技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種硫系玻璃或相變儲(chǔ)存材料鍺砷硒碲靶材的生產(chǎn)工藝，包括：將Ge、As、Se、Te四種元素單質(zhì)破碎成均勻小塊或粉末，然后將四種單質(zhì)按計(jì)算用量裝入石英管中，抽真空后，進(jìn)行密管合成。將合成好的GeAsSeTe化合物球磨，得到干燥的GeAsSeTe粉末。以GeAsSeTe粉末為原料進(jìn)行熱壓燒結(jié)，制得GeAsSeTe靶坯。對(duì)靶坯進(jìn)行機(jī)械加工得到GeAsSeTe靶材。本發(fā)明使用的密管合成法可合成雜相少、成分均勻的GeAsSeTe化合物，并可有效保證合成產(chǎn)物的高純度。熱壓燒結(jié)成形生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的GeAsSeTe靶材，相對(duì)密度高、成分均勻、晶粒小、性能好。

技術(shù)研發(fā)人員：吳文斌;舒小敏;趙平安
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江西科泰新材料有限公司
文檔號(hào)碼：201611222968
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.27
技術(shù)公布日：2017.05.10