密封內側。本發明的另一種優先方案是，所述從動齒輪通過螺栓與軸套連接固定，軸套內置 有輸入軸頭，其中，所述軸套與輸入軸頭連接處的尾端還設有張緊套傳動裝置，所述輸入軸 頭與磁芯軸相接處還設置有磁芯連接件，當從動齒輪運動時，依次通過軸套，輸入軸頭，慈 芯軸連接件帶動磁芯軸運動。本發明的另一種優先方案是，其中，磁芯軸尾端還設有磁芯固定軸，磁芯固定軸與 所述后端蓋連接處還設有絕緣墊。本發明的另一種優先方案是，所述冷卻水管接口下端連接有冷卻水通道，所述輸 入軸頭內還設置有一冷卻水管，所述冷卻水管內腔與冷卻水通道相通，其中，冷卻水通道尾 端口設置在磁芯連接件下端。[0009]本發明的另一種優先方案是，，所述軸套內腔尾端還設置有至少一個以上的冷卻 水回流通道，所述冷卻水管接口、冷卻水通道、冷卻水回流通道、冷卻水管組成冷卻水循環 系統。本發明的另一種優先方案是，，所述聚甲醛基座頂端還設置有一個油杯，所述油杯 下端接有潤滑油通道，所述潤滑油通道穿過前端蓋，尾端至前端蓋與軸套的相接處的中間 位置。本發明的另一種優先方案是，所述靶材置于磁芯軸上端，并于磁芯連接件外圓周 頂端相連，靶材外端還設置有一個屏蔽罩，所述屏蔽罩尾端固定在前端蓋上。本發明的技術效果是提供一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉陰極驅動裝置，由于其采 用錐形齒輪傳動方式進行傳動，可以提高轉速，從而提高鍍膜的效率，延長旋轉陰極驅動系 統的壽命。另外，其兩個零部件結合處采用靜密封或動密封結構密封，可以獲得良好的密封 效果，防止漏氣、漏水和陰極短路等現象，減少了維修成本，延長了旋轉陰極驅動系統的壽 命。

圖1是本發明驅動裝置的第一剖面示意圖；圖2是本發明驅動裝置的第二剖面示意圖；圖3是本發明的冷卻水回流通道處局部放大示意圖；圖4是本發明的冷卻水通道局部放大示意圖；圖5是本發明的聚甲醛基座頂端的示意圖。1-聚甲醛基座，2-驅動頭殼體，3-驅動軸，4-軸套，5-冷卻水管接口，6_電刷接線 柱，7-靜密封，8-動密封，9-靶材，10-前端蓋，11-后端蓋，12-屏蔽罩，13-絕緣墊，14-滾 動軸承，30-驅動齒輪，31-從動齒輪，32-張緊套傳動裝置，33-驅動軸孔，40-輸入軸頭， 41-磁芯軸，42-磁芯固定軸，43-磁芯連接部件，50-冷卻水管通道，51-冷卻水管，52-冷卻 水回流通道，53-冷卻水管通道，60-接線柱管，61-電刷裝置，63-接線柱管孔，70-0型密封 圈，80-骨架密封圈，100-油杯，101-潤滑油通道，102-潤滑油通道孔。
具體實施方式
為了更清楚的說明本發明的技術方案，
以下結合附圖對本發明做進一步的描述。參照圖1、圖2所示，圖7所示，旋轉陰極驅動系統頂端的驅動頭聚甲醛基座1設 置有四個基孔，其中，上述四個基孔分為驅動軸孔33、接線柱管孔63、冷卻水管通道53，潤 滑油通道孔102，驅動軸孔33內設置有驅動軸3，驅動軸3下端連接有驅動齒輪30，驅動齒 輪30為錐齒輪，驅動齒輪30通過錐齒輪傳動方式帶動從動齒輪31，從動齒輪31通過螺栓 與軸套4固定，在軸套4上內腔中還設置有輸入軸頭40，輸入軸頭40前端連接有磁芯連接 件43，磁芯連接件43前端與磁芯軸41相連，磁芯軸41后端還與磁芯固定軸42相連，當驅 動軸3運動時，依次帶動驅動齒輪30，從動齒輪31，軸套4，輸入軸頭40，磁芯連接件42，磁 芯軸41運動。參照圖1、圖7所示，聚甲醛基座1為圓柱形，在其外圓周上設置有包圍其的驅動 頭殼體2，所述驅動頭殼體2與聚甲醛基座1相接處采用靜密封7結構密封，在驅動頭殼體2的下端前后分別設置有前端蓋10、后端蓋11，驅動頭殼體2與前端蓋10或后端蓋11相 接處設置有靜密封7，其中，所述前端蓋10、后端蓋11、聚甲醛基座1組成一個密閉的腔體， 并把軸套4封閉在該腔體內，在軸套4與前、后端蓋(10，11)相接處還設置有一對滾動軸承 14，在所述滾動軸承14的兩側外端采用多道動密封8結構密封，使軸套4內形成真空。參照圖1、圖2、圖4所示，在聚甲醛基座1上設置的冷卻水管通道50上端設有冷 卻水管接口 5，其中，冷卻水管通道50尾端直達磁芯連接件43的下端，并與磁芯軸41的內 腔相通，通過冷卻水管通道50的冷卻水依次經過軸套4，輸入軸頭40、冷卻水管51、磁芯軸 41、冷卻水回流通道52回到冷卻水管接口 5，組成一個冷卻循環系統。參照圖1，圖6所示，驅動軸3與聚甲醛基座1相接處上下兩端分別設置有一對滾 動軸承14，在所述滾動軸承14的上端采用動密封8結構進行密封。參照圖1，圖5所示，導電接線柱管60上端設置有電刷接線柱6，下端設置有電刷 裝置61，其中，電刷裝置61可與軸套4相觸，當有電流通過電刷接線柱6時，電流依次經過 導電接線柱管60，電刷裝置61，軸套4、輸入軸頭40，最后傳送到磁芯軸41上，導電接線柱 管60與聚甲醛基座1相接處采用靜密封7結構密封。本發明的一種優先具體實施方式
