專利名稱:蓋體的制作方法
技術領域:
本發明涉及一種蓋設于容器上方的蓋體,尤其涉及一種在離子輔助蒸鍍中使用的蓋體。
背景技術:
在離子輔助蒸鍍鍍膜工藝中,一般將膜料放入鉗鍋內,并經由電子束打擊坩鍋內的膜料表面,使其受熱熔融后冷卻形成平整表面,以供后續真空鍍膜使用。膜料在熔化或鍍膜過程中常常會噴出微小顆粒(副產物),通常會先用蓋體遮住使其不噴發到被鍍基材上。待穩定后再打開蓋體,此時膜料被噴發至被鍍基材上成膜。當鍍膜時間太長時,蓋體上的膜層由于附著太厚而發生脫膜。脫落的膜層掉落到鉗鍋內而被電子束再次蒸發至被鍍基材上,就會造成鍍膜的質量降低。同時在鍍膜完成后,由于大量水汽灌入腔體,蓋體上的膜層吸收水汽后容易脫落至鉗鍋內,造成鉗鍋的清洗困難。
發明內容
有鑒于此,有必要提供一種有效防止膜層脫落回鉗鍋的蓋體。本發明提供一種蓋體,其用于蓋在一裝有膜料的容器上,該蓋體包括與容器相對的第一端面以及沿著徑向延伸的若干分流道,該第一端面上開設一容置腔,該容置腔內固定有一遮擋網,所述遮擋網用于附著從所述容器中噴出的顆粒物,若干分流道用于容置一定溫度范圍的液體,從而保持該蓋體處于預定的溫度范圍內。
使用本發明之蓋體能夠有效附著從所述容器中噴出的顆粒物并形成膜層,同時能夠避免膜層脫落會容器內,進而保證基板鍍膜的品質。
圖1為本發明一較佳實施方式蓋體的立體圖。圖2為圖1所不蓋體蓋設于某一容器上方的立體圖。圖3為圖1所示蓋體II1-1II方向上的剖面視圖。圖4為圖1所示蓋體IV-1V方向上的剖面視圖。主要元件符號說明_
權利要求
1.一種蓋體,用于蓋在一裝有膜料的容器上,該蓋體包括與容器相對的第一端面以及沿著徑向延伸的若干分流道,該第一端面上開設一容置腔,該容置腔內固定有一遮擋網,所述遮擋網用于附著從所述容器中噴出的顆粒物,若干分流道用于容置一定溫度范圍的液體,從而保持該蓋體處于預定的溫度范圍內。
2.根據權利要求1所述的蓋體,其特征在于:所述蓋體為一體成型。
3.根據權利要求1所述的蓋體,其特征在于:所述蓋體還包括與第一端面背對的第二端面,該第二端面凸起有一第一接頭,其中第一接頭上開設有與若干分流道連通的進口流道。
4.根據權利要求3所述的蓋體,其特征在于:所述蓋體還開設有一中間孔,該中間孔分別連通上述進口流道和若干分流道。
5.根據權利要求3所述的蓋體,其特征在于:所述蓋體還包括連接上述若干分流道的環流道。
6.根據權利要求5所述的蓋體,其特征在于:所述蓋體還包括位于第一端面和第二端面之間的側面,該側面上凸起有一第二接頭,該第二接頭上開設有與環流道連通的出口流道。
7.根據權利要求6所述的蓋體,其特征在于:所述側面還包括有一連接部。
全文摘要
本發明提供一種蓋體,其用于蓋在一裝有膜料的容器上,該蓋體包括與容器相對的第一端面以及沿著徑向延伸的若干分流道,該第一端面上開設一容置腔,該容置腔內固定有一遮擋網,所述遮擋網用于附著從所述容器中噴出的顆粒物,若干分流道用于容置一定溫度范圍的液體,從而保持該蓋體處于預定的溫度范圍內。本發明之蓋體能夠有效附著從所述容器中噴出的顆粒物并形成膜層,同時能夠避免膜層脫落會容器內,進而保證基板鍍膜的品質。
文檔編號C23C14/30GK103205717SQ201210009540
公開日2013年7月17日 申請日期2012年1月13日 優先權日2012年1月13日
發明者裴紹凱 申請人:鴻富錦精密工業(深圳)有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司