本發明涉及材料領域，具體的說，本發明涉及一種磁控濺射塑料靶材膜。

背景技術：

磁控濺射塑料靶材膜對于導電性有特殊的要求，因此對于其靶材的研究一直是本領域的熱點。

技術實現要素：

本發明的目的在于提供一種磁控濺射塑料靶材膜。

為了實現本發明的目的，本發明提供一種磁控濺射塑料靶材膜，由下列重量份的原料制成：ABS塑料100-150份、偶聯劑10-30份、相容劑10-20份、潤滑劑1-5份、抗氧化劑10-20份、增塑劑20-50份和導電助劑10-20份。

優選地，本發明所述的磁控濺射塑料靶材膜由下列重量份的原料制成：ABS塑料120份、偶聯劑20份、相容劑15份、潤滑劑3份、抗氧化劑15份、增塑劑30份和導電助劑15份。

更優選地，所述偶聯劑為硅烷偶聯劑KH550。

更優選地，所述相容劑為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯接枝馬來酸酐。

更優選地，所述潤滑劑為液體石蠟。

更優選地，所述抗氧化劑為N,N-二苯基對苯胺。

更優選地，所述增塑劑為鄰苯二甲酸甲酯。

更優選地，所述導電助劑為：

本發明所述的磁控濺射塑料靶材膜值得大規模推廣使用。

具體實施方式

以下通過具體實施方式的描述對本發明作進一步說明，但這并非是對本發明的限制，本領域技術人員根據本發明的基本思想，可以做出各種修改或改進，但是只要不脫離本發明的基本思想，均在本發明的范圍之內。

實施例1

稱取ABS塑料120千克、偶聯劑20千克、相容劑15千克、潤滑劑3千克、抗氧化劑15千克、增塑劑30千克和導電助劑15千克，所述偶聯劑為硅烷偶聯劑KH550。所述相容劑為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯接枝馬來酸酐。所述潤滑劑為液體石蠟。所述抗氧化劑為N,N-二苯基對苯胺。所述增塑劑為鄰苯二甲酸甲酯。所述導電助劑為：

將上述物質加熱至80℃，加入高速攪拌機，以1000轉/分鐘攪拌10分鐘，然后出料到加入長徑比(L/D)為40的雙螺桿擠出機中，雙螺桿擠出機的加工溫度：一區溫度170℃，二區溫度為180℃，三區溫度為190℃，四區溫度為205℃，五區溫度為215℃，六區溫度為225℃，七區溫度為235℃，八區溫度為240℃，主機轉速為350轉/min；經過擠出后冷卻牽條、風干切粒，即得。

實施例2

按照和實施例1相同的方式制備樣品2，不同之處在于不使用導電助劑：

實驗例

按IEC60093要求進行測試表面電阻率，結果如下：實施例1的樣品的表面電阻率(Ω)為1.8×10⁵，實施例2的樣品的表面電阻率(Ω)為8.3×10⁷，由此可見，加入導電助劑后，導電性到顯著增強，實施例1的結果與實施例2的結果進行比較，差異具有統計學意義(P<0.05)。