本發明屬于化學氣相沉積設備領域，具體涉及一種碳化硅沉積設備的進氣裝置。

背景技術：

氣相沉積技術是利用氣相中發生的物理、化學過程，在工件表面形成功能性的金屬、非金屬或化合物涂層?；瘜W氣相淀積是指把含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室，在襯底表面發生化學反應生成薄膜的過程。

碳化硅沉積設備用于以三氯甲基硅烷(MTS)為氣源的材料表面抗氧化涂層和基體改性。為了取得好的沉積效果，必須對MTS的流量和壓力進行精密控制，保證爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動在指定的范圍之內?，F有的碳化硅沉積設備進氣裝置，利用氫氣和氬氣在MTS儲液罐中進行混合，然后攜帶MTS氣體直接進入爐體，氣體波動較大，裂解氣流不穩定，導致沉積速度不穩定，涂層不均勻，涂層材料的結合性不好。

技術實現要素：

本發明所要解決的技術問題在于，提供一種能夠精確控制碳化硅沉積設備進氣壓力的進氣裝置。為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：

一種碳化硅沉積設備的進氣裝置，包括MTS儲液罐、混合罐和緩沖罐，所述MTS儲液罐上設有氫氣輸入管道，所述氫氣輸入管道開口伸入到MTS液位下方，所述MTS儲液罐的頂部還設有儲液罐排氣口，所述儲液罐排氣口通過第一管道與所述混合罐的第一進氣口相連，所述混合罐還設有第二進氣口，所述第二進氣口用于輸入氬氣，所述混合罐設有混合罐排氣口，所述混合罐排氣口通過第二管道與所述緩沖罐的進氣口相連，所述緩沖罐設有緩沖罐排氣口，所述緩沖罐排氣口通過第三管道與碳化硅沉積設備的爐體相連。

進一步的，在本發明一種優選的實施方式中，上述方案中的碳化硅沉積設備進氣裝置還包括控制器、壓力變送器和電動調節閥，所述壓力變送器設置在所述緩沖罐或所述第三管道上，所述電動調節閥設置在所述第三管道上，所述壓力變送器與所述控制器相連，所述控制器與所述電動調節閥相連，所述控制器接收壓力變送器信號后處理并輸出控制信號給所述電動調節閥。

進一步地，上述方案中所述的壓力變送器傳感單元為陶瓷膜片。

進一步優選地，所述第三管道中的進氣壓力控制精度高于±Pa。

另一方面，在上述進氣裝置的基礎上，本發明還提供了一種碳化硅沉積設備，包括進氣裝置和爐體，所述進氣裝置和所述爐體相連，其中，所述進氣裝置具體為上述方案中的任意一種進氣裝置。

本發明的進氣裝置，設置了混合罐和緩沖罐，氫氣先進入MTS儲液罐，然后攜帶MTS氣體進入混合罐與氬氣進行混合，再進入緩沖罐，最后進入爐體進行沉積。設置混合罐和緩沖罐，工藝氣體經過兩個罐體之后可以減小壓力波動，氣體的壓力也更容易控制。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是為了更好地理解本發明，而不應該理解為對本發明的限制。對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明所述碳化硅沉積設備的進氣裝置一種優選實施方式的結構示意圖

具體實施方式

為了使本技術領域的人員更好地理解本申請中的技術方案，下面將結合本申請實施例中的附圖，對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例。

請參考圖1，本實施例提供的碳化硅沉積設備的進氣裝置，包括MTS儲液罐1、混合罐2和緩沖罐3，MTS儲液罐1上設有氫氣輸入管道11，氫氣輸入管道11開口伸入到MTS液位下方，MTS儲液罐1的頂部還設有儲液罐排氣口12，儲液罐排氣口12通過第一管道51與混合罐2的第一進氣口21相連，混合罐2還設有第二進氣口22，第二進氣口22用于輸入氬氣，混合罐2設有混合罐2排氣口，混合罐2排氣口通過第二管道52與緩沖罐3的進氣口31相連，緩沖罐3設有緩沖罐排氣口32，緩沖罐排氣口32通過第三管道53與碳化硅沉積設備的爐體4相連。

碳化硅沉積設備在工藝過程中，為了取得好的沉積效果，必須對MTS的流量和壓力進行精密控制，保證爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動在指定的范圍之內。如果氣體波動較大，裂解氣流不穩定，就容易導致沉積速度不穩定，涂層不均勻，涂層材料的結合性不好。本實施例的進氣裝置，設置了混合罐2和緩沖罐3，氫氣先進入MTS儲液罐1，然后攜帶MTS氣體進入混合罐2與氬氣進行混合，再進入緩沖罐3，最后進入爐體4進行沉積。設置混合罐2和緩沖罐3，工藝氣體經過兩個罐體之后可以減小壓力波動，氣體的壓力也更容易控制。

上述的碳化硅沉積設備的進氣裝置還可以進行如下改進：

其中，碳化硅沉積設備進氣裝置還包括控制器、壓力變送器6和電動調節閥7，壓力變送器6設置在緩沖罐3或第三管道53上，電動調節閥7設置在第三管道53上，壓力變送器6與控制器相連，控制器與電動調節閥7相連，控制器接收壓力變送器6信號后處理并輸出控制信號給電動調節閥7。第三管道53上的壓力變送器6檢測進入爐體4前的氣流壓力信號，然后傳遞給控制器，控制器根據工藝條件對信號進行處理，輸出控制信號控制電動調節閥7進行調節，能夠實現爐體4的近期壓力精準調控。

由于MTS具有強烈的腐蝕性，上述方案中壓力變送器6傳感單元為陶瓷膜片，能夠耐酸防腐，可在MTS的酸性氣氛下長期使用。

優選地，第三管道53中的進氣壓力控制精度高于±15Pa。

另一方面，在上述進氣裝置的基礎上，本發明還提供了一種碳化硅沉積設備，包括進氣裝置和爐體4，進氣裝置和爐體4相連，其中，進氣裝置具體為上述方案中的任意一種進氣裝置。

以上所述僅僅是本申請的具體實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本申請原理的前提下所做出的無須創造性勞動的改進都視為本申請的保護范圍。