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一種玻璃基片真空鍍膜上下片的方法與流程

文檔序號(hào):12646369閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種玻璃基片真空鍍膜上下片的方法,其特征在于,包括以下步驟:

a、在基片架底部設(shè)置旋轉(zhuǎn)底座,使基片架能夠在旋轉(zhuǎn)底座上水平自由旋轉(zhuǎn);

b、對(duì)基片架的正面進(jìn)行正面玻璃基片的上片操作,然后將基片架在旋轉(zhuǎn)底座上旋轉(zhuǎn)180°,再對(duì)基片架的反面進(jìn)行反面玻璃基片的上片操作;

c、將上片后的基片架送入雙面磁控濺射鍍膜機(jī)進(jìn)行正反面鍍膜;

d、鍍完膜的基片架由雙面磁控濺射鍍膜機(jī)出口回轉(zhuǎn)運(yùn)送到上下片區(qū),對(duì)基片架正面的玻璃基片進(jìn)行下片操作,然后將基片架在旋轉(zhuǎn)底座上旋轉(zhuǎn)180°,再對(duì)基片架反面的玻璃基片進(jìn)行下片操作;

e、重復(fù)步驟b~d,實(shí)現(xiàn)在真空鍍膜工藝中對(duì)玻璃基片的上下片。

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