水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明的課題是提供一種水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地測(cè)定膜厚，能夠延長(zhǎng)有機(jī)EL制造裝置的連續(xù)工作時(shí)間。作為解決本發(fā)明課題的手段涉及一種水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其特征在于，具有：檢測(cè)來(lái)自被加熱的坩鍋的蒸發(fā)粒子的水晶振子；安裝有該水晶振子的水晶振子保持架；覆蓋該水晶振子保持架的金屬制的蓋；與該蓋以熱的方式連接的監(jiān)視器本體；和在該監(jiān)視器本體上安裝的冷卻構(gòu)件，上述蓋接近熱源的部分采用不銹鋼，與上述監(jiān)視器本體接觸的部分采用鋁合金。
【專(zhuān)利說(shuō)明】水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭。
【背景技術(shù)】
[0002]作為有機(jī)EL制造裝置等中的薄膜的膜厚檢測(cè)方法，有水晶振蕩式。該水晶振蕩式利用當(dāng)在水晶振蕩元件的表面上附著物質(zhì)時(shí)其共振振動(dòng)變化來(lái)測(cè)定物質(zhì)的膜厚。
[0003]在這種情況下，當(dāng)水晶振蕩元件受到蒸鍍時(shí)發(fā)生的熱的影響時(shí)，水晶振蕩元件的共振頻率變動(dòng)，不可能進(jìn)行正確的測(cè)定，對(duì)成膜結(jié)果帶來(lái)影響。
[0004]作為解決該問(wèn)題的現(xiàn)有技術(shù)，例如有專(zhuān)利文獻(xiàn)I。該現(xiàn)有技術(shù)通過(guò)珀?duì)柼慵延伤д袷幵M成的監(jiān)視器的溫度保持在規(guī)定的一定溫度。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)昭63 - 72872號(hào)公報(bào)
[0008]現(xiàn)有的水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭作為熱對(duì)策，安裝水冷冷卻線圈(冷卻機(jī)構(gòu))，同時(shí)安裝熱護(hù)罩(熱屏蔽蓋)來(lái)覆蓋水晶振蕩元件，保護(hù)水晶振蕩元件不受成膜工序中的輻射熱的影響。
[0009]該熱護(hù)罩和收納水晶振蕩元件的水晶振蕩元件保持架用不銹鋼等低導(dǎo)熱材料構(gòu)成。
[0010]但是近來(lái)要求裝置的連續(xù)工作時(shí)間的長(zhǎng)時(shí)間化，與此相伴水晶振蕩元件在輻射熱下暴露的時(shí)間也變長(zhǎng)，需要更加牢固的熱保護(hù)。
[0011]進(jìn)而，當(dāng)作為熱對(duì)策冷卻水晶振蕩元件保持架時(shí)，通過(guò)未使用時(shí)和蒸鍍時(shí)的溫度差發(fā)生稱(chēng)為熱沖擊(heat shock)的現(xiàn)象,對(duì)于膜厚測(cè)定帶來(lái)惡劣影響。
[0012]另外，專(zhuān)利文獻(xiàn)1是用珀?duì)柼慵鼑д袷幵O(jiān)視器這樣的措施防止水晶振蕩元件的溫度上升的技術(shù)，有結(jié)構(gòu)復(fù)雜這樣的問(wèn)題。
[0013]因此，本發(fā)明的目的是提供一種水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地測(cè)定膜厚，能夠延長(zhǎng)有機(jī)EL制造裝置的連續(xù)工作時(shí)間。
[0014]用于解決課題的方法
[0015]為了解決上述課題，本發(fā)明具有檢測(cè)來(lái)自被加熱的坩鍋的蒸發(fā)粒子的水晶振子；安裝有該水晶振子的水晶振子保持架；覆蓋該水晶振子保持架的金屬制的蓋；與該蓋以熱的方式連接的監(jiān)視器本體；和在該監(jiān)視器本體上安裝的冷卻構(gòu)件，上述蓋接近熱源的部分采用不銹鋼，與上述監(jiān)視器本體接觸的部分采用鋁合金。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地測(cè)定膜厚，能夠延長(zhǎng)有機(jī)EL制造裝置的連續(xù)工作時(shí)間。
