本實用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種坩堝和蒸發(fā)裝置。

背景技術(shù)：

目前，顯示裝置廣泛使用的屏幕包括LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示器)和OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機電致發(fā)光器件)，而OLED與LCD相比，其顯示具有輕薄、低功耗、高對比度、高色域、可以實現(xiàn)柔性顯示等優(yōu)點。OLED顯示按照驅(qū)動方式可以分為被動式(Passive Matrix，PMOLED)與主動式(Active Matrix，AMOLED)，其中，AMOLED顯示的成熟的實現(xiàn)方式為：LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低溫多晶硅)背板+精細金屬掩膜(FMM Mask)。

精細金屬掩膜(FMM Mask)是通過蒸鍍方式將OLED材料按照預定程序蒸鍍到LTPS背板上，在有機蒸鍍的過程中，利用精細金屬掩膜作為模具，有機材料高溫揮發(fā)后以材料分子狀態(tài)透過精細金屬掩膜的既定開口位置蒸鍍到LTPS背板玻璃上的ITO(Indium tin oxide，納米銦錫)開口上，形成有機發(fā)光層。蒸鍍的過程是在真空腔體中進行的，并且OLED的金屬層蒸鍍在現(xiàn)有技術(shù)中是采用圖1中結(jié)構(gòu)所示的錐體平底坩堝100進行的，由于現(xiàn)有錐體平底坩堝為點蒸發(fā)源且為敞口結(jié)構(gòu)，因此使用上述錐體平底坩堝進行蒸鍍的過程中蒸發(fā)速率不穩(wěn)定，進而導致蒸鍍膜層均勻性較差。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供了一種坩堝和蒸發(fā)裝置，該坩堝在蒸鍍過程中蒸發(fā)速率穩(wěn)定，能夠提高蒸鍍膜層的均勻性。

為達到上述目的，本實用新型提供以下技術(shù)方案：

一種坩堝，包括一端設(shè)有開口的堝體，所述堝體的內(nèi)部具有與所述開口連通的腔體；沿所述堝體的延伸方向，靠近所述開口的所述腔體內(nèi)設(shè)有間隔分布的至少兩個隔板；所述至少兩個隔板中，每個隔板設(shè)有貫穿其厚度的至少一個第一通孔，每相鄰的兩個隔板的第一通孔呈交錯分布。

上述坩堝由于在腔體內(nèi)設(shè)有間隔分布的至少兩個隔板，并且每相鄰的兩個隔板的第一通孔呈交錯分布，因此，在采用上述坩堝進行蒸鍍過程中，蒸鍍材料在坩堝內(nèi)變成蒸氣并達到隔板時，一部分蒸氣能夠通過隔板上相互交錯的第一通孔后曲折上升并冒出坩堝的開口進行蒸鍍形成蒸鍍膜層，另一部分蒸氣會被隔板阻擋并回流，同時由于各相鄰隔板的第一通孔交錯分布，所以在隔板與堝體之間形成蒸氣調(diào)節(jié)腔，通過蒸氣調(diào)節(jié)腔使蒸氣速率穩(wěn)定在一定水平，進而能夠通過設(shè)置在腔體內(nèi)的至少兩個隔板調(diào)節(jié)蒸氣的蒸發(fā)速率，使蒸氣均勻地蒸發(fā)并進行蒸鍍，使形成的蒸鍍膜層的均勻性提高。

因此，上述坩堝在蒸鍍過程中蒸發(fā)速率穩(wěn)定，能夠提高蒸鍍膜層的均勻性。

優(yōu)選地，所述至少兩個隔板相互平行設(shè)置。

優(yōu)選地，所述至少兩個隔板為一體式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，還包括位于所述腔體內(nèi)底部的陶瓷碎片和用于將所述陶瓷碎片保持在所述腔體內(nèi)底部的擋板，所述擋板位于所述陶瓷碎片和所述至少兩個隔板中背離所述開口的隔板之間，所述擋板設(shè)有貫穿其厚度的多個第二通孔。

