本發(fā)明涉及光伏設(shè)備，尤其涉及一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)。

背景技術(shù)：

PECVD設(shè)備（其中PECVD為Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的簡寫，又稱等離子體增強化學(xué)氣相沉積法）是光伏制造領(lǐng)域必不可少的裝備，近年來，隨著我國光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，自動化、智能化制造成為趨勢，PECVD的自動化生產(chǎn)就是其中很重要的一環(huán)。

如附圖1至圖5所示，石墨舟100（裝載太陽能電池片的石墨平臺，形狀與龍舟相似）通過機械手放置于一對推舟桿200上，然后利用推舟300（用于承載推舟桿200和石墨舟100的機構(gòu)）將石墨舟100送入石英管400內(nèi)進行工藝過程，反應(yīng)完成之后，推舟桿200插入石墨舟100底部并抬起石墨舟100，然后利用安裝于推舟桿200上的拉舟塊500將石墨舟100拉出來，放舟時拉舟塊500也可對石墨舟100進行定位。由于受到石英管400尺寸的限制，同時也為了推舟桿200能夠順利地進入石墨舟100底部，拉舟塊500的高度設(shè)計較低。隨著使用時間的增加，推舟桿200會發(fā)生變形，推舟桿200中段不能有效將石墨舟100抬起，拉舟時由于拉舟塊500高度過低無法有效拉動石墨舟100，石墨舟100會越過拉舟塊500，從而導(dǎo)致拖舟現(xiàn)象。此外，現(xiàn)有的拉舟塊500因高度過低，無法校準石墨舟100在推舟桿200上位置的偏移，當石墨舟100放置不準確而架在拉舟塊500上時，導(dǎo)致石墨舟100取放位置出現(xiàn)偏差，機械手取石墨舟100時容易砸舟、壓舟，從而損壞石墨舟100。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠順利進入石墨舟底部并可靠拉舟的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，包括推舟及設(shè)于推舟上的一對推舟桿組件，各所述推舟桿組件遠離所述推舟的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)式拉舟塊，所述推舟上設(shè)有用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動的驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件與所述推舟桿組件連接。

作為上述技術(shù)方案的進一步改進：

所述推舟桿組件包括推舟管及旋轉(zhuǎn)桿，所述推舟管固設(shè)于所述推舟上，所述旋轉(zhuǎn)桿穿過所述推舟管，所述旋轉(zhuǎn)式拉舟塊設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)桿遠離所述推舟的一端，所述驅(qū)動組件與所述旋轉(zhuǎn)桿的另一端連接。

所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動缸、一對連桿及一對轉(zhuǎn)盤，所述驅(qū)動缸裝設(shè)于所述推舟上且推桿與一對連桿的一端鉸接，一對連桿的另一端分別與一個轉(zhuǎn)盤鉸接，一對轉(zhuǎn)盤與一對旋轉(zhuǎn)桿一一對應(yīng)連接。

所述驅(qū)動組件還包括PLC控制器，所述PLC控制器與所述驅(qū)動缸連接。

所述驅(qū)動缸為氣缸。

所述旋轉(zhuǎn)式拉舟塊靠近所述推舟的側(cè)面為傾斜調(diào)整面，當石墨舟 落在所述傾斜調(diào)整面上時，所述石墨舟向下滑動并向所述推舟靠近。

當一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動至一對推舟桿組件之間時，一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊接觸。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于：本發(fā)明公開的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，在各推舟桿組件上分別設(shè)置一塊旋轉(zhuǎn)式拉舟塊，旋轉(zhuǎn)式拉舟塊由驅(qū)動組件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，需要將推舟桿組件穿過石墨舟時，將旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)以降低高度，從而克服石英管和石墨舟的尺寸限制；拉舟時再將旋轉(zhuǎn)式拉舟塊旋轉(zhuǎn)至豎直狀態(tài)恢復(fù)最大高度，又可避免因高度不夠?qū)е碌耐现奂笆鄱ㄎ徊粶实默F(xiàn)象，結(jié)構(gòu)簡單、可靠；且驅(qū)動組件裝設(shè)于推舟上，遠離石英管內(nèi)高溫環(huán)境，避免損壞。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有推舟機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是現(xiàn)有推舟機構(gòu)進入石墨舟底部時的示意圖。

圖3是現(xiàn)有推舟機構(gòu)完全進入石墨舟底部時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是現(xiàn)有推舟機構(gòu)拉舟時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是現(xiàn)有推舟機構(gòu)出現(xiàn)石墨舟位置偏差時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本發(fā)明用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本發(fā)明用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)另一種狀態(tài)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本發(fā)明中的驅(qū)動組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖（放大）。

