基板夾和真空鍍膜設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種基板夾和真空鍍膜設備。該基板夾，包括：夾持器底座，安裝在所述夾持器底座上的夾持器，安裝在所述夾持器上的夾頭，以及安裝在所述夾持器底座上的工件基座；所述夾持器底座上設置有條形導軌，所述條形導軌上支撐放置所述工件基座，所述工件基座上設置有與所述夾持器可拆卸連接的定位件。本實用新型在基板夾底座上添加條形滑軌，利用條形導軌帶動基板夾底座進行位置調整，確定好工件基座和夾頭之間的開度值后，然后使用頂端聯動的定位件進行定位，操作簡單，簡化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導致的停機，提高設備嫁動率。
【專利說明】基板夾和真空鍍膜設備

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜【技術領域】，特別是涉及一種基板夾和包括該基板夾的真空鍍膜設備。

【背景技術】
[0002]在真空鍍膜等領域由于工件被加工時所在環境為真空環境，無法使用真空吸附來固定工件，而只能采用機械夾具固定，如圖1至圖3所示夾頭2通過夾頭固定螺栓3固定在夾頭夾持器4上，夾頭夾持器4通過旋轉軸6固定在夾持器底座5上；夾持器底座5固定在鍍膜基座9上；當驅動頂桿7上下運動時，夾持器4帶動夾頭2和旋轉軸6形成杠桿原理，工件I在加工時，夾具夾頭2與絕緣均熱板8之間要有適當的開度來保證工件不會脫落或被夾壞；而工件鍍膜時，基板夾上，尤其是夾具夾頭2會被污染，需要定期的更換與調整，如圖4所示，原有的拆裝調整的方法是將基板夾用四個螺絲固定，靠松動固定螺絲推動基板夾安裝板來調整開度值的大小；由于螺絲是從基板夾安裝板底部安裝，故存在調整空間小，導致調整精度不夠，從而影響開度值，導致工件在真空腔體內被夾碎的現象。
[0003]由于真空鍍膜設備夾具夾頭更換的次數頻繁，且原有基板夾安裝較為復雜，調試方法存在調試精度不準確，腔體的調試空間小，調試時需多人協同作業等不足，費時費力。
實用新型內容
[0004](一 )要解決的技術問題
[0005]本實用新型要解決的技術問題是如何簡化基板夾安裝和調試操作的復雜度。
[0006]( 二 )技術方案
[0007]為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種基板夾，包括:夾持器底座，安裝在所述夾持器底座上的夾持器，安裝在所述夾持器上的夾頭，以及安裝在所述夾持器底座上的工件基座；所述夾持器底座上設置有條形導軌，所述條形導軌上支撐放置所述工件基座，所述工件基座上設置有與所述夾持器可拆卸連接的定位件。
[0008]優選地，所述條形導軌具有兩條，平行于所述夾頭的長度方向設置。
[0009]優選地，所述定位件為定位螺母，所述夾持器上設置有與所述定位螺母配合的螺紋孔。
[0010]優選地，所述工件基座為絕緣均熱板。
[0011 ] 優選地，所述條形導軌具有兩條，平行設置。
[0012]優選地，所述條形導軌通過螺栓安裝在所述夾持器底座上。
[0013]進一步的，本實用新型提供一種真空鍍膜設備，包括上述任一項所述的基板夾。
[0014](三)有益效果
[0015]上述技術方案具有如下優點:在基板夾底座上添加條形滑軌，利用條形導軌帶動基板夾底座進行位置調整，確定好工件基座和夾頭之間的開度值后，然后使用頂端聯動的定位件進行定位，操作簡單，簡化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導致的停機，提高設備嫁動率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1至圖4是現有技術中基板及基板夾的結構不意圖；
[0017]圖5和圖6是現有技術中基板夾主要部件的側視和俯視圖；
[0018]圖7和圖8是本實施例基板夾主要部件的側視和俯視圖。
[0019]其中，1:工件；2:夾頭；3:固定螺檢；4:夾持器；5:夾持器底座；6:旋轉軸；7:驅動頂桿；8:絕緣均熱板；9:鍍膜基座；10:定位螺栓；11:條形導軌；12:定位螺母。

