技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多掩模對準系統(tǒng)和多掩模對準方法。在用于多掩模對準的設(shè)備和方法中，提供了包括貫通載體的孔口的載體。對于每個孔口，包括對準特征的組合的框架和陰影掩模定位在由載體支撐的間隔件上，使得組合的框架和陰影掩模的陰影掩模與孔口粗略對準。接著，每個組合的框架和陰影掩模移到與間隔件間隔開的位置，于是在控制器的控制下，對準系統(tǒng)單獨對準每個組合的框架和陰影掩模，以將組合的框架和陰影掩模的對準特征與關(guān)聯(lián)于組合的框架和陰影掩模的參考對準特征對準。每個組合的框架和陰影掩模隨后返回到間隔件上的位置，此后每個組合的框架和陰影掩模固定到載體上。在實例中，可以同時對準全部的組合的框架和陰影掩模。

技術(shù)研發(fā)人員：布萊恩·阿瑟·布奇;戴維·N·蒙托;童圣智
受保護的技術(shù)使用者：阿德文泰克全球有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.09
技術(shù)公布日：2017.08.08