技術總結
本發(fā)明公開一種玻璃基片真空鍍膜上下片的方法,包括以下步驟:在基片架底部設置旋轉底座,使基片架能夠在旋轉底座上水平自由旋轉;對基片架的正面進行正面玻璃基片的上片操作,然后將基片架在旋轉底座上旋轉180°,再對基片架的反面進行反面玻璃基片的上片操作;雙面磁控濺射鍍膜機進行正反面鍍膜;鍍完膜的基片架回轉運送到上下片區(qū),對基片架正面的玻璃基片進行下片操作,然后將基片架在旋轉底座上旋轉180°,再對基片架反面的玻璃基片進行下片操作;重復步驟b~d,實現在真空鍍膜工藝中對玻璃基片的上下片;安排一名操作工即可對基片架反面進行上下片,無需再繞行到基片架反面,節(jié)省了人力的同時,能夠保證上下片的速度,降低勞動強度。
技術研發(fā)人員:鮑兆臣;張少波;樊黎虎
受保護的技術使用者:凱盛科技股份有限公司
文檔號碼:201710150355
技術研發(fā)日:2017.03.14
技術公布日:2017.06.13