【具體實施方式】
[0020]下面結合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。
[0021]本實用新型涉及應用在真空鍍膜，尤其是在PVD (Physical Vapor Deposit1n,物理氣相沉積)真空鍍膜領域，包括:濺射鍍膜、蒸發鍍膜、離子鍍膜設備，以及CVD (ChemicalVapor Deposit1n,化學氣相沉積)真空鍛膜領域,包括PECVD (Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposit1n,等離子體增強化學氣相沉積)、LPECVD (Low Pressure Plasma EnhancedChemical Vapor Deposit1n,低壓等離子體增強化學氣相沉積)、LPCVD (Low PressureChemical Vapor Deposit1n低壓力化學氣相沉積法)等以及離子刻蝕(包括等離子刻蝕和反應離子刻蝕)和離子注入設備。
[0022]基于現有技術中涉及到的真空磁控濺射等真空鍍膜領域的固定基板夾，特別是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,即薄膜場效應晶體管液晶顯不器)領域固定玻璃基板的基板夾，為了簡化其安裝和調試，減少對玻璃基板的壓損，本實用新型提供一種改進的基板夾結構，以使基板夾安裝時更加簡捷，調整夾具的開度時更加的準確，能有效的防止在鍍膜過程中玻璃基板破損，延長設備的使用周期，提高設備嫁動率。
[0023]參照圖7和圖8所示，本實施例的基板夾包括夾持器底座5，安裝在夾持器底座5上的夾持器4，安裝在夾持器4上的夾頭2，以及安裝在夾持器底座5上的工件基座，工件基座優選為絕緣均熱板8，夾頭2通過夾頭固定螺栓固定在夾持器4上，夾持器4通過旋轉軸固定在夾持器底座5上；夾持器底座5固定在鍍膜基座上；驅動頂桿上下運動,使夾持器4帶動夾頭2和旋轉軸形成杠桿原理，絕緣均熱板8上放置的待加工工件在加工時，夾頭2與絕緣均熱板8之間要有適當的開度來保證工件不會脫落或被夾壞。為了便于基板夾安裝調試以及調整夾頭2與絕緣均熱板8之間的開度，夾持器底座5上設置條形導軌11，條形導軌11上支撐放置絕緣均熱板8，絕緣均熱板8上設置與夾持器4可拆卸連接的定位件，定位件優選為定位螺母12。條形導軌12設置之后，能夠同步帶動夾持器底座5運動，進一步帶動夾頭2與絕緣均熱板8之間進行開度調整，夾頭2與絕緣均熱板8之間的開度值達到所需值之后，使用定位螺母12將絕緣均熱板8與夾持器4固定，此時，夾持器底座5不能夠沿條形導軌11運動，整個結構達到穩定狀態。
[0024]條形導軌11具有兩條，通過螺栓安裝在夾持器底座5上，平行于夾頭2的長度方向設置，以帶動夾持器底座5平穩運動，各個位置運動協調一致；夾持器4上設置有與定位螺母12配合的螺紋孔。
[0025]安裝條形滑軌11和頂端定位螺母12，靠滑軌的原理進行前后的運作來調整夾頭2與絕緣均熱板8之間開度值的大小，調整值更加準確，調整值確認后再用頂部定位螺母12進行固定，使其夾具在使用過程中開度值不會由于長時間運作而變化。
[0026]由以上實施例可以看出，本實用新型在基板夾底座上添加條形滑軌，利用條形導軌帶動基板夾底座進行位置調整，確定好工件基座和夾頭之間的開度值后，然后使用頂端聯動的定位件進行定位，操作簡單，簡化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導致的停機，提高設備嫁動率。
[0027]本實用新型實施例還提供一種真空鍍膜設備，包括上述的基板夾。由于使用了上述基板夾，可以簡化操作人員工作，減少由于玻璃夾碎所導致的停機，進而提高設備嫁動率。
[0028]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種基板夾，包括:夾持器底座，安裝在所述夾持器底座上的夾持器，安裝在所述夾持器上的夾頭，以及安裝在所述夾持器底座上的工件基座；其特征在于，所述夾持器底座上設置有條形導軌，所述條形導軌上支撐放置所述工件基座，所述工件基座上設置有與所述夾持器可拆卸連接的定位件。
2.如權利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述條形導軌平行于所述夾頭的長度方向設置。
3.如權利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述定位件為定位螺母，所述夾持器上設置有與所述定位螺母配合的螺紋孔。
4.如權利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述工件基座為絕緣均熱板。
5.如權利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述條形導軌具有兩條，平行設置。
6.如權利要求1所述的基板夾，其特征在于，所述條形導軌通過螺栓安裝在所述夾持器底座上。
7.一種真空鍍膜設備，其特征在于，包括如權利要求1至6任一項所述的基板夾。
【文檔編號】C23C14/50GK203923366SQ201420343637
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年6月24日 優先權日:2014年6月24日
【發明者】辛旭, 馬海船, 陳曉斌 申請人:北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司