一種雙杠保護燒結舟的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種雙杠保護燒結舟，包括有底舟棒、舟頭等，其特征在于：在所述底舟棒的下面設置底板，在所述底板上設置花紋，在所述舟頭的兩側還設置有側舟棒，在所述底舟棒、側舟棒之間設置兩根以上側支撐，在所述舟頭的下端設置矩形通氣孔。本實用新型的有益效果是：晶片可以疊放于燒結舟，不受槽距的影響，增加擺放量；增加舟體的牢固性，使燒結舟承載力得到了提高。
【專利說明】一種雙杠保護燒結舟
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及的是半導體電子元器件制造【技術領域】，尤其是涉及一種雙杠保護燒結舟的改進。
【背景技術】
[0002]半導體硅片在制造過程中需要進行鎳燒結工序，現行燒結用舟在底舟棒處設置刻槽，所以，所使用承載工具受刻槽數量的限制，生產效率低下，并且兩側未有保護，破片嚴重，產出率低。這是現有技術的不足之處。

【發明內容】

[0003]本實用新型的目的在于，克服現有技術的不足，提供了一種結構簡單、解決了半導體硅片在燒制時載具工作效率低，雙側保護問題的一種雙杠保護燒結舟。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為:一種雙杠保護燒結舟，包括有底舟棒、舟頭等，其特征在于:在所述底舟棒的下面設置底板，在所述底板上設置花紋，在所述舟頭的兩側還設置有側舟棒，在所述底舟棒、側舟棒之間設置兩根以上側支撐，在所述舟頭的下端設置矩形通氣孔。取消底舟棒上面的刻槽，改用為平滑石英棒柱，使晶片可以疊放于燒結舟，不受槽距的影響，增加擺放量，底板上的花紋起到了防滑的目的。
[0005]本實用新型的進一步改進有，所述側支撐在舟頭兩側對應設置成圓弧狀。
[0006]說明書中沒有描述的結構屬于現有技術。所有的增加結構均選用石英材料。
[0007]本方案的有益效果可根據對上述方案的敘述得知，一種雙杠保護燒結舟，包括有底舟棒、舟頭等，其特征在于:在所述底舟棒的下面設置底板，在所述舟頭的兩側還設置有側舟棒，在所述底舟棒、側舟棒之間設置兩根以上側支撐，在所述舟頭的下端設置矩形通氣孔。本實用新型的有益效果是:晶片可以疊放于燒結舟，不受槽距的影響，增加擺放量；增加舟體的牢固性，使燒結舟可以承受大于IOKG晶片重量。提高了工作效率，結構簡單實用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的結構示意圖，圖2為圖1的左視結構示意圖，圖3為圖1的A-A首I]視圖，圖4是花紋圖案。圖中:I是底板，2是側舟棒，3是底舟棒，4是舟頭，5是拉孔，6是側支撐，7是矩形通氣孔，8是花紋。
【具體實施方式】
[0009]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0010]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明，通過附圖可以看出，一種雙杠保護燒結舟，包括有底舟棒3、舟頭4等，在底舟棒3的下面設置底板1，在底板I上設置花紋8，在舟頭4的兩側還設置有側舟棒2，在底舟棒3、側舟棒2之間設置兩根以上側支撐6，本實施例在兩側各設置兩根側支撐6。在舟頭4的下端設置矩形通氣孔7。側支撐6在舟頭4兩側對應設置成圓弧狀。
[0011]當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本【技術領域】的普通技術人員在本實用新型的實質范圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種雙杠保護燒結舟，包括有底舟棒、舟頭等，其特征在于:在所述底舟棒的下面設置底板，在所述底板上設置花紋，在所述舟頭的兩側還設置有側舟棒，在所述底舟棒、側舟棒之間設置兩根以上側支撐，在所述舟頭的下端設置矩形通氣孔。
2.根據權利要求1所述的一種雙杠保護燒結舟，其特征在于:所述側支撐在舟頭兩側對應設置成圓弧狀。
【文檔編號】B22F7/08GK203530507SQ201320683476
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年11月1日 優先權日:2013年11月1日
【發明者】郭城, 呂明, 紀大鵬, 趙海玲, 徐明星, 郭英云 申請人:山東科芯電子有限公司