一種掩模組件的組裝方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種掩模組件的組裝方法，其步驟如下：S1：掩膜框架的準(zhǔn)備，將掩模框架置于組裝平臺(tái)上，使得掩模框架的內(nèi)框與強(qiáng)化桿通過對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)對(duì)位正確放置；S2：繃網(wǎng)固定，通過繃網(wǎng)裝置將掩模部繃緊使掩模部緊貼掩模框架的掩模固定面，將繃緊的掩模部固定到掩模框架的內(nèi)框上；S3：調(diào)節(jié)連接機(jī)構(gòu)，進(jìn)一步微調(diào)焊接固定后的掩膜組件，使得掩模部表面平整度更好，圖案位置精度更加準(zhǔn)確。本發(fā)明公開的一種掩模組件的組裝方法，可以有效解決掩模板下垂問題，改善印刷的精度和質(zhì)量，有效地提升最終產(chǎn)品的良品率。
【專利說明】一種掩模組件的組裝方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電子印刷領(lǐng)域，尤其涉及一種掩模組件的組裝方法。
【背景技術(shù)】
[0002]與現(xiàn)行IXD技術(shù)相較，利用有機(jī)發(fā)光二級(jí)管(OLED)技術(shù)所制成的顯示器不僅具有可全彩化、反應(yīng)時(shí)間快、高亮度(10(Tl4，000cd/m2)、高流明效率(16~381m/W)、170度以上的視角、無一般LCD殘影、可制作成大尺寸與可撓曲性面板、能夠在攝氏-30度~80度的范圍內(nèi)作業(yè)等優(yōu)勢(shì)，而且制程簡(jiǎn)單、整體厚度也能縮小至Imm以下、成本更僅有TFT-1XD的30-40%。因此，利用OLED技術(shù)所制成的顯示器在深得社會(huì)歡迎。
[0003]目前，OLED技術(shù)所制成的顯示器在小尺寸上已經(jīng)達(dá)到量產(chǎn)技術(shù)，而且相對(duì)較為成熟。但為了通過同時(shí)制造多個(gè)OLED顯示器以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED顯示器，就需要增大傳統(tǒng)大襯底的尺寸，相應(yīng)的就必須增大用于蒸鍍有機(jī)材料的掩模組件的尺寸。
[0004]圖14所示是傳統(tǒng)用于蒸鍍有機(jī)材料的掩模組件的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括外框11及通過焊點(diǎn)120固定在外框11上的掩模部12，掩模部12是通過在兩端施加拉力繃緊后焊接到外框11上，焊接后釋放拉力。掩模組件水平放置時(shí)，由于掩模部12沿原來拉力反方向回縮導(dǎo)致外框11上下(圖14中上下方位)支撐部分出現(xiàn)圖中所示內(nèi)凹現(xiàn)象，從而使得掩模部12出現(xiàn)下垂(特別是掩模部12中間區(qū)域)，如此造成的后果是蒸鍍得到的圖案位置精度、尺寸大小相對(duì)都會(huì)有一定的偏差，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量及良率。
[0005]中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)枮?010101136655公開了一種掩模組件及用于使用該掩模組件的平板顯示器的沉積設(shè)備，`其主要結(jié)構(gòu)在于:掩模組件的外框上設(shè)置有橫跨外框構(gòu)成的開口區(qū)域的支撐棒，從而減少掩模部的下垂量。中國(guó)專利專利號(hào)為01138161.2提供了一種用于制造大尺寸顯示面板的掩模，其包括:具有多個(gè)孔的主框架，自掩模根據(jù)要制造的尺寸和圖案而裝配在主框架的孔內(nèi)。以上方式在實(shí)現(xiàn)OLED顯示器量產(chǎn)上有一定的作用，但在制作大尺寸顯示屏上具有一定局限。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本發(fā)明提供了一種掩模組件的組裝方法。
[0007]本文提供的一種掩模組件的組裝方法，具體包括以下步驟:
51:掩模框架對(duì)位安裝:將所述掩模框架置于組裝平臺(tái)上，使得所述掩模框架的內(nèi)框與強(qiáng)化桿通過對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)對(duì)位正確放置；
52:掩模部繃網(wǎng)固定:通過繃網(wǎng)裝置將所述掩模部繃緊且使掩模部緊貼所述掩模框架的掩模固定面，將繃緊的所述掩模部固定到所述掩模框架的內(nèi)框上；
