本實用新型涉及卷對卷濺射系統，更詳細而言，涉及一種使得不僅能夠以卷對卷驅動方式，把包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金屬在多樣的膠片上沉積(或涂布)成薄膜形態，而且能夠穩定地連續生產制品并提供高品質的膠片的卷對卷濺射系統。

背景技術：

一般而言，卷對卷濺射系統是在真空狀態下，使離子在膠片的表面沉積成薄膜的裝置，如此沉積了金屬離子的膠片用作顯示裝置、太陽能電池模塊、觸摸面板、玻璃窗的涂布用。

就所述卷對卷濺射系統的構成而言，構成能實現真空狀態的腔，在所述腔的上部構成供卷繞的膠片展開的重繞輥，還構成滾筒，所述滾筒位于所述重繞輥下方，支撐于所述腔內部構成，以便從所述重繞輥展開的膠片向下方引導。另外，構成加裝于所述腔的內部的卷繞輥，以便經所述滾筒而向上方引出的膠片纏繞于所述滾筒的上部。

另外，構成等離子體輻射裝置，所述等離子體輻射裝置加裝于所述腔的內側面，構成得朝向所述滾筒發生等離子體。

所述等離子體輻射裝置構成陰極腔，構成加裝于所述陰極腔內并朝向所述滾筒輻射等離子體的陰極。

構成得從所述陰極噴射氬等惰性氣體，包括以金屬形成的靶而構成。

基于所述構成的卷對卷濺射系統的作用是，作為被沉積體的膠片從所述重繞輥向下方展開，經過所述滾筒而向上方引出，纏繞于所述卷繞輥。

此時，從所述陰極向滾筒輻射等離子體，此時，從構成從陰極噴射的惰性氣體的原子釋放電子，與此同時形成的既定分布的陽離子碰撞帶陰極的所述靶，靶的金屬原子呈既定分布地脫離，在所述膠片的表面沉積成既定厚度，形成薄膜。

存在無法在所述膠片上，把不同成分的薄膜構成多層的問題。當然，在滾筒的周圍安裝多個等離子體輻射裝置后，朝向經過滾筒的膠片，沉積不同成分的金屬原子，因而也可以視為能夠構成多層薄膜的膠片，然而此時，從各陰極發生的等離子體相互干擾，發生相異的金屬原子相互混合的現象。

因此，各薄膜層由不同成分的金屬原子混雜構成，因而存在導致不良的問題。即，在膠片的上面層疊的各薄膜層構成得發揮各自的功能，但薄膜層的純度低下，因而存在無法發揮其功能的問題。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

大韓民國注冊專利公報第10-1166420號(2012.07.11)

技術實現要素：

解決的技術問題

為了解決所述問題，本實用新型目的在于提供一種卷對卷濺射系統，不僅能夠以卷對卷驅動方式，在多樣的膠片上實現功能性金屬鍍膜，而且能夠穩定地連續生產制品品質。

技術方案

旨在達成所述目的的本實用新型的卷對卷濺射系統的特征在于，包括：軌道；腔，其固定安裝于所述軌道的中央部，能夠實現真空狀態，使得能夠防止膠片的污染及提高膜間粘合力；卷對卷部，其安裝得能夠在所述軌道上移動，構成得與腔結合及分離，使得在展開膠片并再纏繞的同時，借助于等離子體及離子氣體，成膜材料的粒子能夠在膠片表面沉積；磁鐵部，其能移動地安裝于所述軌道的上部，使得功能性金屬在借助于卷對卷部而展開并再纏繞的膠片的表面沉積。

其中，本實用新型的所述腔固定安裝于所述軌道的上部，以圓筒形構成，使得在展開膠片并再次纏繞的同時，能夠在膠片上涂布包括Ag、Ni/Cr、SUS的功能性金屬薄膜，為保持腔內側的高真空而安裝低溫泵及渦輪泵。

其中，本實用新型的所述卷對卷部包括：卷對卷框架底座，其在下端部形成輪子，使得能夠安裝于所述軌道的上部并移動；卷對卷框架，其在所述卷對卷框架底座上部，以大致四邊形的形狀形成；開卷輥(unwind-rooller)，其能旋轉地安裝于所述卷對卷框架的一側，使得能夠安裝膠片卷并展開膠片；重卷輥(rewind-rooller)，其位于所述開卷輥的一側，能旋轉地安裝于卷對卷框架的一側，形成得能夠纏繞安裝于開卷輥的膠片；滾筒，其位于所述開卷輥與重卷輥的下方，能旋轉地安裝于卷對卷框架，使得功能性金屬容易以既定溫度沉積于膠片的表面；空轉輥，其能旋轉地在所述開卷輥的一側下方和重卷輥一側下方與滾筒的兩側上方安裝多個，當膠片從開卷輥經過滾筒而纏繞到重卷輥時保持既定張力；預處理部，其位于空轉輥之間，能旋轉地安裝于卷對卷框架，使得能夠在安裝于所述開卷輥的膠片纏繞于重卷輥時，去除移動的膠片表面的污染物，提高涂布物質間的粘合力。