是，參照圖1，在軸套4與輸入軸頭40的連接尾端 還設置有張緊套傳動裝置32，其中，張緊套傳動裝置32為彈性元件。本發明的一種優先具體實施方式
是，參照圖2，在磁芯固定軸42的后端與后端蓋 11相接處還設置有絕緣墊13，絕緣墊13的作用為防止驅動頭殼體2和前、后端蓋(10、11) 帶電。參照圖1所示，在磁芯軸41的外圓周上端設置有靶材9，靶材9的上端設置有屏蔽 罩12，屏蔽罩一端位于靶材上端，另一端通過螺栓固定在前端蓋10上。參照圖1所示，磁芯連接件43與磁芯軸41連接處采用靜密封7結構密封。本發明的一種優先具體實施方式
是，參照圖2、圖3所示，在所述潤滑油通道101上 設置有油杯100，油杯100內上置有潤滑油，其中，所述潤滑油通道101尾端設在前端蓋10 上部中間位置處，其為在滾動軸承14、軸套4、輸入軸頭40、磁芯軸41間起潤滑作用。本發明保護的是一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉陰極驅動系統，只要是本領域技術 人員了解本發明的實施例，而不經過創造性的勞動，僅是同等技術的替換，都屬于本發明的 保護范圍。
權利要求一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉陰極驅動裝置，包括聚甲醛基座(1)、驅動頭殼體(2)、驅動軸(3)、驅動齒輪(30)、從動齒輪(31)、軸套(4)、輸入軸頭(40)、磁芯軸(41)、冷卻水管接口(5)、電刷接線柱(6)、電刷裝置(60)、靶材(9)、前端蓋(10)、后端蓋(11)、油杯(100)，其中，所述驅動齒輪(30)設置在驅動軸(3)下端，其特征在于，所述驅動齒輪(30)為錐齒輪，所述從動齒輪(31)為錐形齒輪，所述驅動齒輪(30)與從動齒輪(31)通過錐齒輪傳動方式進行傳動。
2.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述軸套(4)的前后兩端均設有滾動 軸承(14)，其中，所述滾動軸承(14)同時位于軸套(4)上的雙道動密封內側。
3.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述從動齒輪(31)通過螺栓與軸套 (4)連接固定，所述軸套(4)內置有輸入軸頭(40)，所述輸入軸頭(40)與磁芯軸(41)相接 處設置有磁芯軸連接件(43)，當從動齒輪運動時，依次通過軸套(4)，輸入軸頭(40)，磁芯 軸連接件(43)，帶動磁芯軸(41)運動。
4.根據權利要求1或5所述的驅動裝置，其特征在于，所述磁芯軸(41)尾端還設有磁 芯固定軸(42)，所述磁芯固定軸(42)與后端蓋(11)連接處還設有絕緣墊(13)。
5.根據權利要求1或5所述的驅動裝置，其特征在于，所述軸套(4)與輸入軸頭(40) 連接處的尾端設有張緊套傳動裝置(34)。
6.根據權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述冷卻水管接口(5)下端連接有冷 卻水通道(50)，所述輸入軸頭(40)內腔還設置有一冷卻水管(51)，所述冷卻水管(51)內 腔與冷卻水通道(50)相通，所述軸套(4)內腔尾端還設置有至少一個以上的冷卻水回流 通道(53)，所述冷卻水管接口(5)、冷卻水通道(50)、冷卻水回流通道(53)、冷卻水管(51) 組成冷卻水循環系統。
7.根據權利1所述的驅動裝置，其特征在于，所述聚甲醛基座(1)基座頂端還設置有一 個油杯(100)，所述油杯(100)下端接有潤滑油通道(101)，所述潤滑油通道(101)穿過前 端蓋(10)，至前端蓋(10)與軸套(4)的相接處中間位置。
8.根據權利1所述的驅動裝置，其特征在于，所述電刷接線柱(6)下端設置有接線柱管 (60)，所述接線柱管(60)底端設置有電刷裝置(61)。
專利摘要本實用新型公開了一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉陰極驅動裝置，其包括聚甲醛基座(1)、驅動頭殼體(2)、驅動軸(3)、驅動齒輪(30)、從動齒輪(31)、軸套(4)、輸入軸頭(40)、磁芯軸(41)、冷卻水管接口(5)、電刷接線柱(6)、電刷裝置(60)、靶材(9)、前端蓋(10)、后端蓋(11)，其中，驅動齒輪(30)為錐齒輪，設置在驅動軸(3)下端，從動齒輪(31)也為錐形齒輪，兩者通過錐齒輪傳動方式進行傳動，本實用新型的技術效果是鍍膜效率高，驅動系統壽命長。
文檔編號C23C14/35GK201746585SQ20102023674
公開日2011年2月16日 申請日期2010年6月24日 優先權日2010年6月24日
發明者李惠, 魏慶瑄 申請人:上海子創鍍膜技術有限公司