53:掩模板張力微調(diào):通過調(diào)節(jié)連接機(jī)構(gòu)，進(jìn)一步微調(diào)固定后的掩膜組件，使得所述掩模部表面平整度更好，圖案位置精度更加準(zhǔn)確。[0008]另外，根據(jù)本發(fā)明公開的一種掩模組件的組裝方法還具有如下附加技術(shù)特征: 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟Si中，進(jìn)一步地，掩模框架水平放置于組裝平臺(tái)上，將連接
機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)至松弛狀態(tài)，調(diào)整對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)位置，使所述對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)之間處于對(duì)位緊貼狀態(tài)，此時(shí)，所述內(nèi)框和強(qiáng)化桿之間存有間距。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，所述掩模部是單塊掩模板或是多塊掩模單元拼接而成。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，采用兩端繃網(wǎng)方式或多邊繃網(wǎng)方式繃?yán)谀２俊?br> [0011] 在本發(fā)明中，可以用兩端繃網(wǎng)方式或多邊繃網(wǎng)方式來對(duì)單塊掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)，但對(duì)于多塊掩模單元拼接而成的掩模部則需要采用多邊繃網(wǎng)方式進(jìn)行。優(yōu)選地，采用多邊繃網(wǎng)方式對(duì)單塊掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，所述掩模部固定前需要通過定位機(jī)構(gòu)定位，使得所述掩模部相對(duì)所述掩模框架具有精確地定位。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，
可以是
521:所述掩模部是單塊掩模板，則只需一次繃網(wǎng)過程；
或者是
522:所述掩模部由多塊掩模單元拼接而成，則需要包含多次繃網(wǎng)固定過程，直至所有所述掩模單元繃網(wǎng)固定完成。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，所述固定方式是激光焊接固定方式或者是膠水粘接等其它方式。
[0015]更優(yōu)選地，固定方式為激光焊接固定方式。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S3中，進(jìn)一步地，所述連接機(jī)構(gòu)包括螺絲，通過配合轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)螺絲，使得在掩模部繃?yán)伦冃蔚膬?nèi)框一組對(duì)邊211在一定程度上恢復(fù)形變前的狀態(tài)，從而相應(yīng)減少掩模部的下垂量，在調(diào)節(jié)螺絲時(shí)，需要時(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)掩模部上圖案的位置精度、開口尺寸等影響最終使用效果的掩膜組件參數(shù)。
[0017]步驟S3中，優(yōu)選地，所述螺絲為密紋螺絲。
[0018]所述密紋螺絲不僅能夠承擔(dān)更大的支撐力，而且能夠根據(jù)相應(yīng)的拉力對(duì)所述掩模部進(jìn)行更加精細(xì)調(diào)節(jié)。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S3中，進(jìn)一步地，
可以是:
掩模部為單個(gè)掩模板時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)通過次序調(diào)節(jié)螺絲，對(duì)掩模板進(jìn)行張力調(diào)節(jié)； 或者是:
掩模部為多個(gè)拼接掩模單元時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)可以采用先中間調(diào)節(jié)，再在中軸線的一側(cè)特定位置調(diào)節(jié)，再到以中軸線為鏡像的另一側(cè)對(duì)應(yīng)位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，如此依次進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0020]以上步驟所涉及掩模組件以及構(gòu)成掩膜組件的掩模框架一種具體結(jié)構(gòu)如下所述:
