管式pecvd設(shè)備進料檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置，包括開設(shè)在殼體上的進料口，所述進料口的兩側(cè)殼體上分別固定有對射式光電開關(guān)的發(fā)射器和接收器，所述對射式光電開關(guān)的控制器與管式PECVD設(shè)備的可編程控制器電連接。本實用新型利用對射式光電開關(guān)控制設(shè)備的上料動作，石墨舟從上料口推進設(shè)備后位于對射式光電開關(guān)的光傳播路徑上，此時觸發(fā)上料機械手啟動進入后續(xù)操作。本實用新型的使用實現(xiàn)整個工序的全自動化操作，提高了設(shè)備的自動化程度解放了勞動力，進而提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，具體涉及一種管式PECVD進料檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)設(shè)備，即等離子增強化學(xué)氣象沉積設(shè)備，用于對硅片進行鍍膜，其包括上下料區(qū)、爐體、抽真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，硅片裝在石墨舟中，通過上下料區(qū)進入爐體進行鍍膜，鍍膜后在上下料區(qū)將石墨舟卸下?，F(xiàn)有設(shè)備的進料環(huán)節(jié)是手動控制的，將裝載石墨舟的小車推至進料口，使石墨舟位于進料上料機械手的下方，然后手動按動開關(guān)上料機械手自動抓取石墨舟進入自動操作流程。整個操作流程需要人工干預(yù)，不能做到完全自動化，影響生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種管式PECVD進料檢測裝置，能夠檢測工件是否位于進料上料機械手下方，進而完成自動進料操作，提高了設(shè)備自動化程度，進而提高了生產(chǎn)效率。
[0004]本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0005]管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置，包括開設(shè)在殼體上的進料口，所述進料口的兩側(cè)殼體上分別固定有對射式光電開關(guān)的發(fā)射器和接收器，所述對射式光電開關(guān)的控制器與管式PECVD設(shè)備的可編程控制器電連接。
[0006]本實用新型進一步的改進方案是，所述對射式光電開關(guān)的光傳播路徑經(jīng)過工件的上料等待位置。
[0007]本實用新型進一步的改進方案是，所述發(fā)射器為紅外發(fā)射管，所述接收器為光敏條型接收器
[0008]本實用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:
[0009]本實用新型利用對射式光電開關(guān)控制設(shè)備的上料動作，石墨舟從上料口推進設(shè)備后位于對射式光電開關(guān)的光傳播路徑上，此時觸發(fā)上料機械手啟動進入后續(xù)操作。本實用新型的使用實現(xiàn)整個工序的全自動化操作，提高了設(shè)備的自動化程度解放了勞動力，進而提聞了生廣效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型俯視結(jié)構(gòu)剖視圖。
【具體實施方式】
[0011]如圖1所示的管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置，包括開設(shè)在殼體上的進料口 1，進料口 I的兩側(cè)殼體上分別固定有對射式光電開關(guān)的發(fā)射器2和接收器3,其中對射式光電開關(guān)的控制器與管式PECVD設(shè)備的可編程控制器電連接。[0012]本實施例的實現(xiàn)需要滿足對射式光電開關(guān)的光傳播路徑(圖中虛線所示)經(jīng)過工件的上料等待位置，發(fā)射器2為紅外發(fā)射管，接收器3為光敏條型接收器。這樣當(dāng)工件隨小車推至上料機械手下方待加工時剛好阻隔了發(fā)射器的紅外線，觸發(fā)上料機械手的啟動開關(guān)，完成自動啟動操作，與設(shè)備后續(xù)操作對接實現(xiàn)全自動操作。
【權(quán)利要求】
1.管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置，包括開設(shè)在設(shè)備殼體上的進料口(1)，其特征在于:所述進料口( I)的兩側(cè)殼體上分別固定有對射式光電開關(guān)的發(fā)射器(2 )和接收器(3 )，所述對射式光電開關(guān)的控制器與管式PECVD設(shè)備的可編程控制器電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置，其特征在于:所述對射式光電開關(guān)的光傳播路徑經(jīng)過工件的上料等待位置。
3.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD設(shè)備進料檢測裝置，其特征在于:所述發(fā)射器(2)為紅外發(fā)射管，所述接收器(3)為光敏條型接收器。
【文檔編號】C23C16/52GK203530430SQ201320596515
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】華貴俊, 徐昌華, 史才成, 孟憲亮, 郝子龍, 鄭銀先, 高超, 陳前兆 申請人:江蘇晶鼎電子材料有限公司