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卷對卷濺射系統的制作方法

文檔序號:11836379閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型涉及一種卷對卷濺射系統,其不僅能夠以卷對卷驅動方式,在多樣的膠片上實現包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金屬鍍膜,而且能夠穩定地連續生產制品并提供高品質的膠片,包括:軌道;腔,其固定安裝于所述軌道的中央部,能夠實現真空狀態,使得能夠防止膠片的污染及提高膜間粘合力;卷對卷部,其安裝得能夠在所述軌道上移動,構成得與腔結合及分離,使得在展開膠片并再纏繞的同時,借助于等離子體及離子氣體,成膜材料的粒子能夠在膠片表面沉積;磁鐵部,其能移動地安裝于所述軌道的上部,使得功能性金屬在借助于卷對卷部而展開并再纏繞的膠片的表面沉積。

技術研發人員:裴鐘旿
受保護的技術使用者:美思菲林股份有限公司
文檔號碼:201620267469
技術研發日:2016.03.31
技術公布日:2016.11.30

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