本專利所涉及的掩模框架主要包括:內(nèi)框、強(qiáng)化桿及用于連接內(nèi)框、強(qiáng)化桿的連接機(jī)構(gòu)。其中內(nèi)框包含兩組對(duì)邊，所述兩組對(duì)邊構(gòu)成一個(gè)封閉矩形框架，所述對(duì)邊可以是一體成型，或者是通過連接部件連接成一體結(jié)構(gòu)。所述內(nèi)框和強(qiáng)化桿之間還具有對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)，對(duì)稱機(jī)構(gòu)可以是在對(duì)邊外沿兩端或兩端附近設(shè)置有凹陷結(jié)構(gòu)和在強(qiáng)化桿對(duì)應(yīng)位置的兩端或兩端附近設(shè)置的突起結(jié)構(gòu)，當(dāng)然所述突起結(jié)構(gòu)和凹陷結(jié)構(gòu)的設(shè)置也可以在所述對(duì)邊和所述強(qiáng)化桿之間置換。當(dāng)凹陷結(jié)構(gòu)和突起結(jié)構(gòu)對(duì)位重合后，所述內(nèi)框和強(qiáng)化桿之間存在一定的間距。
[0021]本專利所涉及的掩模組件中所述連接機(jī)構(gòu)包括螺絲，優(yōu)選地，所使用的螺絲為密紋螺絲，其通過與所述內(nèi)框的邊的配合與所述強(qiáng)化桿結(jié)合，由于所述對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)的作用，所述內(nèi)框的邊外沿與所述強(qiáng)化桿內(nèi)側(cè)之間形成一定的間距。
[0022]所述連接機(jī)構(gòu)還包括所述內(nèi)框一組對(duì)邊、強(qiáng)化桿上對(duì)應(yīng)的設(shè)置有用于螺絲連接的配對(duì)孔，其中優(yōu)選地，所述內(nèi)框的一組對(duì)邊上設(shè)置為螺紋盲孔，強(qiáng)化桿上設(shè)置為圓柱階梯通孔。所述配對(duì)孔在所述內(nèi)框的一組對(duì)邊、強(qiáng)化桿長(zhǎng)方向上按一定的規(guī)律排布，優(yōu)選地，中間緊密集兩端稀疏排布；或者是均勻排布或者是中間稀疏兩端密集。
[0023]所述強(qiáng)化桿還包括側(cè)面設(shè)置的突起平臺(tái)，所述突起平臺(tái)與所述內(nèi)框的邊下表面緊密接觸，掩所述掩模框架水平放置時(shí)，所述突起平臺(tái)起到支撐所述內(nèi)框的作用；進(jìn)一步地，所述突起平臺(tái)與所述內(nèi)框的邊的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有倒角結(jié)構(gòu)，如此設(shè)計(jì)有利于有機(jī)發(fā)光材料的蒸鍍過程。
[0024]所述內(nèi)框的一邊與強(qiáng)化桿之間還可以包括保持內(nèi)框與強(qiáng)化桿間穩(wěn)定的彈簧結(jié)構(gòu)。
[0025]本文所涉及的掩模框架還可以包括在掩模框架的內(nèi)部設(shè)置的與構(gòu)成掩模框架內(nèi)框的兩組對(duì)邊分別平行的支撐桿，從而使得掩模組件可以往更大的尺寸發(fā)展。所述內(nèi)框與所述強(qiáng)化桿之間的間距可根據(jù)需要設(shè)計(jì)
本專利所涉及的掩模組件，其包括:本專利所涉及的所述掩模框架和掩模部，所述掩模部固定在所述掩模框架上。所述掩模部可以是多塊掩模單元拼接而成，也可以是一體成型的單塊掩模板；所述掩模部通過`膠水粘接、激光焊接或其它方式固定在所述掩模框架的內(nèi)框上。
[0026]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1是繃網(wǎng)固定不意圖；
圖2是本發(fā)明一種掩模框架的實(shí)施例示意圖；
圖3是圖2中20部分放大示意圖；
圖4為圖4為本發(fā)明一實(shí)施例掩模框整體平面圖；
圖5為為圖4中41部分放大示意圖；
圖6為圖4中42區(qū)域A-A截面示意圖；
圖7圖7是掩模組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖8是圖7中S-S方向所示截面示意圖；
圖9為圖8中81部分放大示意圖；圖10所示是圖9所示結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn)機(jī)構(gòu)； 圖11為為本發(fā)明的另一種實(shí)施例；
圖12為為本發(fā)明的另一種實(shí)施例；
圖13為為圖12中215區(qū)域的放大示意圖；
圖14所示是傳統(tǒng)用于蒸鍍有機(jī)材料的掩模組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖15—種掩模組件的組裝方法流程圖。
[0028]其中，圖1中，10為掩模固定面，F(xiàn)為繃網(wǎng)的施力方向；
