1.一種化學氣相沉積設備，其包括：
進氣裝置，含第一反應氣體出氣口和第二反應氣體出氣口，第一反應氣體出氣口用于向待處理襯底輸送第一反應氣體；第二反應氣體出氣口用于向待處理襯底輸送第二反應氣體；
隔離裝置，分布在所述第一反應氣體出氣口周圍，隔離裝置使得第一反應氣體與第二反應氣體的混合反應在空間上實現(xiàn)局域化；
第一反應氣體出氣口和第二反應氣體出氣口與分布在第一反應氣體出氣口周圍的隔離裝置一起組成最小的周期結構單元，所述化學氣相沉積設備包括一個周期結構單元或一個以上周期結構單元；
待處理襯底載具，用于裝載待處理襯底；
驅動裝置，用于驅動化學氣相沉積設備的周期結構單元或者待處理襯底載具，或者驅動化學氣相沉積設備的周期結構單元和待處理襯底載具。
2.如權利要求1所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述隔離裝置使第一反應氣體與第二反應氣體的混合反應在空間上實現(xiàn)局域化，隔離裝置隔離出特定的空間，在該特定空間內，第一反應氣體與第二反應氣體混合參與在待處理襯底上的沉積反應，在該特定空間外，第一反應氣體不參與在待處理襯底上的反應。
3.如權利要求1或2所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述隔離裝置為分布在第一種反應氣體出氣口周圍的抽氣槽，所述抽氣槽與抽氣管道連接。
4.如權利要求3所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述抽氣槽在第一種反應氣體出氣口設有一組、兩組或者多組；抽氣槽沿待處理襯底載具與進氣裝置進氣口的相對運動方向開口寬度為1×10-3m到1×10-1m，抽氣槽開口中心與第一反應氣體出氣口的間距為2×10-3m到2×10-1m；抽氣槽控制抽速將第一反應氣體與第二反應氣體的混合反應限制在抽氣槽所在的局域空間內。
5.如權利要求1所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述驅動裝置實現(xiàn)化學氣相沉積設備的周期結構單元與待處理襯底載具之間的相對運動；驅動裝置驅動化學氣相沉積設備的周期結構單元運動，待處理襯底載具不動；或者驅動裝置驅動襯底載具運動，化學氣相沉積設備的周期結構單元不動；或者驅動裝置驅動化學氣相沉積設備的周期結構單元和待處理襯底載具，化學氣相沉積設備的周期結構單元運動，待處理襯底載具也運動。
6.如權利要求1、2、4或5所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，所述隔離裝置實現(xiàn)反應氣體局域化反應空間具有三維特性，在進氣裝置與待處理襯底載具相對靜止的狀態(tài)下，局域化反應空間沉積到待處理襯底上包括如下形狀：圓形、圓環(huán)形、扇形、空心四邊形或實心四邊形。
7.如權利要求1、2、4或5所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，第一反應氣體出氣口與隔離裝置之間的間距為1×10-4m到1×10-1m。
8.如權利要求1、2、4或5所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，第一反應氣體出氣口和第二反應氣體出氣口與待處理襯底之間的間距為1×10-4m到2×10-1m。
9.如權利要求1、2、4或5所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，第一反應氣體出氣口和第二反應氣體出氣口之間的間距為1×10-3m到1m。
10.如權利要求1、2、4或5所述的化學氣相沉積設備，其特征在于，進氣裝置第一反應氣體出氣口和第二反應氣體出氣口與待處理襯底相對運動速率為1×10-3m/s到10m/s。