本實用新型涉及顯示器制造領域，特別涉及一種支撐頂針及承載腔室。

背景技術：

在顯示器件制造過程中，通常需要采用等離子體增強化學氣相沉積(英文：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；簡稱：PECVD)鍍膜工藝，使硅烷、氨氣和氫氣等氣體發生化學反應，并高溫沉積在基板上，使得基板上沉積出所需要的薄膜。隨后，再通過機械手將沉積有薄膜的基板傳輸至承載腔室，并將基板放置在用于支撐基板的支撐頂針上，以便于完成基板的冷卻，基板被冷卻之后，再通過機械手將基板從承載腔室取出。

現有技術中有一種支撐頂針，該支撐頂針為圓柱結構，該支撐頂針的一端通過螺絲固定在承載腔室的內壁上，另一端的側面支撐基板，支撐頂針的側面與基板線接觸。當機械手將基板傳輸至承載腔室時，以及當機械手將基板從承載腔室取出時，基板與支撐頂針之間會不斷摩擦。隨著時間的推移，支撐頂針上與基板接觸的地方漸變為平面，支撐頂針與基板之間變為面接觸，基板與支撐頂針的接觸面的面積變大。而基板在被冷卻的過程中，會由高溫變為常溫，當基板與支撐頂針的接觸面的面積較大時，基板在與支撐頂針相接觸的地方易產生裂紋，形成碎片。為了防止基板產生裂紋，每次當支撐頂針上與基板接觸處變為平面時，就旋轉支撐頂針，使支撐頂針的側面與基板之間再次形成線接觸。

通常在將支撐頂針旋轉3次后，用于支撐基板的支撐頂針一端的側面變為平面，整個支撐頂針便無法繼續使用，需要重新換一個新的支撐頂針，因此，支撐頂針的使用壽命較短。

技術實現要素：

為了解決支撐頂針的使用壽命較短的問題，本實用新型提供了一種支撐頂針及承載腔室。所述技術方案如下：

第一方面，提供了一種支撐頂針，所述支撐頂針包括多個支撐機構，

所述多個支撐機構通過連接機構串接，每個所述支撐機構的高度方向與所述連接機構的高度方向平行，所述連接機構用于將所述多個支撐機構固定在承載腔室的內壁上，每個所述支撐機構能夠在所述連接機構上移動至目標位置以支撐基板，且能夠圍繞所述連接機構旋轉，所述支撐機構的側面與所述基板線接觸。

可選的，所述連接機構為螺紋桿，

每個所述支撐機構為圓柱結構，且中心設置有螺孔，所述螺孔的長度方向與所述支撐機構的高度方向平行；

所述螺紋桿穿過每個所述支撐機構的螺孔以串接所述多個支撐機構，所述螺紋桿的一端設置在所述承載腔室的內壁上，所述螺紋桿的另一端設置有卡接螺帽。

可選的，每個所述支撐機構的上底面設置有n個卡接槽，下底面設置有能夠與所述n個卡接槽相卡接的n個凸起結構，所述n大于或等于2。

可選的，所述連接機構包括連接部件和固定部件，

所述連接部件固定在所述承載腔室的內壁上，所述連接部件的底部設置有至少兩個滑軌，每個所述支撐機構能夠在所述至少兩個滑軌上移動至所述目標位置，所述連接部件與所述固定部件的一端固定連接，所述固定部件用于固定每個所述支撐機構。

