專利名稱：風量調節裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及加工設備技術領域，尤其涉及一種風量調節裝置。
背景技術：
硅外延是一種典型化學氣相淀積(CVD)技術。它的工藝過程是在單晶硅襯底上沿著原來的結晶方向生長一層導電類型、電阻率、厚度和晶格結構及其完整性都符合要求的新單晶層。在外延工藝技術中，工藝腔室的溫度均勻性和冷卻效果是一項很重要的技術參數。在一些工藝過程中還需要階段性改變腔室溫度，以便能更好的提高生產率，此時空氣流量控制裝置將會起到至關重要的作用。如何能準確控制這些參數來對應工藝的需求，是所有風循環冷卻過程中要解決的問題。通常使用普通風閥來解決這一問題，在減小風量的過程中風阻會快速的增加，風阻增加會帶來風量的減少，這樣在整個控制曲線中很難調整到一個合適的點，也很難實現不同階段的多種風量；在外延工藝中使用的氣體多數為易燃易·爆氣體，而普通風閥的電動執行器又存在安全隱患。
發明內容(一 )要解決的技術問題本發明要解決的技術問題是提供一種風量調節裝置，能夠在外延工藝不同階段提供多種適合的風量。( 二 )技術方案為解決上述問題，本發明提供了一種風量調節裝置，包括沿風道的軸向設有開口的支承體、可滑動地改變與所述開口重合部分面積的控制滑板、以及驅動所述控制滑板滑動的滑動調節件。優選地，所述支承體包括位于所述控制滑板板面兩側的上板和下板、以及于所述控制滑板邊緣外側連接在所述上板和下板之間的中間隔板。優選地，所述支承體還包括限制于所述控制滑板的滑動邊緣兩側的滑塊。優選地，所述滑動調節件為氣缸驅動裝置，所述控制滑板與氣缸驅動裝置的氣缸活塞連接。優選地，所述氣缸驅動裝置還包括容置所述氣缸活塞的氣缸、以及于氣缸活塞伸出的一側固定在所述氣缸上的活塞鎖緊件，所述氣缸通過氣缸伸縮控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通，所述活塞鎖緊件通過氣缸鎖緊控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通。優選地，所述氣缸外周設有沿氣缸軸向位置可調的第一磁環和第二磁環，所述第一磁環更靠近所述活塞鎖緊件設置，其中，所述氣缸活塞伸出到達第一磁環時，所述第一磁環向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發出鎖緊信號；所述氣缸活塞縮回到達第二磁環時，所述第二磁環向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發出鎖緊信號。優選地，所述氣缸伸縮控制電磁閥分別通過進氣管與排氣管與所述氣缸連通，所述進氣管上設有進氣調速閥；所述排氣管上設有排氣調速閥。優選地，所述控制滑板與所述氣缸活塞之間通過運動連接件連接，所述氣缸通過氣缸安裝板與所述支承體連接。優選地，所述滑動調節件為螺栓調節機構，所述螺栓調節機構包括安裝在所述支承件上的固定部，以及活動端與所述控制滑板連接的螺栓。(三)有益效果本實用新型可以實現多種不同風口開度的定位，可以很方便的調節風量的大小，能在外延工藝時實現熱量分布均勻、加熱與冷卻的平衡、不同工藝階段時的多種溫度，避免了傳統調節裝置的復雜結構，和較繁瑣的操作過程。本實用新型采用氣缸作為滑動調節件對控制滑板的滑動進行控制，不會產生電火 花，在有易燃易爆氣體的環境中沒有安全隱患。本實用新型風口是利用滑板的滑動來實現開關的，在調節過程中風口由一個開口構成，做到風阻增加比較小，控制效果理想，避免了傳統百葉窗式風閥調節時靠很多窄槽過風增加風阻的情況。