其中，本實用新型的所述預處理部包括：加熱器，其位于所述開卷輥的下方一側空轉輥之間，去除從開卷輥向滾筒供應的膠片的水分；離子束源，其位于所述加熱器與空轉輥之間，安裝于卷對卷框架，去除通過加熱器而去除了水分的膠片表面的污染物，提高涂布物質間的粘合力。

其中，本實用新型的所述加熱器以IR型構成，為了去除膠片的水分而加熱的區間的長度最少為250mm以上，通過去除水分而使得容易涂布。

其中，本實用新型的所述磁鐵部是在軌道的上部，能移動地安裝磁鐵框架底座，使得能夠與所述腔結合，在所述磁鐵框架底座的上部，安裝四邊形形狀的磁鐵框架，在磁鐵框架的一側包括濺射裝置構成，以便在安裝于所述卷對卷部的膠片的表面發生等離子體，把功能性金屬沉積成薄膜形態。

實用新型的效果

本實用新型在利用卷對卷方式，制造把功能性金屬沉積成薄膜形態的膠片時，使重卷輥與滾筒之間、滾筒與開卷輥之間，借助于空轉輥而保持既定張力，因而具有功能性金屬容易地在膠片上沉積為薄膜形態的效果。

另外，利用等離子體及離子氣體對膠片進行預處理，因而具有去除在膠片的表面沾染的污染物并提高膜間(沉積于膠片的金屬薄膜)粘合力的效果。

另外，本實用新型為了薄膜成膜而安裝冷卻滾筒，因而在涂布時既定地保持膠片的溫度，具有生產品質均勻的膠片的效果。

另外，本實用新型在膠片移動時，在開卷輥與滾筒之間、重卷輥與滾筒之間，借助于空轉輥，膠片在保持既定速度及張力的狀態下移動，因而具有功能性金屬均勻沉積成薄膜形態的效果。

附圖說明

圖1是顯示本實用新型的卷對卷濺射系統的構成的圖。

圖2是概略地顯示在本實用新型的卷對卷濺射系統的膠片上進行功能性金屬鍍膜時用于真空沉積的構成的圖。

【附圖標記的說明】

100:軌道 200:腔

210:低溫泵 220:渦輪泵

300:卷對卷部 310:卷對卷框架底座

311:輪子 320:卷對卷框架

330:開卷輥 340:重卷輥

350:滾筒

360-1、360-2、360-3、360-4、360-5、360-6、360-7、360-8、360-9、360-10、360-11、360-12:空轉輥

370:預處理部 371:加熱器

372:離子束源 400:磁鐵部

410:磁鐵框架底座 420:磁鐵框架

430:濺射裝置 431:DC電源供應器

具體實施方式

本實用新型可以加以多樣的變更，可以擁有各種實施例，在附圖中示例性地圖示特定實施例并詳細說明。

但是，這并非要把本實用新型限定于特定的實施形態，應理解為包括本實用新型的思想及技術范圍內所包含的所有變更、均等物及至替代物。

在說明各附圖的同時，針對類似的構成要素使用類似的參照符號。第1、第2等術語可以用于說明多樣的構成要素，但所述構成要素不由所述術語所限定。所述術語只用于把一個構成要素區別于其它構成要素的目的。

例如，“及/或”字樣的術語，包括多個相關記載項目的組合或多個相關記載項目中的某個項目。

只要未不同地定義，包括技術性或科學性術語在內，此處使用的所有術語具有與本實用新型所屬技術領域的技術人員一般理解的內容相同的意義。

與在一般使用的字典中定義的內容相同的術語，應解釋為具有與相關技術的文理上具有的意義一致的意義，只要在本申請中未明確定義，不得過于地、過度地解釋為形式上的意義。

以下說明中使用的特定術語是為幫助本實用新型的理解而提供的，這種特定術語的使用，可以在不超出本實用新型技術思想的范圍內，變更為其它形態。

下面參照附圖，對本實用新型的卷對卷濺射系統的構成進行詳細說明。

圖1是顯示本實用新型的卷對卷濺射系統的構成的圖，圖2是概略地顯示本實用新型的卷對卷濺射系統的在膠片上進行功能性金屬鍍膜時用于真空沉積的構成的圖。

如果參照圖1及圖2，本實用新型的卷對卷(Roll to Roll)濺射系統包括：軌道100，其安裝于制造商車間地面；腔200，其固定安裝于所述軌道100的中央部，能夠實現真空狀態，使得能夠防止膠片的污染及提高膜間粘合力；卷對卷部300，其安裝得能夠在所述軌道100上移動，構成得與腔200結合及分離，使得在展開膠片并再纏繞的同時，能夠借助于等離子體及離子氣體，把功能性金屬在膠片表面沉積成薄膜形態；磁鐵部400，其能移動地安裝于所述軌道100的上部，使得功能性金屬在借助于卷對卷部300而展開并再纏繞的膠片的表面沉積。