可選的，每個所述支撐機構為圓柱結構，

每個所述支撐機構的側面貫穿設置有定位孔，每個所述支撐機構通過所述定位孔上的固定螺帽固定在所述固定部件上。

可選的，每個所述滑軌遠離所述連接部件的一端設置有限位螺帽。

可選的所述卡接螺帽與所述螺紋桿之間設置有墊片。

可選的每個所述支撐機構與所述至少兩個滑軌的接觸處設置有隔墊層，所述隔墊層上設置有與所述至少兩個滑軌中每個所述滑軌相對應的滑塊。

可選的所述連接部件為圓柱結構，所述固定部件的橫截面為半圓弧形，所述連接部件的側面與所述固定部件的內表面接觸。

可選的所述卡接槽和所述凸起結構均呈十字狀。

可選的所述連接部件和所述固定部件為一體件。

第二方面，提供了一種承載腔室，所述承載腔室的內壁設置有多個支撐頂針，每個所述支撐頂針為第一方面所述的支撐頂針。

本實用新型提供了一種支撐頂針及承載腔室，該支撐頂針包括多個支撐機構，每個支撐機構能夠在連接機構上移動至目標位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機構旋轉，當目標位置上的支撐機構無法被繼續使用時，只需更換另一支撐機構，無需重新換取一個新的支撐頂針，因此，延長了支撐頂針的使用壽命。

應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本實用新型。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型實施例提供的一種支撐頂針的結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例提供的一種支撐機構的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例提供的一種支撐機構的結構示意圖；

圖4是本實用新型實施例提供的另一種支撐頂針的結構示意圖；

圖5是本實用新型實施例提供的一種支撐機構的結構示意圖；

圖6是本實用新型實施例提供的一種支撐頂針支撐基板的示意圖；

圖7是現有技術中的支撐頂針的結構示意圖。

通過上述附圖，已示出本實用新型明確的實施例，后文中將有更詳細的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過任何方式限制本實用新型構思的范圍，而是通過參考特定實施例為本領域技術人員說明本實用新型的概念。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本實用新型實施方式作進一步地詳細描述。

本實用新型實施例提供了一種支撐頂針100，如圖1所示，該支撐頂針100包括多個支撐機構110。

多個支撐機構110通過連接機構120串接，每個支撐機構110的高度方向(如圖1中u所指示的方向)與連接機構120的高度方向(如圖1中v所指示的方向)平行。連接機構120用于將多個支撐機構110固定在承載腔室的內壁(圖1中未畫出)上，每個支撐機構110能夠在連接機構120上移動至目標位置以支撐基板200，且能夠圍繞連接機構120旋轉，支撐機構110的側面與基板200線接觸。

綜上所述，本實用新型實施例提供的支撐頂針，該支撐頂針包括多個支撐機構，每個支撐機構能夠在連接機構上移動至目標位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機構旋轉，當目標位置上的支撐機構無法被繼續使用時，只需更換另一支撐機構，無需重新換取一個新的支撐頂針，因此，延長了支撐頂針的使用壽命。

可選的，如圖2所示，連接機構120為螺紋桿，每個支撐機構110為圓柱結構，且中心設置有螺孔111，螺孔111的長度方向(如圖2中w所指示的方向)與支撐機構110的高度方向(如圖2中u所指示的方向)平行。螺紋桿穿過每個支撐機構110的螺孔111以串接多個支撐機構。螺紋桿的一端設置在承載腔室的內壁上，螺紋桿的另一端設置有卡接螺帽121。支撐機構旋進螺紋桿，由于支撐機構和螺紋桿之間的摩擦力較大，所以支撐機構不易在螺紋桿上滑動。另外，卡接螺帽能夠限定目標位置處的支撐機構的位置，鎖緊目標位置處的支撐機構，防止目標位置處的支撐機構脫落。需要說明的是，圖2是以一個支撐機構為例進行說明的。進一步的，卡接螺帽與螺紋桿之間設置有墊片。卡接螺帽與螺紋桿通過墊片能夠更加緊密地連接在一起。

如圖3所示，每個支撐機構110的上底面A設置有n個卡接槽112，下底面B設置有能夠與n個卡接槽112相卡接的n個凸起結構113，n大于或等于2。示例的，n等于4。

示例的，如圖3所示，卡接槽和凸起結構均呈十字狀。相鄰的兩個支撐機構能夠通過卡接槽和凸起結構卡接在一起，從而使得多個支撐機構能夠更加穩固地串接在連接機構上。此外，圖3中的111為螺孔。

