專利名稱：一種用于光刻機的柱面鏡的手動拋光工具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及光刻機，特別是一種用于光刻機的柱面鏡手持拋光工具。
背景技術：
氟化鈣晶體由于其在深紫外波段具有高透過率，低雙折射等優異性能使成為深紫外光刻機光刻物鏡系統所必需的光學材料之一。相比常規光學材料(K9，熔石英等)，氟化鈣晶體為典型的單晶軟脆材料，其質地軟，溫度膨脹系數大，脆性高和各項異性材料等材料特性使氟化鈣在研磨加工過程當中很難滿足光刻物鏡系統的極限衍射成像系統。當加工如下圖3所示的柱面鏡時用金剛石車床車削凹面時(平面已經加工好)會產生扇形的紋路且Ra=6到IOnm和均方根值(RMS)也遠遠不能滿足90nm光刻機的需要。同時，氟化鈣的加工有以下四個難點:1，軟而脆；2，熱膨脹系數大；3，熱傳導能力差；4，斷裂強度低。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供`一種用于光刻機的柱面鏡的手動拋光工具，克服柱面鏡面型難以加工的困難，滿足國內90nm光刻機的設計需要本實用新型的技術解決方案是:—種用于光刻機的柱面鏡的手動拋光工具，特征在于其構成包括拋光頭、與該拋光頭固定連接的手柄、以及黏貼在該拋光頭外表面的絨布。與現有技術相比，本實用新型的有益效果是:I)在一般拋光過程當中很難同時保證面型與粗糙度，本實用新型兩者兼顧，且在拋光過程當中避免有雜物混入拋光區域。2)本實用新型解決了如下問題:★在保證粗糙度的同時兼顧面型；★在在保證面型與粗糙度的同時避免雜物混入拋光區域；★手工操作方便且符合人體工程力學。

圖1是本實用新型手持拋光工具的結構示意圖。圖2為手持拋光工具和柱面鏡使用狀態圖。圖中:1 一手柄、2—拋光頭、3—續布、4一待拋光柱面鏡凹面。
具體實施方式
[0020]
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明，但不應以此限制本實用新型的保護范圍。請參閱圖1，圖1是本實用新型手持拋光工具的結構示意圖，如圖所示，一種手持拋光工具，包括拋光頭2、與該拋光頭2固定連接的手柄1、以及黏貼在該拋光頭外表面的絨布3。所述絨布的面積大于待拋光柱面鏡的凹面。所述的手柄I由鋁制成，所述拋光頭2由尼龍該材料制成。拋光頭與手柄通過螺紋進行配合固定。本實用新型手持拋光工具的操作方法如下:①建立超凈工作室和超凈工作臺，室內溫度為20 26°C ±0.1°C，濕度為50 70%,標準大氣壓下進行手動拋光工作。②在超凈房間內，工作人員帶上防靜電手套和口罩，對已經用金剛石車床加工過的氟化鈣柱面鏡用Zygo VeriFire非球面干涉儀上進行測量記下原始數據然后對需要拋光的面型進行擦拭，在擦拭過程中把柱面鏡放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢，把擦拭好的柱面鏡放在玻璃器皿中，防止再次污染。③準備好拋光液以及固定好柱面鏡，然后用本實用新型手持拋光工具蘸上拋光液對柱面鏡進行拋光。④拋光一段時間后擦拭干凈再利用Zygo VeriFire非球面干涉儀進行面形測量，當面形不符合設計要求時返回步驟③，如果符合要求進入下一步。⑤擦拭干凈包裝好入庫。
權利要求1.一種用于光刻機的柱面鏡的手動拋光工具，特征在于其構成包括拋光頭(2)、與該拋光頭(2 )固定連接的手柄(I)、以及黏貼在該拋光頭外表面的絨布(3 )。
2.根據權利要求1所述的手持拋光工具，其特征在于，所述絨布的面積大于待拋光柱面鏡的凹面。
3.根據權利要求1或2所述的手持拋光工具，其特征在于，所述的手柄(I)由鋁制成，所述拋光頭(2)由尼龍該材料制成。
4.根據權利要求1或2所述的手持拋光工具，其特征在于，所述的拋光頭與手柄通過螺紋固定連接。
專利摘要一種用于光刻機的柱面鏡的手動拋光工具，特征在于其構成包括拋光頭、與該拋光頭固定連接的手柄、以及黏貼在該拋光頭外表面的絨布。本實用新型在保證粗糙度的同時兼顧面型，同時避免雜物混入拋光區域。
文檔編號B24B13/01GK202943509SQ20122067853
公開日2013年5月22日 申請日期2012年12月11日 優先權日2012年12月11日
發明者蔣泉權, 魏向榮, 顧亞平 申請人:上海現代先進超精密制造中心有限公司