本實用新型涉及到一種石墨舟，具體涉及到一種高能效石墨舟領域。

背景技術：

現有的石墨舟承載硅片后在管式PECVD內做沉積反應，由于原有石墨舟高頻輝光電極是由爐尾（以管式PECVD為參照物）傳導至爐口，從而會出現高頻電場效應爐尾至爐口依次減弱，引起沉積速率不一致，導致色差；其次由于輝光會產生熱能，高頻電場強產生的熱能就多，導致爐尾溫度和爐口溫度偏差大，從而改變硅片表面鈍化的效果，產生的結構不一致，改變了硅片的結構的統一性。

為了解決以上技術問題，有必要將現有技術進行改良，設計一種高能效石墨舟，該高能效石墨舟的其中一層的最中心處的一片石墨舟片采用陶瓷片進行絕緣處理，使得該層的能量通過此石墨舟片從電極端傳導到舟體另一端，能量按從內向外的傳導順序分別傳導給此層舟體的其它石墨片，然后此層其它石墨舟片將能量從另外一端傳導至電極端，而另外一個舟體的能量則直接從電極端傳導到另一端，舟體兩極能量通過這樣的傳導方式，以便舟體上能量均勻傳導，從而使爐管內的沉積速率相近。由于加了絕緣陶瓷片，改變電場，使電場在整個石墨舟內均勻分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅層結構的統一性。

技術實現要素：

為了克服背景技術中存在的缺陷，本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種高能效石墨舟，包括石墨舟舟片、陶瓷環、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨塊，所述石墨舟舟片按一定的間距均勻排列，每兩片石墨舟舟片之間設置有一個陶瓷環，所述石墨舟舟片上均開有用于固定的安裝孔，所述陶瓷棒穿入安裝孔將石墨舟舟片和陶瓷環連接成一個整體，在兩塊相鄰的石墨舟舟片和兩根相鄰的陶瓷環之間構成了物料存放空間，所述陶瓷棒的兩端用石墨螺帽擰緊固定，所述石墨舟舟片的兩端與其相鄰的石墨舟舟片間設置有石墨塊，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨塊將石墨舟舟片兩端連接，所述石墨棒的兩端用石墨螺帽固定，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的石墨舟舟片的一側上部設置有上石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的設置有上石墨電極塊的石墨舟舟片的下部設置有下石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處設置有上石墨電極塊和下石墨電極塊的石墨舟舟片的另一側設置有陶瓷片，所述陶瓷片設置在上石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側。

所述陶瓷片能夠設置在下石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側。

優選上石墨電極塊和下石墨電極塊的個數分別為2個。

優選兩片陶瓷片之間的石墨舟舟片的個數為2個以上。

本實用新型所涉及的一種高能效石墨舟，該高能效石墨舟的其中一層的最中心處的一片石墨舟片采用陶瓷片進行絕緣處理，使得該層的能量通過此石墨舟片從電極端傳導到舟體另一端，能量按從內向外的傳導順序分別傳導給此層舟體的其它石墨片，然后此層其它石墨舟片將能量從另外一端傳導至電極端，而另外一個舟體的能量則直接從電極端傳導到另一端，舟體兩極能量通過這樣的傳導方式，以便舟體上能量均勻傳導，從而使爐管內的沉積速率相近。由于加了絕緣陶瓷片，改變電場，使電場在整個石墨舟內均勻分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅層結構的統一性。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型一種高能效石墨舟的結構示意圖；

圖2是本實用新型一種高能效石墨舟的一端的結構示意圖；

其中:1、石墨舟舟片；2、陶瓷環；3、陶瓷棒；4、石墨棒；5、石墨螺帽；6、石墨塊；7、陶瓷片；8、上石墨電極塊；9、下石墨電極塊；10、安裝孔。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

具體實施例，請參閱圖1、圖2、一種高能效石墨舟，包括石墨舟舟片、陶瓷環、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨塊，所述石墨舟舟片按一定的間距均勻排列，每兩片石墨舟舟片之間設置有一個陶瓷環，所述石墨舟舟片上均開有用于固定的安裝孔，所述陶瓷棒穿入安裝孔將石墨舟舟片和陶瓷環連接成一個整體，在兩塊相鄰的石墨舟舟片和兩根相鄰的陶瓷環之間構成了物料存放空間，所述陶瓷棒的兩端用石墨螺帽擰緊固定，所述石墨舟舟片的兩端與其相鄰的石墨舟舟片間設置有石墨塊，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨塊將石墨舟舟片兩端連接，所述石墨棒的兩端用石墨螺帽固定，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的石墨舟舟片的一側上部設置有上石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的設置有上石墨電極塊的石墨舟舟片的下部設置有下石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處設置有上石墨電極塊和下石墨電極塊的石墨舟舟片的另一側設置有陶瓷片，所述陶瓷片設置在上石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側。

所述陶瓷片能夠設置在下石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側。

優選上石墨電極塊和下石墨電極塊的個數分別為2個。

優選兩片陶瓷片之間的石墨舟舟片的個數為2個以上。

本實用新型所涉及的一種高能效石墨舟，石墨舟具有多個石墨舟舟片1，石墨舟舟片1由陶瓷環2和石墨棒4、陶瓷棒3連接構成舟體，多根陶瓷環7連接在石墨舟舟片1之間并將石墨舟舟片1排列成上下兩層，上下兩層的石墨舟舟片1通過石墨棒4串聯一起并構成相對獨立的舟體，兩塊相鄰的石墨舟舟片1和兩根相鄰的陶瓷環7間構成了物料存放空間，該高能效石墨舟的其中一層的最中心處的一片石墨舟舟片1采用陶瓷片7進行絕緣處理，使得該層的能量通過此石墨舟舟片1從電極端傳導到舟體另一端，能量按從內向外的傳導順序分別傳導給此層舟體的其它石墨舟舟片1，然后此層其它石墨舟舟片1將能量從另外一端傳導至電極端，而另外一個舟體的能量則直接從電極端傳導到另一端，舟體兩極能量通過這樣的傳導方式，以便舟體上能量均勻傳導，從而使爐管內的沉積速率相近。由于加了絕緣陶瓷片7，改變電場，使電場在整個石墨舟內均勻分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅層結構的統一性。

以上述依據本專利的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項專利技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項專利的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。