技術特征：

技術總結
本發明提供一種蝕刻組合物，其作為銅系金屬膜用蝕刻組合物，包含過氧化氫、含氟化合物、唑化合物、具有氮原子和羧基的水溶性化合物、磷酸鹽化合物、多元醇型表面活性劑和兩種以上有機酸混合物，上述兩種以上有機酸混合物必須包含檸檬酸，且檸檬酸與其他有機酸的重量比為0.9:1～1:0.9。在蝕刻本發明的液晶顯示裝置用陣列基板的制造中所使用的銅系金屬膜時，即使銅金屬的厚度增加，也能夠均等地調節縱向及橫向蝕刻速度而形成微細圖案的銅系金屬配線。

技術研發人員：鄭敬燮;權五柄;樸鏞云
受保護的技術使用者：東友精細化工有限公司
技術研發日：2017.03.16
技術公布日：2017.10.10