本實用新型涉及一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路裝置，屬于熱絲化學氣相沉積技術領域。

背景技術：

上世紀80年代初，歐美日等發達國家掀起了化學氣相沉積合成金剛石膜新材料的研究，到90年代，從理論上基本上摸清了化學氣相沉積金剛石膜的生長機制，進入21世紀，無論從沉積技術，加工技術還是應用方面都取得了極大的進展。這期間，人們開發了熱絲CVD法，直流等離子CVD法，射頻等離子CVD法，微波等離子CVD法，直流電弧等離子CVD法，火焰燃燒CVD法，甚至激光CVD法等，經過20多年的發展，就其產業化規模和影響力來講，微波CVD和熱絲CVD為主要應用技術,與微波相比，熱絲化學氣相沉積金剛石薄膜技術成本較低，設備簡單，易于大面積生長，目前直徑和厚度已達300mm和2mm以上，該方法在涂層方面也取得了很好的成績。

影響金剛石薄膜生長質量的因素很多，其中包括了沉積腔室中反應氣體的分布和流動。以往采取的管式進出氣方式，容易造成氣流分布不均勻，布置在熱絲架上方的氣管還容易有沉積物產生并掉落粉塵、顆粒狀雜質。

技術實現要素：

為了克服現有技術的不足,本實用新型提供一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路裝置。

一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路裝置，圓柱形腔體的上側頂角部位沿45度角焊接進氣擋板，進氣擋板與腔室頂角部形成一個密閉的進氣室，氣擋板分布有進氣孔，進氣室連接進氣口，圓柱形腔體的真空腔室內的底部連接電極柱、抽氣室，抽氣室連接升降主軸和抽氣口，升降主軸連接基片臺，電極柱連接熱絲，抽氣室有抽氣室壁，抽氣室與升降主軸之間有間縫隙。

氣擋板上沿中間水平方向均勻地鉆幾十個小孔作為進氣孔；進氣孔的數量大于2。

進氣室為進氣管道，進氣管道安裝在圓柱形腔體的頂部，進氣管道上分布有進氣孔，進氣孔的數量大于2，進氣口連接進氣管道。

進氣孔包括第一進氣孔和第二進氣孔。

在沉積腔室底部，電極柱和升降主軸之間焊接一個金屬罩作為抽氣室壁，在抽氣室壁下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口，抽氣室壁與沉積腔室底部形成抽氣室，抽氣室與升降主軸的間縫隙就成為了一個均勻出氣的抽氣通道。

一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路方法，含有以下步驟；

在化學氣相沉積爐腔室中安裝進氣室和抽氣室作為緩沖，從進氣室上均勻分布的進氣孔進氣，從抽氣室與升降主軸間縫隙出氣；

在腔室頂角部位沿45度角焊接一塊金屬板作為進氣擋板，形成一個環狀的進氣室；

在沉積腔室底部、電極柱和升降主軸之間焊接一個抽氣罩，抽氣罩與沉積腔室底部、升降主軸之間形成的空間；

在進氣室擋板上沿中間水平方向均勻地鉆的幾十個小孔作為進氣孔；

還包括如下步驟；

在腔室外壁上開口作為外部進氣口，在進氣擋板上沿中間水平方向均勻地鉆幾十個小孔作為進氣孔；

在沉積腔室底部，電極柱和升降主軸之間焊接一個金屬罩作為抽氣室壁，在抽氣室壁下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口，抽氣室壁與沉積腔室底部形成抽氣室，抽氣室與升降主軸間縫隙就成為了一個均勻出氣的抽氣通道。

外部氣體首先通過進氣口進入腔室上部的進氣室，緩沖后通過幾十個進氣孔流動到熱絲上方，最后從抽氣室與升降主軸間縫隙進入抽氣室，緩沖后從抽氣口被抽到沉積腔室外。

進氣室和抽氣室體積遠遠大于進氣孔和抽氣縫，從而使進氣和出氣非常均勻。

本實用新型的優點是可以解決熱絲化學氣相沉積設備沉積腔室中反應氣體分布不均勻的問題，同時也不易產生粉塵、顆粒掉落到沉積基體表面。進氣孔和進氣室尺寸相比很小，氣流先在進氣室充滿，再有氣孔溢出，可保證每個進氣孔的流量大致相當。同樣，下部的抽氣室比抽氣縫隙大得多，也可以確保抽氣均勻。上部的進氣室由于和水冷壁焊接在一起，冷卻相對氣管要好很多，不易在上形成沉積物，也就不會掉落到生長基體表面。

附圖說明

當結合附圖考慮時，通過參照下面的詳細描述，能夠更完整更好地理解本實用新型以及容易得知其中許多伴隨的優點，但此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定，如圖其中：

圖1為本實用新型的結構示意圖。

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

具體實施方式

顯然，本領域技術人員基于本實用新型的宗旨所做的許多修改和變化屬于本實用新型的保護范圍。

本技術領域技術人員可以理解，除非特意聲明，這里使用的單數形式“一”、“一個”、“所述”和“該”也可包括復數形式。應該進一步理解的是，本實用新型的說明書中使用的措辭“包括”是指存在所述特征、整數、步驟、操作、元件和/或組件，但是并不排除存在或添加一個或多個其他特征、整數、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組。應該理解，當稱元件被“連接”或“耦接”到另一元件時，它可以直接連接或耦接到其他元件，或者也可以存在中間元件。此外，這里使用的“連接”或“耦接”可以包括無線連接或耦接。這里使用的措辭“和/或”包括一個或更多個相關聯的列出項的任一單元和全部組合。