進一步的，如圖4所示，連接機構120包括連接部件123和固定部件124。連接部件123固定在承載腔室的內壁(圖4中未畫出)上，示例的，連接部件可以通過螺絲固定在承載腔室的內壁上。連接部件123的底部設置有至少兩個滑軌1231，每個支撐機構110能夠在至少兩個滑軌1231上移動至目標位置。連接部件123與固定部件124的一端固定連接，該固定部件124用于固定每個支撐機構110。

如圖4所示，每個支撐機構110為圓柱結構。每個支撐機構110的側面貫穿設置有定位孔114，每個支撐機構110通過定位孔114上的固定螺帽(圖4中未畫出)固定在固定部件上124。固定部件上與定位孔相對應的位置處可以設置有緊固孔，固定螺帽穿過支撐機構上的定位孔，卡接至該緊固孔上，達到了將支撐機構固定在固定部件的效果。定位孔在支撐機構的側面上的位置可以根據需求來確定，本實用新型實施例對此不做限定。

如圖4所示，連接部件120為圓柱結構，固定部件124的橫截面為半圓弧形，連接部件120的側面與固定部件124的內表面接觸。可選的，連接部件和固定部件可以為一體件。

進一步的，如圖4所示，每個滑軌1231遠離連接部件123的一端設置有限位螺帽1232。該限位螺帽能夠限定目標位置處的支撐機構的位置，鎖緊目標位置處的支撐機構，防止目標位置處的支撐機構脫落。

進一步的，如圖5所示，每個支撐機構110與至少兩個滑軌的接觸處設置有隔墊層115，該隔墊層115上設置有與至少兩個滑軌中每個滑軌相對應的滑塊1151。在支撐機構上設置隔墊層和滑塊，便于支撐機構能夠在至少兩個滑軌上快速移動至目標位置。

圖6示出了本實用新型實施例提供的支撐頂針支撐基板的示意圖。如圖6所示，機械手601將沉積有薄膜的基板200傳輸至承載腔室，并將基板200放置在用于支撐基板200的支撐頂針上100，支撐頂針100的一端固定在承載腔室的內壁上，另一端(即目標位置)的支撐機構的側面支撐基板200，該支撐機構的側面與基板200線接觸。當該支撐機構的側面與基板200之間變為面接觸時，旋轉該支撐機構，使該支撐機構的側面與基板200之間再次形成線接觸。當旋轉該支撐機構3次以后，該支撐頂針不可用，此時，將該支撐機構移動至連接機構上且遠離基板的位置處，并將與該支撐機構相鄰的支撐機構移動至目標位置，再采用當前時刻目標位置處的支撐機構繼續支撐基板。示例的，支撐頂針可以包括4個支撐機構或5個支撐機構。需要說明的是，該支撐頂針包括的支撐機構的數量可以根據需求來確定，本實用新型實施例對此不作限定。

圖7示出了現有技術中支撐頂針的結構示意圖。如圖7所示，現有技術中的支撐頂針330為一體件，所以當支撐頂針330與基板200之間變為面接觸時，旋轉該支撐頂針330，使支撐頂針330的側面與基板200之間再次形成線接觸。當旋轉該支撐頂針3次以后，該支撐頂針便無法繼續被使用，需要重新換一個新的支撐頂針，所以該支撐頂針一共僅能夠被使用4次。假設本實用新型實施例提供的支撐頂針包括4個支撐機構，由于每個支撐機構能夠被使用4次，所以該支撐頂針一共可以被使用16次，因此，本實用新型實施例提供的支撐頂針的使用壽命更長。

綜上所述，本實用新型實施例提供的支撐頂針，該支撐頂針包括多個支撐機構，每個支撐機構能夠在連接機構上移動至目標位置以支撐基板，且能夠圍繞連接機構旋轉。當目標位置上的支撐機構無法被繼續使用時，只需更換另一支撐機構，無需重新換取一個新的支撐頂針，因此，延長了支撐頂針的使用壽命，且該支撐頂針的成本較低，結構簡單，易于實現。

本實用新型實施例提供了一種承載腔室，該承載腔室的內壁設置有多個支撐頂針，每個支撐頂針為圖1或圖4所示的支撐頂針。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。