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一種絨面鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備方法與流程

文檔序號:12646306閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明公開一種絨面鋁摻雜氧化鋅薄膜的制備方法,包括以下步驟:S1、取玻璃基底,對玻璃基底表面進行羥基化處理;S2、以固含量0.01~0.10%的聚苯乙烯小球微乳液在羥基化的玻璃基底表面制備聚苯乙烯模板層;S3、采用直流磁控濺射工藝,在聚苯乙烯模板層上制備厚度為500~900nm的AZO薄膜;S4、通過熱處理去除聚苯乙烯模板層,使AZO薄膜分為鏤空的上AZO薄膜層與下AZO薄膜層;S5、在上AZO薄膜層表面制備膠粘劑層,將上AZO薄膜層轉移到另一基板表面,最終得到絨面鋁摻雜氧化鋅薄膜;舍棄傳統的絨面制備方法,避免了傳統刻蝕過程難以控制、環境污染較大的缺點,工藝簡單、成本低。

技術研發人員:湯永康;金良茂;姚婷婷;馬立云;甘治平;王東
受保護的技術使用者:蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司
文檔號碼:201611188162
技術研發日:2016.12.21
技術公布日:2017.06.13

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