專利名稱：真空鍍膜機轉動機構的制作方法
技術領域：
本發明屬于真空鍍膜設備，特別涉及一種通過轉換鍍膜工件位置實現蒸發鍍膜的加工設備。
背景技術：
真空鍍膜是指需要在較高真空度下進行鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發和濺射兩種。對于蒸發鍍膜，一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且沉降在基片(或稱工件)表面，通過成膜過程形成薄膜。厚度均勻性和組分均勻性主要
取決于工件材料與靶材的晶格匹配程度；工件表面溫度；靶材蒸發功率和速率；鍍膜真空度；鍍膜時間和厚度大小。當調整了工件鍍膜溫度和真空度，以及靶材蒸發條件后，就需要按照工件特定要求，需要通過合理設置的傳機構來連續轉換鍍膜工件位置，才能確保工件鍍膜質量，尤其對于如汽車輪轂之類的大型工件顯得特別重要。

發明內容
為了克服上述缺陷，本發明提供一種真空鍍膜機轉動機構，通過連續調整鍍膜工件位置達到工件鍍膜均勻度，提高了效率。本發明為了解決其技術問題所采用的技術方案是一種真空鍍膜機轉動機構，包括旋轉支架和驅動該旋轉支架旋轉的馬達，該旋轉支架位于真空腔室內，該真空腔室由底座和安裝于該底座的穹頂罩組成，其中I)該旋轉支架包括可固定鍍膜工件的上托架以及下環，該上托架中部固定于該穹頂罩頂部轉動軸上，該上托架環周與該下環之間通過多個并行的直立桿連接固定，對應該下環的內邊緣，該底座設有多個便于該下環轉動的滾輪；2)該馬達驅動緊配于該下環內邊緣的驅動滾輪連帶該下環轉動。作為本發明的進一步改進，該上托架由上內環、上外環和多個輻條組成，該上內環固定于該穹頂罩頂部轉動軸上，該多個輻條兩端分別連接該上內環和上外環，并呈輻射狀分布，該上外環與該下環之間通過多個并行的該直立桿連接固定。作為本發明的進一步改進，該驅動滾輪固定于一個連接軸的上端，該連接軸中部固定于該底座而下端伸出于該底座，并通過安裝于該真空腔室外部的該馬達驅動轉動。作為本發明的進一步改進，該驅動滾輪為齒輪，該下環內邊緣對應設有能與該齒輪嚙合的環形齒條，該馬達為步進馬達。本發明的有益技術效果是所述上托架可以放置如小型鍍膜工件，也可以固定如汽車輪轂的大型鍍膜工件，所述旋轉支架通過其下環與驅動滾輪緊配時產生摩擦后，帶動該旋轉支架轉動，從而實現鍍膜工件旋轉。更進一步，所述驅動滾輪采用齒輪，而該下環對應邊緣具有可嚙合的齒條，所述馬達也采用步進馬達驅動。由此實現了所述旋轉支架任意控制轉動位置，包括正轉或反轉，以及轉動的度數。


圖I為本發明的軸向剖視圖；圖2為本發明的A-A剖視圖。對照以上附圖，作如下補充說明I-底座2-穹頂罩4-滾輪5-下環6-直立桿 9-上內環·
14-上外環 21-驅動滾輪22——馬達25——輻條27——導電槽 28——轉動軸
具體實施例方式結合圖I和圖2，以下作進一步描述一種真空鍍膜機轉動機構，包括旋轉支架和驅動該旋轉支架旋轉的馬達22，該旋轉支架位于真空腔室內，該真空腔室由底座I和安裝于該底座的穹頂罩2組成，其中I)該旋轉支架包括可固定鍍膜工件的上托架以及下環5，該上托架由上內環9、上外環14和多個輻條25組成，該上內環9固定于該穹頂罩2頂部轉動軸28上(所述轉動軸28在圖I中用虛線標出)，該多個輻條25兩端分別連接該上內環9和上外環14，并呈輻射狀分布，該上外環14與該下環5之間通過多個并行的直立桿6連接固定，對應該下環的內邊緣，該底座設有多個便于該下環5轉動的滾輪4 ；2)該馬達22驅動緊配于該下環5內邊緣的驅動滾輪21連帶該下環5轉動，該驅動滾輪21固定于一個連接軸24的上端，該連接軸24中部固定于該底座I而下端伸出于該底座，并通過安裝于該真空腔室外部的該馬達22驅動轉動。