技術總結
基板研磨裝置包括研磨機構、搬運機構和控制器，研磨機構包括研磨導軌、研磨臺和對位鏡頭，研磨導軌上設有第一停靠區和第二停靠區，研磨臺連接在研磨導軌上，研磨臺用于承接基板，并將基板運送至第二停靠區，對位鏡頭用于為基板拍攝對位圖；搬運機構包括搬運導軌和搬運臺，搬運導軌與研磨導軌互成預設角度地交叉設置，搬運臺連接在搬運導軌上，搬運臺用于將基板運送至第一停靠區；控制器用于采集對位圖，并根據對位圖中的圖標偏離中心位置的偏移距離以及預設角度計算出第一移送距離和第二移送距離，控制器可控制研磨臺移動第一移送距離，同時控制搬運臺夾取基板移動第二移送距離后將基板放置在研磨臺上。本發明還涉及一種調整基板研磨位置的方法。

技術研發人員：王玉生;許敏
受保護的技術使用者：昆山龍騰光電有限公司
文檔號碼：201610883984
技術研發日：2016.10.10
技術公布日：2017.01.04