本實用新型涉及太陽能電池技術領域，尤其涉及一種管式PECVD石墨舟冷卻房。

背景技術：

常規的化石燃料日益消耗殆盡，在現有的可持續能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。太陽能發電裝置又稱為太陽能電池或光伏電池，可以將太陽能直接轉換成電能，其發電原理是基于半導體PN結的光生伏特效應。太陽能發電裝置的核心是電池片，目前絕大多數都采用硅片制成。

光伏電池生產過程中，需要在光伏電池的半成品電池即硅片的表面鍍上一層減反射膜。目前，采用等離子體增強化學氣相沉積方法(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，使氣體在硅電池片表面發生化學反應并形成覆蓋層，即減反射膜。此減反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的體鈍化和表面鈍化，以及利用氮化硅薄膜的強致密性和耐多數酸堿性，在硅片表面形成保護層。

現有的PECVD工序所使用的機型主要分為，板式PECVD和管式PECVD機臺，而目前管式PECVD機臺由于生產的電池片發電效率高、設備Uptime高等優勢，已經逐步成為PECVD機臺選型時的首選。

在PECVD工序中，石墨舟沉積完氮化硅后，在管式PECD機臺下料處，如圖1所示，將石墨舟1放置在石墨舟運輸車2上后，人工將石墨舟運輸車2推到冷卻房5附近，再將石墨舟運輸車2和石墨舟1一起，推進石墨舟冷卻房5內進行冷卻，石墨舟冷卻房5主要是通過位于底部的冷卻風扇4對石墨舟1進行冷卻，在石墨舟1和冷卻風扇4之間隔了一層石墨舟運輸車2頂部的石墨舟運輸車托板3，由于此石墨舟運輸車托板3是半鏤空設計，冷卻風扇4吹出的風有50％會被石墨舟運輸車托板3阻擋無法直接吹至石墨舟1處，嚴重影響了冷卻的效果，延長了石墨舟的冷卻時間。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提出一種管式PECVD石墨舟冷卻房，能夠明顯改善石墨舟的冷卻效果，減少冷卻時間，提升產能。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種管式PECVD石墨舟冷卻房，包括冷卻房，所述冷卻房的內部設置有冷卻風扇，所述冷卻房的內部相對兩側壁對稱設置有機械手臂移動導軌，所述機械手臂移動導軌的內側端開設有移動槽，所述移動槽中設置有機械手臂，所機械手臂能夠沿著所述移動槽移動，待冷卻的石墨舟的兩端分別開設有卡槽，一個所述機械手臂插入對應側的一個所卡槽中配合，以將石墨舟懸掛于所述冷卻風扇的上方。

作為一種優選方式，所述機械手臂移動導軌的長度c為80～120cm。

優選的，所述機械手臂移動導軌的長度c為100cm。

作為一種優選方式，所述機械手臂移動導軌的寬度d為20～40cm。

優選的，所述機械手臂移動導軌的寬度d為30cm。

作為一種優選方式，所述機械手臂的長度a為20～50cm。

優選的，所述機械手臂的長度a為35cm。

作為一種優選方式，所述機械手臂的寬度b為10～20cm。

優選的，所述機械手臂的寬度b為15cm。

作為一種優選方式，所述冷卻房的頂部設置有排風口。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型的管式PECVD石墨舟冷卻房，在工作時，小推車從下料處將石英舟推至冷卻房附近，通過機械手臂在石英舟的兩端托住石英舟，利用機械手臂在移動槽中移動至冷卻房內部進行冷卻，這時，機械手臂作為支撐點，由于其支撐釋放了石英舟底部的空間，因而由冷卻風扇吹出的冷卻風則可以直接到達石英舟，全面地穿過石英舟的各個角落，在冷卻完成后，機械手臂再將石墨舟傳送到石墨舟運輸車上；其明顯改善了石墨舟的冷卻效果，減少了冷卻時間，提升了產能。

