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硅片減薄砂輪的制作方法

文檔序號(hào):12088683閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種硅片減薄砂輪,其特征在于,包括輪體(1),所述輪體(1)的一側(cè)設(shè)有至少一圈磨料層(2),所述磨料層(2)采用陶瓷結(jié)合劑材料制成,所述磨料層(2)包括多段磨料塊(21),相鄰的兩個(gè)磨料塊(21)形成有空隙(211),所述空隙(211)用于排屑或者排磨削液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片減薄砂輪,其特征在于,所述輪體(1)呈圓形,所述輪體(1)的中間設(shè)有通孔(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片減薄砂輪,其特征在于,所述磨料層(2)有三圈,相鄰兩圈的磨料塊(21)交錯(cuò)排布。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片減薄砂輪,其特征在于,所述輪體(1)的一側(cè)設(shè)有臺(tái)階(12),所述臺(tái)階(12)呈圓形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的硅片減薄砂輪,其特征在于,所述輪體(1)的另一側(cè)設(shè)有一圈凹槽(13),所述凹槽(13)上設(shè)有進(jìn)液孔(131)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片減薄砂輪,其特征在于,所述進(jìn)液孔(131)傾斜排布。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片減薄砂輪,其特征在于,所述輪體(1)采用高密度鋁材料制成。

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