[0017]上述以外的課題、結(jié)構(gòu)以及效果通過(guò)以下的實(shí)施方式的說(shuō)明來(lái)明確。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】[0018]圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的蒸發(fā)源裝置的分解立體圖。
[0019]圖2是具有本發(fā)明的實(shí)施例的蒸發(fā)源裝置的薄膜形成裝置的截面圖。
[0020]圖3是本發(fā)明的實(shí)施例1的蒸發(fā)源裝置的立體圖。
[0021]圖4是本發(fā)明的實(shí)施例1的水晶振子的主視圖。
[0022]圖5是本發(fā)明的實(shí)施例1的膜厚控制裝置的立體圖。
[0023]圖6是本發(fā)明的實(shí)施例1的膜厚控制裝置的包含一部分截面的立體圖。
[0024]圖7是本發(fā)明的實(shí)施例1的膜厚控制裝置的截面圖。
[0025]圖8是本發(fā)明的實(shí)施例2的膜厚控制裝置的部分截面圖。
[0026]圖9是本發(fā)明的實(shí)施例2的膜厚控制裝置的部分截面圖。
[0027]符號(hào)說(shuō)明
[0028]I…蒸發(fā)源裝置 2…殼體
[0029]3…EL材料3a…蒸發(fā)粒子
[0030]4…坩鍋5…加熱裝置
[0031]6…氣體排出用板6a…氣體排出孔
[0032]7…真空室8…被蒸鍍基板
[0033]9…膜厚控制裝置10…水晶振子保持架
[0034]IOa…不銹鋼IOb…鋁合金
[0035]11…水晶振子 12…凹部
[0036]13…開(kāi)口部14…壓住板
[0037]15…電極16…接觸式電極
[0038]17…蓋17a…不銹鋼
[0039]17b…鋁合金17c…爪部
[0040]17d…溝部17e…螺絲
[0041]18…供給孔20…旋轉(zhuǎn)軸
[0042]22…監(jiān)視器本體 23…冷卻配管
【具體實(shí)施方式】
[0043]下面參照【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的實(shí)施例。
[0044]以下，在圖1到圖7中說(shuō)明本發(fā)明的有機(jī)EL設(shè)備制造裝置中的實(shí)施方式。
[0045](實(shí)施例1)
[0046]有機(jī)EL設(shè)備裝置，是在發(fā)光材料層以外，用薄膜重疊空穴注入層、傳輸層、電子注入層、傳輸層、和金屬材料等各種材料的多層結(jié)構(gòu)。
[0047]圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的蒸發(fā)源裝置的分解立體圖。
[0048]圖2是具有本發(fā)明的實(shí)施例的蒸發(fā)源裝置的薄膜形成裝置的截面圖。
[0049]在圖1、圖2中，EL材料的蒸發(fā)源裝置I具有朝向水平的一個(gè)方向長(zhǎng)長(zhǎng)地延伸的殼體2 (水冷遮護(hù)盒)，在該殼體2內(nèi)部從箭頭方向放入收納EL材料3的坩鍋4。用于把坩鍋4加熱到規(guī)定的溫度的加熱裝置5 (加熱器)如圖2所示在坩鍋4的周?chē)惭b。
[0050]在坩鍋4的前面安裝氣體排出用板6。在該氣體排出用板6上在水平方向均勻地形成多個(gè)氣體排出孔6a。該氣體排出孔6a形成為在兩端部的間隔距離比中央部的距離接近。
[0051]在圖2中，在用虛線表示的真空室7內(nèi)收納蒸發(fā)源裝置I。在該真空室7內(nèi)通過(guò)保持裝置(未圖示)直立固定制造有機(jī)EL設(shè)備的玻璃板等被蒸鍍基板8。蒸發(fā)源裝置I如箭頭所示可相對(duì)于被蒸鍍基板8上下運(yùn)動(dòng)。蒸發(fā)源裝置I通過(guò)一邊上下運(yùn)動(dòng)一邊對(duì)于被蒸鍍基板8用上述加熱裝置5加熱，從氣體排出孔6a噴射成為氣體狀的有機(jī)EL材料3的蒸發(fā)粒子3a。由此，在被蒸鍍基板8的表面上寬廣地蒸鍍有機(jī)EL材料3的蒸發(fā)粒子3a。
[0052]圖3是本發(fā)明的實(shí)施例1的蒸發(fā)源裝置的立體圖。此外為了說(shuō)明的方便，圖3在氣體排出用板被取出的狀態(tài)下描繪。
[0053]在圖3中，如上述，在具有冷卻機(jī)構(gòu)(未圖示)的殼體2中安裝坩鍋4。在該坩鍋4的兩端設(shè)置裝備有用于進(jìn)行膜厚控制的水晶振子的膜厚控制裝置9 (也稱(chēng)膜厚傳感器)。