圖2中，20為待放大區(qū)域，21為內(nèi)框，22為強(qiáng)化桿，23為連接機(jī)構(gòu)，211、212為對(duì)邊；
圖3中，31為對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)，32為對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)；
圖4中，41為待放大部分，42為待解剖區(qū)域，43為用于連接內(nèi)框21與強(qiáng)化桿22的配對(duì)
孔；
圖5中，d為內(nèi)框21與強(qiáng)化桿之間的間距；
圖7中，24為掩模部，241為固定連接結(jié)構(gòu)；
圖8中,81為待放大區(qū)域；
圖9中，221為強(qiáng)化桿22上突起平臺(tái)，2110為內(nèi)框211內(nèi)側(cè)倒角結(jié)構(gòu)，2210為強(qiáng)化桿221內(nèi)側(cè)倒角結(jié)構(gòu)；
圖10中，10為彈性部件；
圖11中，213為固定在內(nèi)框上的橫向支撐桿；
圖12中，214為固定在內(nèi)框上的豎向支撐桿，215為待放大區(qū)域；
圖14中，11為外框，120為焊點(diǎn)，12為掩模部。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0030]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“橫”、“豎”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0031]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0032]本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思如下，由于現(xiàn)有掩模繃網(wǎng)技術(shù)中在生產(chǎn)大尺寸面板會(huì)出現(xiàn)大尺寸掩模板下垂的問題，當(dāng)尺寸越大，對(duì)產(chǎn)品的精度、質(zhì)量都會(huì)造成很大影響，同時(shí)降低良品率。本發(fā)明提供的一種掩模組件的組裝方法通過S1:掩模框架對(duì)位安裝，掩模部繃網(wǎng)固定，
S3:掩模板張力微調(diào)步驟對(duì)掩模框架因繃網(wǎng)產(chǎn)生內(nèi)向力而造成向內(nèi)彎曲的對(duì)邊施加相反的外力，降低其內(nèi)彎程度，進(jìn)而改善產(chǎn)品的精度和質(zhì)量；同時(shí)，當(dāng)尺寸進(jìn)一步加大時(shí)，可以對(duì)掩模框架及其對(duì)應(yīng)的掩模組件增加支撐桿，增強(qiáng)減少更大尺寸掩模板的下垂能力，使制造更大尺寸面板成為可能。
[0033]下面將參照附圖來描述本發(fā)明的掩模組件的組裝方法并對(duì)涉及的掩模框架和掩模組件進(jìn)行相應(yīng)說明，其中圖1是繃網(wǎng)固定示意圖；圖2是本發(fā)明一種掩模框架的實(shí)施例示意圖；圖4為圖4為本發(fā)明一實(shí)施例掩模框整體平面圖；圖7是掩模組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10所示是圖9所示結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn)機(jī)構(gòu)；圖11為為本發(fā)明的另一種實(shí)施例；圖12為為本發(fā)明的另一種實(shí)施例；圖14所示是傳統(tǒng)用于蒸鍍有機(jī)材料的掩模組件的結(jié)構(gòu)示意圖，圖15是圖15—種掩模組件的組裝方法流程圖。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，一種掩模組件的組裝方法，如圖1-15所示，
S1:掩模框架對(duì)位安裝:將所述掩模框架置于組裝平臺(tái)上，使得所述掩模框架的內(nèi)框21與強(qiáng)化桿22通過對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)31、32對(duì)位正確放置；
52:掩模部繃網(wǎng)固定:通過繃網(wǎng)裝置將所述掩模部24繃緊且使掩模部24緊貼所述掩模框架的掩模固定面，將繃緊的所述掩模部固定到所述掩模框架的內(nèi)框21上；
53:掩模板張力微調(diào):通過調(diào)節(jié)連接機(jī)構(gòu)23，進(jìn)一步微調(diào)固定后的掩膜部24，使得所述掩模部24表面平整度更好，圖案位置精度更加準(zhǔn)確。
[0035]另外，根據(jù)本發(fā)明公開的一種掩模組件的組裝方法還具有如下附加技術(shù)特征: 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟Si中，進(jìn)一步地，掩模框架水平放置于組裝平臺(tái)上，將連接