本技術領域技術人員可以理解，除非另外定義，這里使用的所有術語(包括技術術語和科學術語)具有與本實用新型所屬領域中的普通技術人員的一般理解相同的意義。還應該理解的是，諸如通用字典中定義的那些術語應該被理解為具有與現有技術的上下文中的意義一致的意義，并且除非像這里一樣定義，不會用理想化或過于正式的含義來解釋。

為便于對本實用新型實施例的理解，下面將結合附圖以幾個具體實施例為例做進一步的解釋說明，且各個實施例并不構成對本實用新型實施例的限定。

實施例1：如圖1所示，一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路裝置，圓柱形腔體16的上側頂角部位沿45度角焊接進氣擋板2，進氣擋板2與腔室頂角部形成一個密閉的進氣室12，氣擋板2分布有進氣孔，進氣孔包括第一進氣孔3和第二進氣孔15，進氣室12連接進氣口4，圓柱形腔體16的真空腔室1內的底部連接電極柱6、抽氣室13，抽氣室13連接升降主軸9和抽氣口11，升降主軸9連接基片臺8，電極柱6連接熱絲5，抽氣室13有抽氣室壁7，抽氣室13與升降主軸9之間有間縫隙10。

進氣室12為進氣管道，進氣管道安裝在圓柱形腔體16的頂部，進氣管道上分布有大于2的N個進氣孔(N為整數)，進氣口4連接進氣管道；

氣擋板2上沿中間水平方向均勻地鉆幾十個小孔作為進氣孔；進氣孔的數量大于2，

在沉積腔室底部，電極柱6和升降主軸9之間焊接一個金屬罩作為抽氣室壁7，在抽氣室壁7下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口11，抽氣室壁7與沉積腔室底部形成抽氣室13，抽氣室13與升降主軸9的間縫隙10就成為了一個均勻出氣的抽氣通道。

至此整個進出氣氣路就完成了：外部氣體首先通過進氣口4進入腔室上部的第一進氣室12，緩沖后通過幾十個進氣孔流動到熱絲5上方，最后從間縫隙10進入抽氣室13，緩沖后從抽氣口11被抽到沉積腔室外。

實施例2：如圖1所示，一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路方法，含有以下步驟；

在化學氣相沉積爐腔室中安裝進氣室和抽氣室作為緩沖，從進氣室上均勻分布的進氣孔進氣，從抽氣室與升降主軸間縫隙出氣；

在腔室頂角部位沿45度角焊接一塊金屬板作為進氣擋板2，形成一個環狀的進氣室；

在沉積腔室底部、電極柱6和升降主軸9之間焊接一個抽氣罩，抽氣罩與沉積腔室底部、升降主軸9之間形成的空間；

在進氣室擋板上沿中間水平方向均勻地鉆的幾十個小孔作為進氣孔；

還包括如下步驟；

熱絲化學氣相沉積設備沉積腔室通常是圓柱形雙層水冷結構，在腔室頂角部位沿45度角焊接一塊金屬板作為進氣擋板2，形成一個密閉的進氣室12，在腔室外壁上開口作為外部進氣口4，在進氣擋板2上沿中間水平方向均勻地鉆幾十個小孔作為進氣孔；

在沉積腔室底部，電極柱6和升降主軸9之間焊接一個金屬罩作為抽氣室壁7，在抽氣室壁7下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口11，抽氣室壁7與沉積腔室底部形成抽氣室13，抽氣室與升降主軸間縫隙10就成為了一個均勻出氣的抽氣通道。

至此整個進出氣氣路就完成了：外部氣體首先通過進氣口4進入腔室上部的進氣室12，緩沖后通過幾十個進氣孔流動到熱絲5上方，最后從抽氣室與升降主軸間縫隙10進入抽氣室13，緩沖后從抽氣口11被抽到沉積腔室外。

位于熱絲側上方的進氣室由于與雙層水冷腔室是焊接連接，熱絲輻射的熱量很容易傳導出去，進氣室壁上不容易產生粉塵等沉積物。而進氣室和抽氣室體積遠遠大于進氣孔和抽氣縫，從而使進氣和出氣非常均勻。

實施例3：本實用新型公開了一種熱絲化學氣相沉積爐進出氣氣路。以往熱絲化學氣相沉積爐中采取的管式進出氣方式，容易造成氣流分布不均勻，布置在熱絲架上方的氣路還容易有沉積物產生并掉落粉塵、顆粒狀雜質。

為解決這些問題，本實用新型采用腔室側上方隔離出一個進氣室，以及在腔室下方制作一個抽氣室13作為緩沖。實施本實用新型，可以解決熱絲化學氣相沉積設備沉積腔室中反應氣體分布不均勻的問題，同時也不易產生粉塵、顆粒掉落到沉積基體表面。

如上所述，對本實用新型的實施例進行了詳細地說明，但是只要實質上沒有脫離本實用新型的發明點及效果可以有很多的變形，這對本領域的技術人員來說是顯而易見的。因此，這樣的變形例也全部包含在本實用新型的保護范圍之內。