[0054]如上述，通過(guò)從用加熱裝置5加熱到規(guī)定溫度的坩鍋4噴射的蒸發(fā)粒子3a，膜厚控制裝置9始終暴露在高溫下。
[0055]這里說(shuō)明坩鍋4的結(jié)構(gòu)。坩鍋4的結(jié)構(gòu)為:在坩鍋4的內(nèi)部具有要蒸鍍的有機(jī)EL材料3，通過(guò)用加熱裝置5進(jìn)行加熱控制能夠得到穩(wěn)定的蒸鍍速率。在坩鍋4的前面排列多個(gè)氣體排出孔6a,從該氣體排出孔6a噴射通過(guò)加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)粒子3a。
[0056] 下面使用圖4、圖5、圖6說(shuō)明在本實(shí)施方式中使用的具有用于進(jìn)行膜厚控制的水晶振子的膜厚控制裝置的構(gòu)成。
[0057]圖4是本發(fā)明的實(shí)施例的水晶振子的主視圖。
[0058]在圖4中，在圓盤(pán)狀的水晶振子保持架10上成環(huán)狀安裝12個(gè)直徑約20mm的水晶振子11。水晶振子保持架10具有以電的方式控制水晶振子11的機(jī)構(gòu)。通過(guò)水晶振子11進(jìn)行的膜厚控制，利用當(dāng)在水晶振子11上附著金屬膜時(shí)振動(dòng)頻率降低的事實(shí)來(lái)檢測(cè)在被蒸鍍基板8上附著的金屬膜的厚度。
[0059]因此如上述，通過(guò)從用加熱裝置5加熱到規(guī)定溫度的坩鍋4噴射的蒸發(fā)粒子3a，水晶振子11始終暴露在高溫下。
[0060]圖5是本發(fā)明的實(shí)施例的膜厚控制裝置的包含部分截面的立體圖。
[0061]在圖5中，構(gòu)成水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭的圓形的水晶振子保持架10使旋轉(zhuǎn)中心部降低那樣朝向中心部?jī)A斜(傾斜角度Θ )。在該傾斜面上在圓周上以均等距離的間隔形成多個(gè)凹部12。在該凹部12的內(nèi)部插入外形為圓盤(pán)狀的水晶振子11。在本實(shí)施例中如圖4所示成環(huán)狀安裝12個(gè)水晶振子11。
[0062]從該多個(gè)水晶振子11的上部安裝成環(huán)狀具有開(kāi)口部13的壓住板14，所述開(kāi)口部13具有圓錐狀的凹入面。在水晶振子11的表面上形成電極15。另外在水晶振子保持架10的下部通過(guò)一對(duì)接觸式電極板16向頭部的外部進(jìn)行電氣方式的引導(dǎo)。
[0063]因此如上述，通過(guò)從用加熱裝置5加熱到規(guī)定溫度的坩鍋4噴射的蒸發(fā)粒子3a，通過(guò)壓住板14水晶振子11始終暴露在高溫下。
[0064]此外，可以在水晶振子保持架10的凹部12、壓住板14上例如安裝由板簧等組成的電極，這點(diǎn)未圖示。
[0065]圖6是本發(fā)明的實(shí)施例的膜厚控制裝置的包含一部分截面的立體圖。
[0066]在圖6中，安裝有水晶振子11的水晶振子保持架10用蓋17覆蓋。該蓋17具有與配置水晶振子11的傾斜面一致的傾斜面，在該傾斜面上設(shè)置與水晶振子11的直徑一致大小的供給孔18。
[0067]在水晶振子保持架10的中心部安裝旋轉(zhuǎn)軸20。旋轉(zhuǎn)軸20貫通位于水晶振子保持架10的下方的監(jiān)視器本體22。在該監(jiān)視器本體22上以熱的方式連接冷卻配管23。該冷卻配管23是使冷卻水循環(huán)的、所謂的水冷裝置的冷卻夾套。
[0068]因此如上述，通過(guò)從用加熱裝置5加熱到規(guī)定溫度的坩鍋4噴射的蒸發(fā)粒子3a，通過(guò)蓋17和壓住板14水晶振子11始終暴露在高溫下。
[0069]圖7是本發(fā)明的實(shí)施例的膜厚控制裝置的截面圖。
[0070]在圖7中，嵌入有水晶振子11的水晶振子保持架10用蓋17覆蓋。該蓋17用兩種金屬構(gòu)成，上部用不銹鋼17a構(gòu)成，下部用鋁合金17b構(gòu)成。
[0071]也就是說(shuō)，如圖7所示，蓋17的暴露在最高溫下的部分為不銹鋼17a，與該不銹鋼17a連續(xù)形成鋁合金17b。