為了更精確控制該旋轉支架轉動，該驅動滾輪21為齒輪，該下環5內邊緣對應設有能與該齒輪嚙合的環形齒條，該馬達22為步進馬達。為了完成真空鍍膜加工，該穹頂罩側部還必須設有便于裝卸鍍膜工件的密封門，此外，該底座上設有靶材和加熱機構，該加熱機構為可放置該靶材的導電槽27，該導電槽安裝于該底座上固定支架，該導電槽兩側通過兩導電棒引出于該真空腔室后，分別與一個電源變壓器次級繞組兩端連接，此外所述真空腔室內需要抽真空設備和對鍍膜工件預加熱設備，所有這些是真空鍍膜必須的技術手段，也是業內人士所公知技術，不是本發明的技術創新，在次不作詳細描述。
權利要求
1.一種真空鍍膜機轉動機構，包括旋轉支架和驅動該旋轉支架旋轉的馬達(22),該旋轉支架位于真空腔室內，該真空腔室由底座(I)和安裝于該底座的穹頂罩(2)組成，其特征在于其中 1)該旋轉支架包括可固定鍍膜工件的上托架以及下環(5)，該上托架中部固定于該穹頂罩(2)頂部轉動軸(28)上，該上托架環周與該下環之間通過多個并行的直立桿(6)連接固定，對應該下環的內邊緣，該底座設有多個便于該下環(5)轉動的滾輪(4)； 2)該馬達(22)驅動緊配于該下環(5)內邊緣的驅動滾輪(21)連帶該下環(5)轉動。
2.根據權利要求I所述的真空鍍膜機轉動機構，其特征在于該上托架由上內環(9)、上外環(14)和多個輻條(25)組成，該上內環(9)固定于該穹頂罩(2)頂部轉動軸上，該多個輻條(25)兩端分別連接該上內環(9)和上外環(14)，并呈輻射狀分布，該上外環(14)與該 下環(5)之間通過多個并行的該直立桿(6)連接固定。
3.根據權利要求I或2所述的真空鍍膜機轉動機構，其特征在于該驅動滾輪(21)固定于一個連接軸(24)的上端，該連接軸(24)中部固定于該底座(I)而下端伸出于該底座，并通過安裝于該真空腔室外部的該馬達(22)驅動轉動。
4.根據權利要求3所述的真空鍍膜機轉動機構，其特征在于該驅動滾輪(21)為齒輪，該下環(5)內邊緣對應設有能與該齒輪嚙合的環形齒條，該馬達(22)為步進馬達。
全文摘要
一種真空鍍膜機轉動機構，包括旋轉支架和驅動該旋轉支架旋轉的馬達，該旋轉支架位于真空腔室內，該真空腔室由底座和安裝于該底座的穹頂罩組成，該旋轉支架包括可固定鍍膜工件的上托架以及下環，該上托架中部固定于該穹頂罩頂部轉動軸上，該上托架環周與該下環之間通過多個并行的直立桿連接固定，對應該下環的內邊緣，該底座設有多個便于該下環轉動的滾輪，該馬達驅動緊配于該下環內邊緣的驅動滾輪連帶該下環轉動，該上托架由上內環、上外環和多個輻條組成，該上內環固定于該穹頂罩頂部轉動軸上，該多個輻條兩端分別連接該上內環和上外環，并呈輻射狀分布，該上外環與該下環之間通過多個并行的該直立桿連接固定。
文檔編號C23C14/24GK102899617SQ20111021006
公開日2013年1月30日 申請日期2011年7月26日 優先權日2011年7月26日
發明者黃水祥 申請人:御林汽配(昆山)有限公司