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一種拋光液在線調配內供給拋光機床的制作方法

文檔序號:11498302閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發明涉及一種拋光液在線調配內供給拋光機床,屬于化學機械拋光領域。拋光液回收箱和機床支架分別與機床底座固定連接,拋光液在線調配裝置與拋光液回收箱上方固定連接,Z向進給機構與機床支架固定連接,Z向進給機構與A軸擺動機構相連,A軸擺動機構與拋光頭工具系統相連,機X向進給機構與床底座固定連接,X向進給機構上方與Y向進給機構相連,Y向進給機構上方與C軸轉臺相連。本發明對于提升我國高品質光學元件的制造水平和制造能力,推進光學曲面精密制造理論創新,加快我國航空航天、機械制造等產業的快速發展,具有重要學術價值和較大的社會經濟效益。

技術研發人員:楊旭;張富;張冰;趙繼;劉暢;劉思明;勾鵬巍
受保護的技術使用者:吉林大學
技術研發日:2016.11.16
技術公布日:2017.08.18
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