附圖說明

圖1是現有技術中的冷卻房的結構示意圖；

圖2是本實用新型具體實施方式1提供的管式PECVD石墨舟冷卻房的結構示意圖；

圖3是圖2中的機械手臂和機械手臂移動導軌連接的俯視結構示意圖。

圖中：1、石墨舟；2、石墨舟運輸車；3、石墨舟運輸車托板；4、冷卻風扇；5、冷卻房；6、排風口；7、機械手臂；8、機械手臂移動導軌。

具體實施方式

下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術方案。

如圖2、3所示，一種管式PECVD石墨舟冷卻房，包括冷卻房5，冷卻房5的內部設置有冷卻風扇4，冷卻房5的內部相對兩側壁對稱設置有機械手臂移動導軌8，機械手臂移動導軌8的內側端開設有移動槽，移動槽中設置有機械手臂7，所機械手臂7能夠沿著移動槽移動，待冷卻的石墨舟1的兩端分別開設有卡槽，一個機械手臂7插入對應側的一個所卡槽中配合，以將石墨舟1懸掛于冷卻風扇4的上方。

作為一種優選方式，機械手臂移動導軌8的長度c為80～120cm，如長度c可以為80cm、82cm、85cm、87cm、90cm、93cm、96cm、100cm、101cm、106cm、109cm、110cm、112cm、115cm、116cm、118cm、120cm。優選的，在本實施例中，機械手臂移動導軌8的長度c為100cm。

作為一種優選方式，機械手臂移動導軌8寬度d為20～40cm，如寬度d可以為20cm、21cm、22cm、23cm、24cm、25cm、26cm、27cm、28cm、29cm、30cm、31cm、32cm、33cm、34cm、35cm、36cm、37cm、38cm、39cm、40cm。優選的，機械手臂移動導軌8的寬度d為30cm。

作為一種優選方式，機械手臂7的長度a為20～50cm，如長度a可以為20cm、21cm、22cm、23cm、24cm、25cm、26cm、27cm、28cm、29cm、30cm、31cm、32cm、33cm、34cm、35cm、36cm、37cm、38cm、39cm、40cm、41cm、42cm、43cm、44cm、45cm、46cm、47cm、48cm、49cm、50cm。優選的，機械手臂7的長度a為35cm。

作為一種優選方式，機械手臂7的寬度b為10～20cm，如寬度b可以為10cm、、11cm、12cm、13cm、14cm、15cm、16cm、17cm、18cm、19cm、20cm。優選的，機械手臂7的寬度b為15cm。

作為一種優選方式，冷卻房5的頂部設置有排風口6。

作為一種優選方式，機械手臂的前端伸入卡槽后，機械手臂的前端與卡槽的底面之間留有間隙。

機械手臂與機械手臂移動導軌的移動槽之間可滑動連接，具體地，機械手臂的末端設置有滑輪，移動槽中設置有滑動凹槽，滑輪在滑動凹槽中滑動。另外，滑動凹槽的前后兩端均設置有限位裝置，以使滑輪能夠停留在冷卻房的門口，用于接收石墨舟；以使滑輪能夠停留在冷卻房的內部，用于固定石墨舟進行冷卻。進一步地，滑輪還連接有驅動裝置，驅動裝置為電機，通過電機驅動滑輪滑動，從而實現自動化操作。

在冷卻時，石墨舟從管式PECVD機臺的下料處下料后的溫度一般為300～350度，需要冷卻到50度以下才可卸片；使用現有技術中的冷卻房機械能冷卻所需冷卻時間為10～15min，而采用本實用新型的管式PECVD石墨舟冷卻房冷卻所需時間為4～6min。

本實用新型的管式PECVD石墨舟冷卻房，在工作時，小推車從下料處將石英舟推至冷卻房附近，通過機械手臂在石英舟的兩端托住石英舟，利用機械手臂在移動槽中移動至冷卻房內部進行冷卻，這時，機械手臂作為支撐點，由于其支撐釋放了石英舟底部的空間，因而由冷卻風扇吹出的冷卻風則可以直接到達石英舟，全面地穿過石英舟的各個角落，在冷卻完成后，機械手臂再將石墨舟傳送到石墨舟運輸車上；其明顯改善了石墨舟的冷卻效果，減少了冷卻時間，提升了產能；其操作和控制簡單，在所有管式PECVD機臺上可適于推廣。

以上結合具體實施例描述了本實用新型的技術原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護范圍的限制。基于此處的解釋，本領域的技術人員不需要付出創造性的勞動即可聯想到本實用新型的其它具體實施方式，這些方式都將落入本實用新型的保護范圍之內。