由于上述坩堝在腔體內(nèi)底部設(shè)有陶瓷碎片，在采用該坩堝進行蒸鍍過程中，蒸鍍材料和陶瓷碎片均放置在腔體內(nèi)底部，陶瓷碎片混合在蒸鍍材料中，熔化的蒸鍍材料易被陶瓷碎片阻隔，不易形成大面積的沸騰冒泡現(xiàn)象，并且產(chǎn)生的小氣泡也容易因碰撞到陶瓷碎片而破裂；同時，上述坩堝的腔體內(nèi)底部還設(shè)有擋板，蒸鍍材料的蒸氣可通過擋板上的第二通孔進行蒸發(fā)，在不影響坩堝正常蒸發(fā)功能的前提下，坩堝通過擋板將陶瓷碎片保持在腔體的內(nèi)底部，使陶瓷碎片長期處于蒸鍍材料中，使坩堝保持減少沸騰冒泡的效果，而且還能通過擋板阻止或消除蒸鍍材料的沸騰冒泡現(xiàn)象；因此，該坩堝還能減少蒸鍍材料的沸騰冒泡現(xiàn)象，進一步穩(wěn)定蒸鍍材料的蒸發(fā)速率。

優(yōu)選地，所述多個第二通孔中，每個第二通孔的最大孔徑小于所述陶瓷碎片的最小粒徑。

優(yōu)選地，所述每個隔板為由熱解氮化硼(PBN)或氮化鋁(Aluminum nitride，AlN)制成的隔板；所述擋板為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的擋板；所述陶瓷碎片為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的陶瓷碎片。

優(yōu)選地，還包括設(shè)置于所述開口的蓋板，所述蓋板的厚度方向與所述堝體的延伸方向平行，所述蓋板設(shè)有貫穿其厚度的至少一個第三通孔。

由于上述坩堝還設(shè)有位于開口處的蓋板，并且蓋板上設(shè)有第三通孔，在蒸鍍過程中，坩堝中的蒸鍍材料受熱產(chǎn)生蒸氣，通過隔板后的蒸氣繼續(xù)通過蓋板的第三通孔才能達到需要進行蒸鍍的介質(zhì)上形成蒸鍍膜層，因此，能夠通過設(shè)置第三通孔的分布位置以及分布形式使蒸氣更加均勻地進行蒸鍍，使形成的蒸鍍膜層均勻性更好，并且有利于提高蒸氣的利用率，提高蒸鍍效率。

優(yōu)選地，所述堝體由可拆卸連接的下部堝體和上部堝體構(gòu)成，所述開口位于所述上部堝體背離所述下部堝體的一端，所述至少兩個隔板設(shè)置于所述上部堝體內(nèi)。

優(yōu)選地，所述下部堝體和上部堝體之間通過螺紋連接。

當堝體由螺紋連接的上部堝體和下部堝體構(gòu)成時，上部堝體和下部堝體通過螺紋可進行拆卸連接，當需要在下部堝體內(nèi)填裝蒸鍍材料或更換下部堝體時，可通過螺紋連接將下部堝體從上部堝體上拆下，完成所需操作后再通過螺紋進行連接，并且，在需要填料時，可將下部坩堝拆下，將已經(jīng)填料完畢的另一個相同結(jié)構(gòu)的下部堝體直接連接到上部堝體上，從而能夠節(jié)省蒸鍍時間，因此，該坩堝方便填料且便于更換下部堝體。

另外，本實用新型還提供了一種蒸發(fā)裝置，該蒸發(fā)裝置包括加熱裝置和上述技術(shù)方案提供的任意一種坩堝。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種實施例提供的坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一種實施例提供的坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2所示結(jié)構(gòu)的坩堝的剖面圖；

圖4為圖3所示結(jié)構(gòu)中的A向結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型另一種實施例提供的坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖5所示結(jié)構(gòu)中的B向結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型實施例提供了一種坩堝和蒸發(fā)裝置，該蒸發(fā)裝置包括坩堝，該坩堝在蒸鍍過程中蒸發(fā)速率穩(wěn)定，能夠提高蒸鍍膜層的均勻性。

其中，請參考圖2、圖3以及圖5，本實用新型一種實施例提供的坩堝1，包括一端設(shè)有開口12的堝體11，堝體11的內(nèi)部具有與開口12連通的腔體110；沿堝體11的延伸方向，靠近開口12的腔體110內(nèi)設(shè)有間隔分布的至少兩個隔板；至少兩個隔板中，每個隔板設(shè)有貫穿其厚度的至少一個第一通孔，每相鄰的兩個隔板的第一通孔呈交錯分布。

