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電動可調鍍膜擋板裝置及鍍膜設備的制作方法

文檔序號:11126695閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.電動可調鍍膜擋板裝置,應用于鍍膜設備中,所述鍍膜設備包括間隔設置的靶材和基片,其特征在于,所述電動可調鍍膜擋板裝置包括底板、設于所述底板上方的擋板組件以及設于所述底板上方與所述擋板組件連接并用于控制所述擋板組件運動以伸出所述底板外至所述靶材與所述基片之間的調節機構。

2.根據權利要求1所述的電動可調鍍膜擋板裝置,其特征在于,所述擋板組件包括若干依序相互活動連接的擋片,且相鄰的所述擋片之間疊層設置。

3.根據權利要求2所述的電動可調鍍膜擋板裝置,其特征在于,所述調節機構包括若干個數量相同的搖臂、轉盤和驅動電機,所述驅動電機安裝于所述底板的上方,所述轉盤與所述驅動電機的輸出軸連接,各所述搖臂的第一端與對應的一所述轉盤的一側固定連接,各所述搖臂的第二端與對應的一所述擋片的一側鉸接。

4.根據權利要求3所述的電動可調鍍膜擋板裝置,其特征在于,所述調節機構還包括若干個數量與所述搖臂相同的鉸接桿,各所述搖臂的第二端設有連接孔,所述擋片與所述連接孔對應的位置設有安裝孔,所述底板與所述安裝孔對應的位置設有沿所述擋片的運動方向分布的導向槽,所述鉸接桿穿設所述連接孔、相鄰的兩所述擋片的所述安裝孔和所述導向槽。

5.根據權利要求3所述的電動可調鍍膜擋板裝置,其特征在于,所述驅動電機為步進電機或者伺服電機。

6.根據權利要求1~5任一項所述的電動可調鍍膜擋板裝置,其特征在于,所述電動可調鍍膜擋板裝置還包括設于所述底板上方并罩設住所述擋板組件和所述調節機構的保護罩。

7.根據權利要求6所述的電動可調鍍膜擋板裝置,其特征在于,所述電動可調鍍膜擋板裝置還包括套設于所述驅動電機上并與所述保護罩固定連接的電機支撐件。

8.一種鍍膜設備,包括間隔設置的靶材和基片,其特征在于,所述鍍膜設備還包括至少一個位于所述靶材和所述基片同一側的權利要求1~7任一項所述的電動可調鍍膜擋板裝置。

9.根據權利要求8所述的鍍膜設備,其特征在于,所述鍍膜設備還包括與所述調節機構的電動部件電性連接以用于控制所述調節機構工作的控制器。

10.根據權利要求8或9所述的鍍膜設備,其特征在于,所述電動可調鍍膜擋板裝置有兩個,且兩個所述電動可調鍍膜擋板裝置分別位于所述靶材和所述基片的兩側。

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