圖I為根據本實用新型實施例一的結構示意圖；圖2為圖I的俯視圖；圖3為根據本實用新型實施例一支承件與控制滑板的結構示意圖；圖4為圖3的A-A剖視圖；圖5為根據本實用新型實施例一滑動調節件的結構示意圖；圖6為根據本實用新型實施例一滑動調節件氣動控制原理示意圖；其中，100 :支承體；101 :上板；102 :下板；103 :中間隔板；104 :滑塊；200 :控制滑板；300 :氣缸驅動裝置；301 :氣缸活塞；302 :氣缸；303 :活塞鎖緊件；304 :第一磁環；305 :第二磁環；306 :鎖緊件進氣口 ；307 :氣缸伸縮控制電磁閥；308 :氣缸鎖緊控制電磁閥；309 :進氣調速閥；310 :排氣調速閥；311 :壓縮氣體供氣管路；312 :帶逆流功能的減壓閥；400 :運動連接件；500 :氣缸安裝板。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本發明進行詳細說明如下。實施例一如圖I和圖2所示，本實施例記載了一種風量調節裝置，包括沿風道的軸向設有開口的支承體100、可滑動地改變與所述開口重合部分面積的控制滑板200、以及驅動所述控制滑板200滑動的滑動調節件。通過所述滑動調節件使得所述控制滑板200滑動并定位在適合的位置，從而使得控制滑板200與開口重合部分的面積可調，使得沒有被控制滑板200遮擋的開口部分形成的風口的大小可調。在本實施例中，所述支承體100包括位于所述控制滑板200板面兩側的上板101和下板102、于所述控制滑板200邊緣外側連接在所述上板101和下板102之間的中間隔板103、以及限制于所述控制滑板200的滑動邊緣兩側的滑塊104。如圖3和圖4所示，本實施例中，所述上板101、下板102和中間隔板103用螺釘固定在一起，控制滑板200在滑動調節件的控制下在上板101與下板102之間滑動，滑塊104對控制滑板200起到滑動導向的作用，控制滑板200滑動時只與滑塊104接觸。滑塊104的材料采用聚四氟乙烯材料，滑板的表面經過磨床加工后表面粗糙度很低，這樣控制滑板200滑動時與滑塊104的摩擦力很小，滑動就可以很靈活。控制滑板200的滑動邊緣與滑塊104之間的間隙靠很小的公差保證，使得控制滑板200在運動時靈活而不晃動。如圖5和圖6所示，在本實施例中，所述滑動調節件為氣缸驅動裝置300，所述氣缸驅動裝置300包括與所述控制滑板200連接的氣缸活塞301、容置所述氣缸活塞301的氣 缸302、以及于氣缸活塞301伸出的一側固定在所述氣缸302上的活塞鎖緊件303。其中，所述活塞鎖緊件303用于在需要固定所述氣缸活塞301位置時，鎖緊氣缸活塞301。所述氣缸302通過氣缸伸縮控制電磁閥307與所述壓縮氣體供氣管路311連通，用于實現所述氣缸活塞301的伸縮控制。所述活塞鎖緊件303通過氣缸鎖緊控制電磁閥308與所述壓縮氣體供氣管路311連通。如圖5所示，所述活塞鎖緊件303上設有鎖緊件進氣口 306，用于通過進氣管與所述氣缸鎖緊控制電磁閥308連通。通過氣缸鎖緊控制電磁閥308的控制實現所述活塞鎖緊件303對氣缸活塞301的鎖緊或放開。所述氣缸302外周設有沿氣缸302軸向位置可調的第一磁環304和第二磁環305，所述第一磁環304設于更靠近所述活塞鎖緊件303的位置，其中，所述氣缸活塞301伸出到達第一磁環304時，所述第一磁環304向所述氣缸鎖緊控制電磁閥308發出鎖緊信號；所述氣缸活塞301縮回到達第二磁環305時，所述第二磁環305向所述氣缸鎖緊控制電磁閥308發出鎖緊信號。使用時，當氣缸活塞301伸出到達第一磁環304時，氣缸鎖緊控制電磁閥308控制鎖緊件進氣口 306進氣以鎖住氣缸活塞301 ;當氣缸活塞301縮回時，氣缸鎖緊控制電磁閥308控制鎖緊件進氣口 306排氣，使得鎖緊的氣缸活塞301被松開，氣缸活塞301縮回；當氣缸活塞301運行到第二磁環305處時，第二磁環305發出到位鎖緊信號，氣缸鎖緊控制電磁閥308控制鎖緊件進氣口 306進氣將氣缸活塞301再次鎖住。通過這樣調整第一磁環304和第二磁環305的位置，就可以控制氣缸活塞301的伸出和縮回長度。所述氣缸伸縮控制電磁閥307分別通過進氣管與排氣管與所述氣缸302連通，所述進氣管上設有進氣調速閥309 ;所述排氣管上設有排氣調速閥310。通過對進氣調速閥309和排氣調速閥310進行調節，可以控制氣缸活塞301伸出或縮回的速度。所述控制滑板200與所述氣缸活塞301之間通過運動連接件400連接，所述氣缸302通過氣缸安裝板500與所述支承體100連接。工作時，壓縮氣體經過濾和壓力調整，分別供給氣缸鎖緊控制電磁閥308和氣缸伸縮控制電磁閥307，當氣缸伸縮控制電磁閥307控制壓縮氣體進入氣缸302，使控制氣缸活塞301縮回，所述氣缸活塞301帶動控制滑板200將風道關閉，同時氣缸鎖緊控制電磁閥308控制鎖緊件進氣口 306排氣，使活塞鎖緊件303處于松開狀態。