機(jī)構(gòu)23調(diào)節(jié)至松弛狀態(tài)，調(diào)整對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)31、32位置(圖3所示)，使所述對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)31,32之間處于對(duì)位緊貼狀態(tài)，此時(shí)，所述內(nèi)框21和強(qiáng)化桿22之間存有間距d。如圖4所
[0036]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，所述掩模，24是單塊掩模板或是多塊掩模單元拼接而成，多塊掩模單元拼接而成的掩模部24參見圖1所示。
[0037]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，采用兩端繃網(wǎng)方式或多邊繃網(wǎng)方式繃?yán)谀２?4，兩端繃網(wǎng)方式參見圖1。
[0038]在本發(fā)明中，可以用兩端繃網(wǎng)方式或多邊繃網(wǎng)方式來對(duì)單塊掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)，但對(duì)于多塊掩模單元拼接而成的掩模部則需要采用多邊繃網(wǎng)方式進(jìn)行。優(yōu)選地，采用多邊繃網(wǎng)方式對(duì)單塊掩模板進(jìn)行繃網(wǎng)。
[0039]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，所述掩模部24固定前需要通過定位機(jī)構(gòu)定位，使得所述掩模部24相對(duì)所述掩模框架具有精確地定位。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，
可以是
521:所述掩模部24是單塊掩模板，則只需一次繃網(wǎng)過程；
或者是
522:所述掩模部24由多塊掩模單元拼接而成，則需要包含多次繃網(wǎng)固定過程，直至所有所述掩模單元繃網(wǎng)固定完成，如圖3所示，每一塊掩模板單元都需要進(jìn)行繃網(wǎng)固定。
[0041]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S2中，進(jìn)一步地，所述固定方式是激光焊接固定方式或者是膠水粘接等其它方式。
[0042]更優(yōu)選地，固定方式為激光焊接固定方式。
[0043]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S3中，進(jìn)一步地，所述連接機(jī)構(gòu)23包括螺絲，如圖6、9、10所示，通過配合轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)螺絲，使得在掩模部24繃?yán)伦冃蔚膬?nèi)框21 —組對(duì)邊211在一定程度上恢復(fù)形變前的狀態(tài)，從而相應(yīng)減少掩模部24的下垂量，在調(diào)節(jié)螺絲時(shí)，需要時(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)掩模部24上圖案的位置精度、開口尺寸等影響最終使用效果的掩膜組件參數(shù)。
[0044]步驟S3中，優(yōu)選地，所述螺絲為密紋螺絲。
[0045]所述密紋螺絲不僅能夠承擔(dān)更大的支撐力，而且能夠根據(jù)相應(yīng)的拉力對(duì)所述掩模部進(jìn)行更加精細(xì)調(diào)節(jié)。
[0046]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，步驟S3中，進(jìn)一步地，
可以是: 掩模部為單個(gè)掩模板時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)23通過次序調(diào)節(jié)螺絲，對(duì)掩模板進(jìn)行張力調(diào)
節(jié)；
或者是:
掩模部為多個(gè)拼接掩模單元時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)可以采用先中間調(diào)節(jié)，再在中軸線的一側(cè)特定位置調(diào)節(jié)，再到以中軸線為鏡像的另一側(cè)對(duì)應(yīng)位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，如此依次進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0047]以上步驟所涉及掩模組件以及構(gòu)成掩膜組件的掩模框架一種具體結(jié)構(gòu)如下所述:
本專利所涉及的掩模框架主要包括:內(nèi)框21、強(qiáng)化桿22及用于連接內(nèi)框、強(qiáng)化桿的連接機(jī)構(gòu)23。其中內(nèi)框包含兩組對(duì)邊211、212，所述兩組對(duì)邊211、212構(gòu)成一個(gè)封閉矩形框架，所述對(duì)邊可以是一體成型，或者是通過連接部件連接成一體結(jié)構(gòu)。所述內(nèi)框21和強(qiáng)化桿22之間還具有對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)，對(duì)稱機(jī)構(gòu)可以是在對(duì)邊外沿兩端或兩端附近設(shè)置有凹陷結(jié)構(gòu)31和在強(qiáng)化桿對(duì)應(yīng)位置的兩端或兩端附近設(shè)置的突起結(jié)構(gòu)32，當(dāng)然所述突起結(jié)構(gòu)32和凹陷結(jié)構(gòu)31的設(shè)置也可以在所述對(duì)邊和所述強(qiáng)化桿之間置換。當(dāng)凹陷結(jié)構(gòu)和突起結(jié)構(gòu)對(duì)位重合后，所述內(nèi)框和強(qiáng)化桿之間存在一定的間距d，如圖3、4所示。優(yōu)選地，本實(shí)施例中的凹陷結(jié)構(gòu)31與突起結(jié)構(gòu)32為同心圓柱體，且半徑相同，配合后，二者能夠?qū)崿F(xiàn)重合；當(dāng)然，對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)也可以是其它類型具有同種功能的結(jié)構(gòu)。
[0048]本專利所涉及的掩模組件中所述連接機(jī)構(gòu)23包括螺絲，如圖6所示，優(yōu)選地，所使用的螺絲為密紋螺絲，其通過與所述內(nèi)框的邊的配合與所述強(qiáng)化桿23結(jié)合，由于所述對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)31、32的作用，所述內(nèi)框21的邊外沿與所述強(qiáng)化桿22內(nèi)側(cè)之間形成一定的間距CL
[0049]如圖4所示,所述連接機(jī)構(gòu)23還包括所述內(nèi)框21 —組對(duì)邊211、強(qiáng)化桿22上對(duì)應(yīng)的設(shè)置有用于螺絲連接的配對(duì)孔43，其中優(yōu)選地，所述內(nèi)框21的一組對(duì)邊211上設(shè)置為螺紋盲孔，強(qiáng)化桿22上設(shè)置為圓柱階梯通孔。所述配對(duì)孔43在所述內(nèi)框21的一組對(duì)邊211、強(qiáng)化桿22長(zhǎng)方向上按一定的規(guī)律排布，優(yōu)選地，如圖4所示，中間緊密集兩端稀疏排布；或者是均勻排布或者是中間稀疏兩端密集。
[0050]所述強(qiáng)化桿22還包括側(cè)面設(shè)置的突起平臺(tái)221,如圖8所示,所述突起平臺(tái)221與所述內(nèi)框21的邊下表面緊密接觸，當(dāng)所述掩模框架水平放置時(shí)，所述突起平臺(tái)221起到支撐所述內(nèi)框21的作用；進(jìn)一步地，所述突起平臺(tái)221與所述內(nèi)框21的邊的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有倒角結(jié)構(gòu)2210、2110，如此設(shè)計(jì)有利于有機(jī)發(fā)光材料的蒸鍍過程。
[0051]所述內(nèi)框21的一邊與強(qiáng)化桿22之間還可以包括保持內(nèi)框21與強(qiáng)化桿22間穩(wěn)定的彈簧結(jié)構(gòu)10。
[0052]本文所涉及的掩模框架還可以包括在掩模框架的內(nèi)部設(shè)置的與構(gòu)成掩模框架內(nèi)框的兩組對(duì)邊分別平行的支撐桿213、214，從而使得掩模組件可以往更大的尺寸發(fā)展。所述內(nèi)框21與所述強(qiáng)化桿22之間的間距d可根據(jù)需要設(shè)計(jì)。
[0053]本專利所涉及的掩模組件，其包括:本專利所涉及的所述掩模框架和掩模部24，所述掩模部24固定在所述掩模框架上。所述掩模部24可以是多塊掩模單元拼接而成(如圖1所示)，也可以是一體成型的單塊掩模板；所述掩模部24通過膠水粘接、激光焊接或其它方式固定在所述掩模框架的內(nèi)框上。如圖7所示，所述掩模部24由一組平行排列的條形掩模單元構(gòu)成，其兩端通過固定連接結(jié)構(gòu)241固定連接在掩模框架的內(nèi)框21上，優(yōu)選地，所述固定連接結(jié)構(gòu)241為激光焊接。
