技術特征：

技術總結
本發明公開了用于減少在具有冷卻氣體進料塊的高溫處理腔室中的粒子污染形成的方法和設備的技術。所述冷卻氣體進料塊具有主體。所述主體具有主中心部分，所述主中心部分具有頂表面和底表面。所述主體還具有凸緣，所述凸緣從所述主中心部分的所述底表面向外延伸。氣體通道穿過所述主體設置。所述氣體通道具有在所述主中心部分的所述頂表面中形成的入口和在所述主中心部分的所述底表面中形成的出口。所述主體還具有中心冷卻劑通道。所述中心冷卻劑通道具有第一部分和耦接至所述第一部分的第二部分，所述第一部分具有在所述主中心部分的頂表面中形成的入口，所述第二部分具有在所述凸緣的側壁上形成的出口。

技術研發人員：戈文達·瑞澤;哈里斯·庫馬爾·帕納瓦拉菲·庫馬蘭庫蒂;林·張;斯坦利·吳
受保護的技術使用者：應用材料公司
技術研發日：2016.12.19
技術公布日：2017.08.11