1.一種基板研磨裝置,其特征在于,包括
研磨機構(12),該研磨機構(12)包括研磨導軌(123)、研磨臺(124)和對位鏡頭(125),該研磨導軌(123)上設有第一停靠區和第二停靠區,該研磨臺(124)可移動地連接在該研磨導軌(123)上,該研磨臺(124)用于在該第一停靠區承接基板,并將基板運送至該第二停靠區,該對位鏡頭(125)用于為該第二停靠區內的基板拍攝對位圖;
搬運機構(13),該搬運機構(13)包括搬運導軌(133)和搬運臺(134),該搬運導軌(133)從該第一停靠區的上方穿過,并與該研磨導軌(123)互成預設角度地交叉設置,該搬運臺(134)可移動地連接在該搬運導軌(133)上,該搬運臺(134)用于將基板運送至該第一停靠區,并將該基板放置在該研磨臺(124)上;以及
控制器(14),該控制器(14)分別與該研磨臺(124)、對位鏡頭(125)和搬運臺(134)信號連接,該控制器(14)用于采集該對位圖,并根據該對位圖中的圖標偏離對位圖中心位置的偏移距離以及該預設角度計算出第一移送距離和第二移送距離,該控制器(14)可控制該研磨臺(124)移動第一移送距離,同時控制該搬運臺(134)夾取基板移動第二移送距離后將基板放置在該研磨臺(124)上。
2.如權利要求1所述的基板研磨裝置,其特征在于,該研磨機構(12)還包括承載座(121)和安裝架(122),該安裝架(122)和研磨導軌(123)連接在該承載座(121)上,該研磨導軌(123)穿過該安裝架(122)設置,且該第二停靠區位于該安裝架(122)的下方。
3.如權利要求2所述的基板研磨裝置,其特征在于,該對位鏡頭(125)包括第一鏡頭(125a)和第二鏡頭(125b),該第一鏡頭(125a)和第二鏡頭(125b)連接在該安裝架(122)上,并分別位于該研磨導軌(123)的兩側。
4.如權利要求2所述的基板研磨裝置,其特征在于,該研磨機構(12)還包括用于研磨基板的第一研磨部(126)和第二研磨部(128),該第一研磨部(126)和第二研磨部(128)連接在該安裝架(122)上,并分別位于該研磨導軌(123)的兩側。
5.如權利要求4所述的基板研磨裝置,其特征在于,該第一研磨部(126)上設有第一伸縮軸(127),該第一研磨部(126)通過該第一伸縮軸(127)連接在該安裝架(122)上,該第一伸縮軸(127)可驅使該第一研磨部(126)沿著該研磨導軌(123)的長度方向移動,該第二研磨部(128)上設有第二伸縮軸(129),該第二研磨部(128)通過該第二伸縮軸(129)連接在該安裝架(122)上,該第二伸縮軸(129)可驅使該第二研磨部(128)沿著該研磨導軌(123)的長度方向移動。
6.如權利要求5所述的基板研磨裝置,其特征在于,該控制器(14)與該第一研磨部(126)和第二研磨部(128)信號連接,該控制器(14)可根據圖標偏離對位圖中心位置的偏移距離控制該第一伸縮軸(127)和第二伸縮軸(129)沿著該研磨導軌(123)的長度方向移動。
7.如權利要求2所述的基板研磨裝置,其特征在于,該搬運機構(13)還包括載物座(132),該載物座(132)設置于該承載座(121)的一側,該搬運導軌(133)的一端連接于該載物座(132),該搬運導軌(133)的另一端連接于該安裝架(122),該載物座(132)用于為該搬運臺(134)提供基板。
8.如權利要求2所述的基板研磨裝置,其特征在于,該搬運臺(134)上設有多個卡爪(135),各該卡爪(135)用于配合夾取基板。
9.一種調整基板研磨位置的方法,其特征在于,該方法利用權利要求1至8任一項所述的基板研磨裝置,該方法包括:
將研磨機構(12)的研磨導軌(123)與搬運機構(13)的搬運導軌(133)互成預設角度地交叉設置,并使該搬運導軌(133)從該研磨導軌(123)的第一停靠區的上方穿過;
利用對位鏡頭(125)在該研磨導軌(123)的第二停靠區對基板拍攝對位圖;
利用控制器(14)采集該對位圖,并根據對位圖中的圖標偏離對位圖中心位置的偏移距離以及該預設角度計算出第一移送距離和第二移送距離;以及
利用該控制器(14)控制研磨臺(124)移動第一移送距離,同時控制搬運臺(134)夾取基板并移動第二移送距離后將基板放置在該研磨臺(124)上。