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立式石墨烯卷對卷連續生長設備的制作方法

文檔序號:12415810閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明公開了一種能夠提高生產效率,降低能耗,保證產品品質的立式石墨烯卷對卷連續生長設備。該立式石墨烯卷對卷連續生長設備,包括真空上料室、高溫工藝腔室、真空取料室、驅動裝置;所述真空上料室和真空取料室均設置有真空泵;所述高溫工藝腔室上設置有快速加熱裝置;所述真空上料室位于高溫工藝腔室的下端,所述真空取料室設置在高溫工藝腔室的上端;所述高溫工藝腔室的兩端均設置有快速冷卻裝置;所述真空上料室內設置有用于檢測石墨烯薄膜張力的張力檢測裝置,所述真空取料室內設置有用于檢測石墨烯薄膜線速度的速度檢測裝置。采用該立式石墨烯卷對卷連續生長設備能夠提高產品品質,節約生產成本。

技術研發人員:伍俊;李占成;史浩飛;王仲勛;李華峰;李昕;黃德萍
受保護的技術使用者:重慶墨希科技有限公司
文檔號碼:201710186735
技術研發日:2017.03.27
技術公布日:2017.05.31

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