[0072]因此熱在不銹鋼17a中積蓄，積蓄的熱慢慢向鋁合金17b移動(dòng)擴(kuò)散。另一方面，因?yàn)殇X合金17b與通過(guò)水冷配管23冷卻的監(jiān)視器本體22接觸，所以慢慢被冷卻。由此，通過(guò)在不銹鋼17a內(nèi)積蓄的熱通過(guò)鋁合金17b消除，能夠長(zhǎng)時(shí)間保護(hù)水晶振子不會(huì)過(guò)熱。
[0073]也就是說(shuō)，現(xiàn)有的蓋17僅用不銹鋼形成，本發(fā)明在不銹鋼中部分設(shè)置鋁合金的區(qū)域。由此，一面以不銹鋼的程度積蓄熱，一面避免通過(guò)監(jiān)視器本體使水晶振子過(guò)冷，在該意義上使監(jiān)視器本體和鋁合金接觸。亦即，在鋁合金的區(qū)域內(nèi)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地維持盡可能接近常溫的溫度冷卻。
[0074]這樣根據(jù)本實(shí)施例，通過(guò)使熱護(hù)罩和水晶振子為組合有作為低導(dǎo)熱材料的不銹鋼和作為高導(dǎo)熱材料的鋁合金的構(gòu)造，通過(guò)鋁合金去除在不銹鋼中積蓄的熱，能夠長(zhǎng)時(shí)間保護(hù)水晶振子。
`[0075](實(shí)施例2)
[0076]圖8是本發(fā)明的實(shí)施例2的膜厚控制裝置的部分截面圖。
[0077]在圖8中，在不銹鋼17a的尖端部設(shè)置爪部17c。在鋁合金17b的尖端設(shè)置不銹鋼17a的爪部17c插入的溝部17d。
[0078]也就是說(shuō)，通過(guò)把不銹鋼17a的爪部17c插入鋁合金17b的溝部17d，能夠一體地形成材質(zhì)不同的蓋17。此外，在本實(shí)施例中如果要進(jìn)一步增加強(qiáng)度，如圖8所示，也可以設(shè)置貫通爪部17c和溝部17d的螺絲17e。
[0079](實(shí)施例3)
[0080]圖9是本發(fā)明的實(shí)施例2的膜厚控制裝置的部分截面圖。
[0081]在圖9中，在實(shí)施例1中用不銹鋼和鋁合金形成蓋17，但是在本實(shí)施例中用不銹鋼IOa和鋁合金IOb構(gòu)成水晶振子保持架10。
[0082]根據(jù)如上所述的本發(fā)明，一旦在不銹鋼中積蓄的來(lái)自蒸發(fā)源裝置的熱通過(guò)與用水冷夾套冷卻的監(jiān)視器本體接觸的鋁合金，則被間接地去除。因此水晶振子通過(guò)鋁合金在接近常溫的溫度下被長(zhǎng)時(shí)間地保護(hù)，所以能夠防止通過(guò)由過(guò)冷引起的溫度差的熱沖擊。
【權(quán)利要求】
1.水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其特征在于，具有:檢測(cè)來(lái)自被加熱的坩鍋的蒸發(fā)粒子的水晶振子；安裝有該水晶振子的水晶振子保持架；覆蓋該水晶振子保持架的金屬制的蓋；與該蓋以熱的方式連接的監(jiān)視器本體；和在該監(jiān)視器本體上安裝的冷卻構(gòu)件，所述蓋接近熱源的部分采用不銹鋼，與所述監(jiān)視器本體接觸的部分采用鋁合金。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其特征在于，所述蓋通過(guò)不銹鋼和鋁合金的一體成形而形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其特征在于，在所述不銹鋼的尖端設(shè)置爪部，在所述鋁合金的尖端設(shè)置溝部，同時(shí)把所述爪部插入所述溝部來(lái)形成所述蓋。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其特征在于，用螺絲結(jié)合所述不銹鋼和所述鋁合金。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的水晶振蕩式膜厚監(jiān)視器用傳感器頭，其特征在于，把所述水晶振子保持架做成所述不銹`鋼和所述鋁合金的兩層結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK103710666SQ201310338522
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月28日
【發(fā)明者】龜山大樹(shù), 加藤升, 福田浩 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)