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一種納米離化表面金屬復合膜層智能化設備的制作方法

文檔序號:11974924閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種納米離化表面金屬復合膜層智能化設備,包括鍍膜真空腔體、電控柜、過渡真空腔體和料架臺,料架臺上設有鍍膜真空腔體和過渡真空腔體,鍍膜真空腔體和過渡真空腔體內均設有精抽泵、增壓泵、機械泵、維持泵、數顯復合真空計、進水管、出水管、進氣管和出氣管,鍍膜真空腔體和過渡真空腔體外表面均設有伺服電機、觀察窗和加強筋,過渡真空腔體外表面上設有等離子體離子源電源、混氣儀和水分離器,過渡真空腔體和鍍膜真空腔體的內底部設有驅動輪組和加熱管道,驅動輪組上設有工件架,工件架上設有若干掛桿軸。本實用新型采用PLC控制,和遠程控制,實現抽真空、表面鍍膜可實現手動、半自動、全自動控制和互聯網+控制。

技術研發人員:田修
受保護的技術使用者:浙江京禾納米科技有限公司
文檔號碼:201620800115
技術研發日:2016.07.27
技術公布日:2016.12.07

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