[0054] 任何提及“ 一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0055]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模組件的組裝方法，其特征在于，包括: S1:掩模框架對(duì)位安裝:將所述掩模框架置于組裝平臺(tái)上，使得所述掩模框架的內(nèi)框與強(qiáng)化桿通過對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)對(duì)位正確放置； 52:掩模部繃網(wǎng)固定:通過繃網(wǎng)裝置將所述掩模部繃緊且使掩模部緊貼所述掩模框架的掩模固定面，將繃緊的所述掩模部固定到所述掩模框架的內(nèi)框上； 53:掩模板張力微調(diào):通過調(diào)節(jié)連接機(jī)構(gòu)，進(jìn)一步微調(diào)固定后的掩膜組件，使得所述掩模部表面平整度更好，圖案位置精度更加準(zhǔn)確。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟SI中，Sll: 掩模框架水平放置于組裝平臺(tái)上，將連接機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)至松弛狀態(tài)，調(diào)整對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)位置，使所述對(duì)位支撐機(jī)構(gòu)之間處于對(duì)位緊貼狀態(tài)，此時(shí)，所述內(nèi)框和強(qiáng)化桿之間存有間距。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，所述掩模部是單塊掩模板或是多塊掩模單元拼接而成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，采用兩端繃網(wǎng)方式或多邊繃網(wǎng)方式繃?yán)谀２俊?br> 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，所述掩模部固定前需要通過定位機(jī)構(gòu)定位，使得所述掩模部相對(duì)所述掩模框架具有精確地定位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，可以是 521:所述掩模部是單塊掩模板，則只需一次繃網(wǎng)過程；` 或者是 522:所述掩模部由多塊掩模單元拼接而成，則需要包含多次繃網(wǎng)固定過程，直至所有所述掩模單元繃網(wǎng)固定完成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，所述固定方式是激光焊接固定方式或者是膠水粘接等其它方式。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S3中，所述連接機(jī)構(gòu)包括螺絲，通過配合轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)螺絲，使得在掩模部繃?yán)伦冃蔚膬?nèi)框一組對(duì)邊211在一定程度上恢復(fù)形變前的狀態(tài)，從而相應(yīng)減少掩模部的下垂量，在調(diào)節(jié)螺絲時(shí)，需要時(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)掩模部上圖案的位置精度、開口尺寸等影響最終使用效果的掩膜組件參數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S3中，所述螺絲為密紋螺絲。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S3中，可以是: 掩模部為單個(gè)掩模板時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)通過次序調(diào)節(jié)螺絲方式，對(duì)掩模板進(jìn)行張力調(diào)節(jié)； 或者是: 掩模部為多個(gè)拼接掩模單元時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)可以采用先中間調(diào)節(jié)，再在中軸線的一側(cè)特定位置調(diào)節(jié)，再到以中軸線為鏡像的另一側(cè)對(duì)應(yīng)位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，如此依次進(jìn)行調(diào)節(jié)。
【文檔編號(hào)】C23C16/04GK103668050SQ201210329233
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2012年9月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月7日
【發(fā)明者】魏志凌, 高小平, 張煒平 申請(qǐng)人:昆山允升吉光電科技有限公司