所述軌道100安裝于制造廠商的地面，使得能夠在把卷對卷部200和磁鐵部400結合于腔部200或分離時移動。

所述腔200固定安裝于所述軌道100的上部，以圓筒形構成，使得在展開并再纏繞膠片的同時，能夠在膠片上涂布包括Ag、Ni/Cr、SUS的功能性金屬薄膜。為了使所述腔200的內側保持高真空而安裝低溫泵210及渦輪泵220。由于穩定上的理由，為了滿足適宜的運轉條件，所述渦輪泵220利用基于冷卻液流量計(圖中未示出)、冷卻液溫度開關(圖中未示出)及限位開關(圖中未示出)的傳感器等而構成互鎖。所述低溫泵210及渦輪泵220為保持高真空狀態而安裝于腔200內。

所述卷對卷部300包括卷對卷框架底座310、卷對卷框架320、開卷輥330、重卷輥340、滾筒350、多個空轉輥360和預處理部370，能移動地安裝于所述軌道100的上部。

所述卷對卷框架底座310在下端部形成輪子311，使得能夠安裝于所述軌道100的上部并移動。

所述卷對卷框架300在所述卷對卷框架底座320上部，以大致四邊形的形狀形成。

所述開卷輥330能旋轉地安裝于所述卷對卷框架320的一側，使得能夠安裝膠片卷并展開膠片。

所述重卷輥340位于所述開卷輥330的一側，能旋轉地安裝于所述卷對卷框架320的一側，形成得能夠纏繞安裝于開卷輥330的膠片。

所述滾筒350位于所述開卷輥330與重卷輥340的下方，能旋轉地安裝于所述卷對卷框架320，使得功能性金屬容易沉積于膠片的表面。在安裝于所述開卷輥330的膠片纏繞于重卷輥340時，使得經過所述滾筒350進行纏繞。

其中，所述滾筒350是保持既定溫度的冷卻滾筒，使得功能性金屬能夠在膠片的表面沉積成薄膜形態。

所述空轉輥360-1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12在所述開卷輥330的一側下方、重卷輥340一側下方和所述滾筒350的兩側上方能旋轉地安裝多個，使得當膠片從開卷輥330經過滾筒350而纏繞到重卷輥340時保持既定張力。

所述預處理部370為了在安裝于所述開卷輥330的膠片纏繞于重卷輥340時，去除移動的膠片的表面的污染物、提高沉積物質間的粘合力，包括加熱器371和離子束源372構成，位于所述空轉輥360-1、360-2之間，安裝于所述卷對卷框架320。

所述加熱器371位于所述開卷輥330的下方一側空轉輥360-1、360-2之間，去除從開卷輥330向滾筒350供應的膠片的水分。所述加熱器371以IR型構成。另外，為去除膠片的水分而加熱的區間的長度最少為250mm以上，完全地去除水分而使得功能性金屬容易沉積。

所述離子束源372位于所述加熱器371與空轉輥360-2之間，安裝于卷對卷框架320，去除通過所述加熱器370而去除了水分的膠片表面的污染物，提高沉積物質間的粘合力。

另外，所述離子束源372與DC供應器(圖中未示出)電氣連接，在使得容易發生等離子體的同時，控制氣體流量，使得能夠控制氬及氧氣等反應性氣體的注入量。

所述離子束源372把中性狀態的氣體制成正電荷與負電荷混在的等離子體狀態，在此形成諸如電位差或壓力差的外部性環境。

所述磁鐵部400能移動地把磁鐵框架底座410安裝于軌道100的上部，使得能夠與所述腔200結合，在所述磁鐵框架底座410的上部，安裝四邊形形狀的磁鐵框架420，在磁鐵框架420的一側安裝濺射裝置430，使得能夠在安裝于所述卷對卷部300的膠片的表面，借助于等離子體及離子氣體，把功能性金屬沉積成薄膜形態。

所述濺射裝置430配置于滾筒350的下部及下部左、右側，具備靶物質和陰極構成，靶物質從陰極接入直流電源，使得根據電源的強度而實現薄膜形態的沉積。所述事項是所屬領域的技術人員公知的內容，因而省略對所述事項的詳細說明。