活塞縮回到位后，氣缸鎖緊控制電磁閥308動作，使得壓縮氣體進入所述活塞鎖緊件303，活塞鎖緊件303將氣缸活塞301鎖住；當風道打開時，氣缸鎖緊控制電磁閥308控制活塞鎖緊件303松開，氣缸伸縮控制電磁閥307狀態切換，壓縮氣體推動氣缸活塞301伸出，同時控制滑板200打開風道。當氣缸活塞301伸縮到位并被鎖緊件303鎖住時，氣缸伸縮控制電磁閥307切換到中位，帶逆流功能的減壓閥312可以保持氣缸兩側壓力平衡。通過調節進氣調速閥309和排氣調速閥310來控制氣缸活塞301的行進速度。實施例二 本實施例的支承件和控制滑板部分與實施例一相同，不同的是本實施例中的所述滑動調節件還可以為螺栓調節機構，所述螺栓調節機構包括安裝在所述支承件上的固定部，以及活動端與所述控制滑板連接的螺栓。通過手工調節螺栓，使得控制滑板的位置發生變化，進而改變風口的大小。本實用新型提供的風量調節裝置，可在有易燃易爆氣體存在的環境下使用；在調·節過程中調節方便，風阻增加比較小，控制效果理想。以上實施方式僅用于說明本發明，而并非對本發明的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本發明的范疇，本發明的專利保護范圍應由權利要求限定。
權利要求1.一種風量調節裝置，其特征在于，包括沿風道的軸向設有開口的支承體、可滑動地改變與所述開口重合部分面積的控制滑板、以及驅動所述控制滑板滑動的滑動調節件。
2.如權利要求I所述的風量調節裝置，其特征在于，所述支承體包括位于所述控制滑板板面兩側的上板和下板、以及于所述控制滑板邊緣外側連接在所述上板和下板之間的中間隔板。
3.如權利要求2所述的風量調節裝置，其特征在于，所述支承體還包括限制于所述控制滑板的滑動邊緣兩側的滑塊。
4.如權利要求I所述的風量調節裝置，其特征在于，所述滑動調節件為氣缸驅動裝置，所述控制滑板與氣缸驅動裝置的氣缸活塞連接。
5.如權利要求4所述的風量調節裝置，其特征在于，所述氣缸驅動裝置還包括容置所 述氣缸活塞的氣缸、以及于氣缸活塞伸出的一側固定在所述氣缸上的活塞鎖緊件，所述氣缸通過氣缸伸縮控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通，所述活塞鎖緊件通過氣缸鎖緊控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通。
6.如權利要求5所述的風量調節裝置，其特征在于，所述氣缸外周設有沿氣缸軸向位置可調的第一磁環和第二磁環，所述第一磁環更靠近所述活塞鎖緊件設置，其中，所述氣缸活塞伸出到達第一磁環時，所述第一磁環向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發出鎖緊信號；所述氣缸活塞縮回到達第二磁環時，所述第二磁環向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發出鎖緊信號。
7.如權利要求5所述的風量調節裝置，其特征在于，所述氣缸伸縮控制電磁閥分別通過進氣管與排氣管與所述氣缸連通，所述進氣管上設有進氣調速閥；所述排氣管上設有排氣調速閥。
8.如權利要求4所述的風量調節裝置，其特征在于，所述控制滑板與所述氣缸活塞之間通過運動連接件連接，所述氣缸通過氣缸安裝板與所述支承體連接。
9.如權利要求I所述的風量調節裝置，其特征在于，所述滑動調節件為螺栓調節機構，所述螺栓調節機構包括安裝在所述支承件上的固定部，以及活動端與所述控制滑板連接的螺栓。
專利摘要本實用新型公開了一種風量調節裝置，包括沿風道的軸向設有開口的支承體、可滑動地改變與所述開口重合部分面積的控制滑板、以及驅動所述控制滑板滑動的滑動調節件。本實用新型提供的風量調節裝置，可在有易燃易爆氣體存在的環境下使用；在調節過程中調節方便，風阻增加比較小，控制效果理想。
文檔編號C23C16/455GK202705464SQ20122019331
公開日2013年1月30日 申請日期2012年4月28日 優先權日2012年4月28日
發明者劉 東, 崔娟娟, 李一吾, 劉俊豪 申請人:北京七星華創電子股份有限公司