圖9是本發(fā)明完全進入石墨舟底部時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖10是本發(fā)明拉舟時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖11是本發(fā)明出現(xiàn)石墨舟位置偏差時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中各標號表示：100、石墨舟；200、推舟桿；300、推舟；400、石英管；500、拉舟塊；1、推舟桿組件；11、推舟管；12、旋轉(zhuǎn)桿；2、旋轉(zhuǎn)式拉舟塊；21、傾斜調(diào)整面；3、驅(qū)動組件；31、驅(qū)動缸；32、連桿；33、轉(zhuǎn)盤；34、PLC控制器。

具體實施方式

以下將結(jié)合說明書附圖和具體實施例對本發(fā)明做進一步詳細說明。

如圖6至圖11所示，本實施例的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，包括推舟300及設(shè)于推舟300上的一對推舟桿組件1，各推舟桿組件1遠離推舟300的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2，推舟300上設(shè)有用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2轉(zhuǎn)動的驅(qū)動組件3，驅(qū)動組件3與推舟桿組件1連接。該用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)在各推舟桿組件1上分別設(shè)置一塊旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2，旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2由驅(qū)動組件3驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，需要將推舟桿組件1穿過石墨舟100時，將旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)以降低高度，從而克服石英管400和石墨舟100的尺寸限制；拉舟時再將旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2旋轉(zhuǎn)至豎直狀態(tài)恢復(fù)最大高度，又可避免因高度不夠?qū)е碌耐现奂笆?00定位不準的現(xiàn)象，結(jié)構(gòu)簡單、可靠；且驅(qū)動組件3裝設(shè)于推舟上，遠離石英管400內(nèi)高溫環(huán)境，避免損壞。

推舟桿組件1包括推舟管11及旋轉(zhuǎn)桿12，推舟管11固設(shè)于推舟300上，旋轉(zhuǎn)桿12穿過推舟管11，旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2設(shè)于旋轉(zhuǎn)桿12遠離推舟300的一端，驅(qū)動組件3與旋轉(zhuǎn)桿12的另一端連接。需要轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2時，由驅(qū)動組件3帶動旋轉(zhuǎn)桿12轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)桿12進而帶動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2轉(zhuǎn)動。本實施例中，旋轉(zhuǎn)桿12也采用空心結(jié)構(gòu)，在其他實施例中也可采用實心結(jié)構(gòu)。

驅(qū)動組件3包括驅(qū)動缸31、一對連桿32及一對轉(zhuǎn)盤33，驅(qū)動缸31裝設(shè)于推舟300上且推桿與一對連桿32的一端鉸接，一對連桿32的另一端分別與一個轉(zhuǎn)盤33鉸接，一對轉(zhuǎn)盤33與一對旋轉(zhuǎn)桿12一一對應(yīng)連接。驅(qū)動組件3的工作原理為：驅(qū)動缸31的推桿上下伸縮，進而帶動一對連桿32運動，一對連桿32則分別帶動對應(yīng)的轉(zhuǎn)盤33轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤33進而帶動旋轉(zhuǎn)桿12和旋轉(zhuǎn)桿12上的旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2整體轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2在水平狀態(tài)和豎直狀態(tài)之間的切換；且切換至水平狀態(tài)時，一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2位于一對推舟桿組件1內(nèi)側(cè)，減少設(shè)備占用的空間。本實施例中，驅(qū)動缸31為氣缸，在其他實施例中也可采用液壓缸；驅(qū)動組件3也可采用其他部件或組件，能夠驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2轉(zhuǎn)動即可。

本實施例中，驅(qū)動組件3還包括PLC控制器34，PLC控制器34與驅(qū)動缸31連接，由PLC控制器34控制驅(qū)動缸31的運動極限位置，提高設(shè)備的自動化程度和運動精度。

本實施例中，旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2靠近推舟300的側(cè)面為傾斜調(diào)整面21，當石墨舟100 落在傾斜調(diào)整面21上時，石墨舟100向下滑動并向推舟300靠近，實現(xiàn)石墨舟100在推舟桿組件1上位置的自動校正，保證石墨舟100定位準確，便于后續(xù)機械手取放。

本實施例中，當一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2轉(zhuǎn)動至一對推舟桿組件1之間時，一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2接觸，也就是說旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2的高度為一對推舟桿組件1之間間距的一半，既保證旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2具有足夠的高度，又避免了一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊2同步向一對推舟桿組件1之間轉(zhuǎn)動時相互干涉。

雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍的情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均應(yīng)落在本發(fā)明技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。