如上所述構成的本實用新型的卷對卷濺射系統，為了在膠片的表面把功能性金屬沉積成薄膜形態，首先，在卷對卷部300的開卷輥330上安裝膠片卷，把安裝于開卷輥330的膠片經過空轉輥360-1、360-2、360-3、360-4、360-5、360-6和預處理部370及滾筒350，重新纏繞于空轉輥360-7、360-8、360-9、360-10、360-11、360-12和重卷輥340。

在安裝得使所述膠片經過開卷輥330->空轉輥360-1->預處理部370->空轉輥360-2、360-3、360-4、360-5、360-6->滾筒350->空轉輥360-7、360-8、360-9、360-10、360-11、360-12而纏繞于重卷輥340的狀態下，使卷對卷部300沿著軌道100移動，與腔200結合。此時，安裝于卷對卷部300的對應位置的磁鐵部400也沿著軌道100移動，與腔200結合。

在把所述卷對卷部300和磁鐵部400結合于腔200的狀態下，利用低溫泵210和渦輪泵220，把腔200內側形成高真空狀態并保持這種狀態。

所述腔200內側形成高真空狀態后，使安裝于卷對卷框架320的重卷輥340旋轉，移送安裝于開卷輥330的膠片，使得可以利用等離子體及離子氣體，把功能性金屬沉積成薄膜。

在所述開卷輥330上展開的膠片借助位于開卷輥330下方一側的空轉輥360-1而轉換膠片的方向，使得向腔200的下方移動，發生方向轉換的膠片移動到預處理部370。

在所述預處理部370中，為使移動的膠片的水分蒸發而通過加熱器371，通過了加熱器371的膠片借助于離子束源372而去除膠片表面的污染物，借助于空轉輥360-2而轉換方向，經過所述空轉輥360-2的膠片再次經過多個空轉輥360-3、360-4、360-5、360-6而移送到滾筒350，此時，膠片保持既定張力。

所述空轉輥360-6貼緊滾筒350并一同聯動旋轉，使得保持向重卷輥340側移動的膠片的張力。

即，以在滾筒350上保持既定張力的狀態，使得膠片與滾筒350一同旋轉，借助于等離子體及離子氣體，功能性金屬容易地在膠片的表面沉積。另外，使得貼緊于所述滾筒350的空轉輥360-6既定地保持張力，以便防止纏繞于滾筒370一部分的膠片擠壓或折疊。

經過所述滾筒350進行移送的膠片借助在位于滾筒350下方的磁鐵部400的濺射裝置430中發生的等離子體和離子氣體，功能性金屬在膠片表面沉積成薄膜形態。

經過所述滾筒350的膠片借助貼緊于滾筒350的空轉輥360-7，使得膠片不擠壓或折疊，在保持既定張力的同時向重卷輥340移動。

經過所述滾筒350和空轉輥360-7的膠片再次經過多個空轉輥360-8、360-9、360-10、360-11、360-12而移動到重卷輥340并纏繞。

纏繞于所述重卷輥340的膠片在借助于等離子體和離子氣體而把功能性金屬沉積成薄膜形態的狀態下，纏繞成卷形態。

如上所述，在利用卷對卷方式，制造把功能性金屬沉積成薄膜形態的膠片時，使開卷輥330與滾筒350之間、滾筒350與重卷輥360之間借助于空轉輥360-1、360-2、360-3、360-4、360-5、360-6、360-7、360-8、360-9、360-10、360-11、360-12而保持既定張力，因而具有功能性金屬容易在膠片上沉積為薄膜形態的優點。

本實用新型構成得能夠利用軌道100而分離及結合卷對卷濺射系統，因而具有容易維護、膠片的安裝及分離非常容易的優點。

另外，利用等離子體對膠片進行預處理，因而具有去除在膠片的表面沾染的污染物及提高膜間(沉積于膠片的金屬薄膜)粘合力的優點。

而且，為了薄膜成膜而安裝滾筒350，因而在涂布時既定地保持膠片的溫度，具有生產品質均勻的膠片的優點。

另外，在膠片的移動時，在開卷輥330與滾筒350之間、滾筒350與重卷輥340之間，借助于空轉輥360-1、360-2、360-3、360-4、360-5、360-6、360-7、360-8、360-9、360-10、360-11、360-12，膠片在保持既定速度及張力的狀態下移動，因而功能性金屬能夠均勻地沉積成薄膜形態，提供高品質的膠片。

在以上說明的本實用新型的詳細說明中，參照本實用新型的優選實施例進行了說明，但本實用新型的保護范圍并非限定于所述實施例，只要是所屬技術領域的技術人員便能夠理解，在不超出本實用新型的思想及技術領域的范圍內，可以多樣地修改及變更本實用新型。