技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種不僅充分地改善低摩擦性與耐磨損性的并存且改善耐碎片性或耐剝離性的被覆膜及其制造方法以及PVD裝置。一種被覆膜，被覆在基材的表面上，且具有在通過明視場TEM圖像對截面進(jìn)行觀察時(shí)相對地以黑白顯示的硬質(zhì)碳，白色的硬質(zhì)碳在厚度方向上相連成網(wǎng)格狀、黑色的硬質(zhì)碳分散在網(wǎng)格的間隙中的網(wǎng)格狀硬質(zhì)碳層是使用PVD法而形成，在利用拉曼分光法對網(wǎng)格狀硬質(zhì)碳層進(jìn)行測定時(shí)，拉曼分光光譜的D頻帶與G頻帶的波峰的面積強(qiáng)度比ID/IG比為1～6。本發(fā)明的被覆膜的制造方法及裝置使用電弧式PVD法，以將基材溫度維持于超過200℃且為300℃以下的方式控制偏向電壓、電弧電流、加熱器溫度等，并且一面使基材自轉(zhuǎn)和/或公轉(zhuǎn)一面在基材的表面上被覆硬質(zhì)碳膜。

技術(shù)研發(fā)人員：森口秀樹;齋藤喬士;田中祥和;柴田明宣;荒樋徹美;小川勝明;岡崎孝弘;杉浦宏幸;伊東義洋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本ITF株式會(huì)社;日本活塞環(huán)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2014.09.17
技術(shù)公布日：2017.08.18