上述坩堝1由于在腔體110內(nèi)設(shè)有間隔分布的至少兩個隔板，并且每相鄰的兩個隔板的第一通孔呈交錯分布，如圖3結(jié)構(gòu)所示的坩堝1的腔體內(nèi)設(shè)有間隔分布的隔板13和隔板14，隔板13設(shè)有貫穿其厚度的多個第一通孔131，隔板14設(shè)有貫穿其厚度的多個第一通孔141，并且如圖4結(jié)構(gòu)所示，隔板13上設(shè)置的第一通孔131與隔板14上設(shè)置的第一通孔141交錯分布；因此，在采用上述坩堝1進行蒸鍍過程中，蒸鍍材料2在坩堝1內(nèi)變成蒸氣并達到隔板13和隔板14時，一部分蒸氣能夠通過隔板13和隔板14上相互交錯的第一通孔后曲折上升并冒出坩堝1的開口12進行蒸鍍形成蒸鍍膜層，另一部分蒸氣會被隔板13或隔板14阻擋并回流，同時由于各相鄰隔板的第一通孔交錯分布，所以在隔板13、隔板14與堝體11之間形成蒸氣調(diào)節(jié)腔1103，通過蒸氣調(diào)節(jié)腔1103使蒸氣速率穩(wěn)定在一定水平，進而能夠通過設(shè)置在腔體110內(nèi)的至少兩個隔板調(diào)節(jié)蒸氣的蒸發(fā)速率，使蒸氣均勻地蒸發(fā)并進行蒸鍍，使形成的蒸鍍膜層的均勻性提高。

因此，上述坩堝1在蒸鍍過程中蒸發(fā)速率穩(wěn)定，能夠提高蒸鍍膜層的均勻性。

為了進一步提高蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，腔體110中設(shè)置的至少兩個隔板相互平行設(shè)置，如圖3結(jié)構(gòu)所示，隔板13與隔板14平行設(shè)置在腔體110中。

由于腔體110中設(shè)置的至少兩個隔板相互平行設(shè)置，通過隔板13的第一通孔131的蒸氣達到隔板14的距離相同，均為隔板13與隔板14之間的間隔距離，通過隔板13的蒸氣會均勻地通過隔板14，因此，能夠進一步提高蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進而提高蒸鍍膜層的均勻性。

同時，為了提高隔板的拆裝便利性，至少兩個隔板為一體式結(jié)構(gòu)，如圖3結(jié)構(gòu)所示，隔板13和隔板14為一體式結(jié)構(gòu)。

一種具體的實施方式中，如圖3結(jié)構(gòu)所示，上述坩堝1還包括位于腔體110內(nèi)底部的陶瓷碎片16和用于將陶瓷碎片16保持在腔體110內(nèi)底部的擋板17，擋板17位于陶瓷碎片16和至少兩個隔板中背離開口12的隔板之間，擋板17設(shè)有貫穿其厚度的多個第二通孔171。

由于上述坩堝1在腔體110內(nèi)底部設(shè)有陶瓷碎片16，在采用該坩堝1進行蒸鍍過程中，蒸鍍材料2和陶瓷碎片16均放置在腔體110內(nèi)底部，陶瓷碎片16混合在蒸鍍材料2中，蒸鍍材料2熔化后易被陶瓷碎片16阻隔，不易形成大面積的沸騰冒泡現(xiàn)象，并且產(chǎn)生的小氣泡也容易因碰撞到陶瓷碎片16而破裂；同時，上述坩堝1的腔體110內(nèi)底部還設(shè)有擋板17，蒸鍍材料2的蒸氣可通過擋板17上的第二通孔171進行蒸發(fā)，在不影響坩堝1正常蒸發(fā)功能的前提下，坩堝1通過擋板17將陶瓷碎片16保持在腔體110的內(nèi)底部，使陶瓷碎片16長期處于蒸鍍材料2中，使坩堝1保持減少沸騰冒泡的效果，而且還能通過擋板17阻止或消除蒸鍍材料2的沸騰冒泡現(xiàn)象；因此，該坩堝1還能減少蒸鍍材料2的沸騰冒泡現(xiàn)象，進一步穩(wěn)定蒸鍍材料2的蒸發(fā)速率。

為了確保陶瓷碎片16能夠充分阻止或消除蒸鍍材料2的沸騰冒泡現(xiàn)象，如圖3結(jié)構(gòu)所示，在擋板17的多個第二通孔171中，每個第二通孔171的最大孔徑小于陶瓷碎片16的最小粒徑。

當擋板17的每個第二通孔171的最大孔徑小于陶瓷碎片16的最小粒徑時，由于陶瓷碎片16不能通過擋板17的第二通孔171，因此，陶瓷碎片16被擋板17阻擋在坩堝1的底部，以使陶瓷碎片16始終摻雜在蒸鍍材料2中，所以能確保陶瓷碎片16始終起到阻止或消除沸騰冒泡現(xiàn)象的作用。

