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一種SiONx頂層消影技術及SiONx薄膜制備方法與流程

文檔序號:12415676閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種SiONx頂層消影技術,顯示屏包括玻璃層及設在玻璃層外側的光阻,其特征在于:在所述光阻外側設有IM層和ITO層,在所述ITO層上蝕刻圖形,所述ITO層外設有金屬邊框,所述金屬邊框個外側設有SiONx薄膜,SiONx薄膜為整面鍍膜,鍍膜完成后再將金手指部分蝕刻露出。

2.按照權利要求1所述的SiONx頂層消影技術,其特征在于:所述IM層為Nb2O5+SiO2層。

3.按照權利要求2所述的SiONx頂層消影技術,其特征在于:所述SiONx薄膜在真空環境下鍍膜。

4.按照權利要求1所述的SiONx頂層消影技術中SiONx薄膜制備方法,其特征在于:在真空環境下利用Ar為離子源轟擊Si靶使Si靶粒子濺射出來,同時通入02和N2,從而形成一種穩定的SiONx膜層。

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