具體地，如圖3、圖5以及圖6結(jié)構(gòu)所示，上述坩堝1還包括設(shè)置于開口12的蓋板15，蓋板15的厚度方向與堝體11的延伸方向平行，蓋板15設(shè)有貫穿其厚度的至少一個第三通孔151。

由于上述坩堝1還設(shè)有位于開口12處的蓋板15，并且蓋板15上設(shè)有第三通孔151，在蒸鍍過程中，坩堝1中的蒸鍍材料2受熱產(chǎn)生蒸氣，通過隔板13和隔板14后的蒸氣繼續(xù)通過蓋板15的第三通孔151才能達到需要進行蒸鍍的介質(zhì)上形成蒸鍍膜層，因此，能夠通過設(shè)置第三通孔151的分布位置以及分布形式使蒸氣更加有針對性且均勻地進行蒸鍍，使形成的蒸鍍膜層均勻性更好，并且有利于提高蒸氣的利用率，提高蒸鍍效率。

在上述各種實施例的基礎(chǔ)上，如圖5結(jié)構(gòu)所示，堝體11由可拆卸連接的下部堝體111和上部堝體112構(gòu)成，開口12位于上部堝體112背離下部堝體111的一端，至少兩個隔板設(shè)置于上部堝體112內(nèi)。

如圖5結(jié)構(gòu)所示，堝體11由下部堝體111和上部堝體112構(gòu)成，并且腔體110由下部堝體111限定的下部腔體1101和上部堝體112限定的上部腔體1102組成，在上部腔體1102內(nèi)設(shè)置有隔板13和隔板14，隔板13上設(shè)有多個貫穿其厚度的第一通孔131，隔板14上設(shè)有多個貫穿其厚度的第一通孔141，并在隔板13、隔板14和上部堝體112之間形成蒸氣調(diào)節(jié)腔1103，在堝體11的開口12處設(shè)有蓋板15，蓋板15上設(shè)有貫穿其厚度的多個第三通孔151。

為了提高下部堝體111和上部堝體112之間的拆裝便利性，下部堝體111和上部堝體112之間通過螺紋連接。

當堝體11由螺紋連接的上部堝體112和下部堝體111構(gòu)成時，上部堝體112和下部堝體111通過螺紋可進行拆卸連接，當需要在下部堝體111內(nèi)填裝蒸鍍材料2或更換下部堝體111時，可通過螺紋連接將下部堝體111從上部堝體112上拆下，完成所需操作后再通過螺紋進行連接，并且，在需要填料時，可將下部坩堝1拆下，將已經(jīng)填料完畢的另一個相同結(jié)構(gòu)的下部堝體111直接連接到上部堝體112上，從而能夠節(jié)省蒸鍍時間，因此，該坩堝1方便填料且便于更換下部堝體111，還能提高拆裝便利性。

在上述各種實施例的基礎(chǔ)上，每個隔板為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的隔板；擋板17為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的擋板17；陶瓷碎片16為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的陶瓷碎片16。

同時，坩堝1的堝體1和蓋板15均可以采用熱解氮化硼或氮化鋁制成。

另外，本實用新型實施例還提供了一種蒸發(fā)裝置，該蒸發(fā)裝置包括加熱裝置和上述實施例提供的任意一種坩堝1。

在采用上述蒸發(fā)裝置進行蒸鍍的過程中，為了使坩堝1內(nèi)底部的蒸鍍材料連續(xù)均勻熔化，并且使上部腔體1102內(nèi)保持恒溫環(huán)境，防止蒸鍍材料2形成的蒸氣凝固，可以在坩堝1的頂部和底部分別設(shè)置加熱絲來控制坩堝1的腔體110內(nèi)的溫度，使蒸鍍過程連續(xù)穩(wěn)定。

同時，為了提高蒸鍍效果，進一步改善蒸鍍形成的蒸鍍膜層的均勻性，在采用上述坩堝1蒸鍍的同時，還可以使整個蒸發(fā)裝置處于運動狀態(tài)中，使從坩堝1中蒸發(fā)出來的蒸氣能夠更加均勻地蒸鍍到目標位置，使形成的蒸鍍膜層更加均勻。根據(jù)具體地蒸鍍條件，可使整個蒸發(fā)裝置在蒸鍍過程中處于中心旋轉(zhuǎn)運動或直線勻速移動。

需要說明的是，上述坩堝1中填充的蒸鍍材料可以為銀等金屬材料，也可以為OLED材料等有機材料。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型實施例進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。